JPS62107501U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62107501U JPS62107501U JP19911085U JP19911085U JPS62107501U JP S62107501 U JPS62107501 U JP S62107501U JP 19911085 U JP19911085 U JP 19911085U JP 19911085 U JP19911085 U JP 19911085U JP S62107501 U JPS62107501 U JP S62107501U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trolley
- view
- power supply
- supply means
- travels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
図面は考案の実施例を示し、第１図は全体の正
面図、第２図は側面図、第３図はウエハカセツト
把持腕の傾動機構の側面図、第４図は第３図の右
正面図、第５図は把持腕拡縮機構の平面説明図、
第６図は第５図の正面図、第７図は第１の台車と
給電手段の断面図、第８図は給電手段の拡大水平
断面図である。 １……第２の台車、１３，１３……把持手段、
３８，３９……給電手段、３２……第１の台車。
面図、第２図は側面図、第３図はウエハカセツト
把持腕の傾動機構の側面図、第４図は第３図の右
正面図、第５図は把持腕拡縮機構の平面説明図、
第６図は第５図の正面図、第７図は第１の台車と
給電手段の断面図、第８図は給電手段の拡大水平
断面図である。 １……第２の台車、１３，１３……把持手段、
３８，３９……給電手段、３２……第１の台車。
Claims (1)
- 外部より駆動され軌条を走行する第１の台車と
、第１の台車上を移動し把持手段を持つ第２の台
車と、所定の位置において第１の台車に給電する
給電手段とを有する移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19911085U JPS62107501U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19911085U JPS62107501U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107501U true JPS62107501U (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=31160427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19911085U Pending JPS62107501U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62107501U (ja) |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP19911085U patent/JPS62107501U/ja active Pending