JPS6211128A - 光学的測定装置 - Google Patents
光学的測定装置Info
- Publication number
- JPS6211128A JPS6211128A JP15486486A JP15486486A JPS6211128A JP S6211128 A JPS6211128 A JP S6211128A JP 15486486 A JP15486486 A JP 15486486A JP 15486486 A JP15486486 A JP 15486486A JP S6211128 A JPS6211128 A JP S6211128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- measured
- measurement
- comparison
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、被測定対象の性状を光学的に測定する装置
に関するものである。
に関するものである。
［従来の技術］
従来、光を利用して、被測定対象の厚み、水分、色あい
等を測定する装置が知られている。たとえば、水分を吸
収する波長帯の光と、水々を吸収しな（１波長帯の光と
の比率から、水分率等の被測定対象の性状を測定してい
る。
等を測定する装置が知られている。たとえば、水分を吸
収する波長帯の光と、水々を吸収しな（１波長帯の光と
の比率から、水分率等の被測定対象の性状を測定してい
る。
［この発明が解決しようとする問題点］しかしながら、
被測定対象に着色物やその他の物が混入すると、第２図
で示すように、分光特性に傾きを生じる場合がある。こ
のため、測定波長の両側に２つの比較波長帯を設け、こ
の比較波長帯の２つの成分の平均を用いて比率をとる方
法が考えられる。
被測定対象に着色物やその他の物が混入すると、第２図
で示すように、分光特性に傾きを生じる場合がある。こ
のため、測定波長の両側に２つの比較波長帯を設け、こ
の比較波長帯の２つの成分の平均を用いて比率をとる方
法が考えられる。
ところが、このように、測定波長、比較波長を増加させ
て行くと、必要波長の数に応じたフィルタ、検出素子を
必要とし、また、演昇要素も多くなり、複雑、高価なも
のとなる問題点があった。
て行くと、必要波長の数に応じたフィルタ、検出素子を
必要とし、また、演昇要素も多くなり、複雑、高価なも
のとなる問題点があった。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、比較波−の２つの
成分を同時に１りるようにし、測定系の簡素化、高精度
化を図った光学的測定装置を提供することである。
成分を同時に１りるようにし、測定系の簡素化、高精度
化を図った光学的測定装置を提供することである。
〔問題点を解決するための手段］
この発明は、被測定対象からの透過光または反射光のう
ち測定波長帯の両側の２つの比較波長帯の２つの波長成
分の両方を透過させる分光手段と、この分光手段で反射
した光から測定波長帯の波長成分の光を検出する第１の
検出素子と、分光手段を透過した光から測定波長帯の両
側の２つの比較波長帯の２つの波長成分を含む光を検出
する第２の検出素子と、この第１の検出素子の出力信号
および第２の検出素子乃出力信号の比率を演算する測定
手段とを備える！うにした光学的測定装置である。
ち測定波長帯の両側の２つの比較波長帯の２つの波長成
分の両方を透過させる分光手段と、この分光手段で反射
した光から測定波長帯の波長成分の光を検出する第１の
検出素子と、分光手段を透過した光から測定波長帯の両
側の２つの比較波長帯の２つの波長成分を含む光を検出
する第２の検出素子と、この第１の検出素子の出力信号
および第２の検出素子乃出力信号の比率を演算する測定
手段とを備える！うにした光学的測定装置である。
［実施例］
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。
。
図において、被測定対象３を反射または透過した被測定
対象３からの光は、分光手段としての分光ミラー（ダブ
ルピークフィルタ）４により分離され、分光ミラー４は
第２図で示す測定波長帯の両側の２つの波長成分λ１、
λ３の両方の光を透過させて検出素子６２に入射させ、
分光ミラー４を反射した光は、波長λ１、λ３を除いた
光なので、第２図で示す測定波長帯の波長成分λ２の光
を透過するフィルタ５を介して検出素子６１に入射する
。これら検出素子６１．６２の出力信号ｅｌ、ｅ２の比
率をマイクロコンピュータ等の測定手段７で演算し、被
測定対象３の水分率その他の性状の測定出力ｅｏを取り
出す。
対象３からの光は、分光手段としての分光ミラー（ダブ
ルピークフィルタ）４により分離され、分光ミラー４は
第２図で示す測定波長帯の両側の２つの波長成分λ１、
λ３の両方の光を透過させて検出素子６２に入射させ、
分光ミラー４を反射した光は、波長λ１、λ３を除いた
光なので、第２図で示す測定波長帯の波長成分λ２の光
を透過するフィルタ５を介して検出素子６１に入射する
。これら検出素子６１．６２の出力信号ｅｌ、ｅ２の比
率をマイクロコンピュータ等の測定手段７で演算し、被
測定対象３の水分率その他の性状の測定出力ｅｏを取り
出す。
つまり、フィルタ５は、第３図Ａで示すような波長、λ
２の単一のピークの透過率特性をもち、分光ミラー４は
、第３図Ｂで示すように、波長λ１、λ３のダブルピー
クの透過率特性をもつ。この分光ミラー４を用いること
により、第２図の測定波長λ２の両側の比較波長λ１、
λ３の成分の和に相当するものが得られ、結局、傾きに
起因する比較波長λ１成分の増加分と比較波長λ３の減
少分とは相殺され、常に正しい測定が可能となる。
２の単一のピークの透過率特性をもち、分光ミラー４は
、第３図Ｂで示すように、波長λ１、λ３のダブルピー
クの透過率特性をもつ。この分光ミラー４を用いること
により、第２図の測定波長λ２の両側の比較波長λ１、
λ３の成分の和に相当するものが得られ、結局、傾きに
起因する比較波長λ１成分の増加分と比較波長λ３の減
少分とは相殺され、常に正しい測定が可能となる。
第４図は、他の実施例を示す構成説明図で、光源１の光
は、光ファイバー２により被測定対象３に投光され、そ
の反射光は再び光ファイバー２により伝送され、波長λ
１、λ３を透過する分光ミラー４により分離され、分光
ミラー４を反射した光は、測定波長λ２を透過させるフ
ィルタ５を介して検出素子６１に入射し、分光ミラー４
を透過した比較波長λ１、λ３の両方を含む光は検出素
子６２に入射し、検出索子６１．６２の出力ｅｌ、（３
２は測定手段７で比率がとられ、測定信号ｅｏを取り出
すことができる。
は、光ファイバー２により被測定対象３に投光され、そ
の反射光は再び光ファイバー２により伝送され、波長λ
１、λ３を透過する分光ミラー４により分離され、分光
ミラー４を反射した光は、測定波長λ２を透過させるフ
ィルタ５を介して検出素子６１に入射し、分光ミラー４
を透過した比較波長λ１、λ３の両方を含む光は検出素
子６２に入射し、検出索子６１．６２の出力ｅｌ、（３
２は測定手段７で比率がとられ、測定信号ｅｏを取り出
すことができる。
なお、光源１の光を図示しないチョッパにより断続（て
変調し、被測定対象３に投光するようにしてもよい。
変調し、被測定対象３に投光するようにしてもよい。
［発明の効果］
以上述べたように、この発明は、２つの比較波長をとも
に通過させるダブルピークフィルタのような分光手段を
利用して得られた２つの比較波長を含む信号を利用して
比率演算を行っているので、装置が簡単で、しかも高精
度の光学測定が可能となる。
に通過させるダブルピークフィルタのような分光手段を
利用して得られた２つの比較波長を含む信号を利用して
比率演算を行っているので、装置が簡単で、しかも高精
度の光学測定が可能となる。
第１図、第２図、第３図、第４図は、この発明の一実施
例を示す説明図である。
例を示す説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定対象からの透過光または反射光のうち測定波
長帯の両側の２つの比較波長帯の２つの波長成分の両方
を透過させる分光手段と、この分光手段で反射した光か
ら測定波長帯の波長成分の光を検出する第１の検出素子
と、前記分光手段を透過した光から測定波長帯の両側の
２つの比較波長帯の２つの波長成分を含む光を検出する
第２の検出素子と、この第１の検出素子の出力信号およ
び第２の検出素子の出力信号の比率を演算する測定手段
とを備えたことを特徴とする光学的測定装置。 ２、光ファィバを介して被測定対象に光を投光または受
光することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光
学的測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15486486A JPS6211128A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 光学的測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15486486A JPS6211128A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 光学的測定装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4995085A Division JPS61209339A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学的測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6211128A true JPS6211128A (ja) | 1987-01-20 |
| JPH0565013B2 JPH0565013B2 (ja) | 1993-09-16 |
Family
ID=15593586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15486486A Granted JPS6211128A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 光学的測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6211128A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06262623A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ラミネート材積層シートモールディングコンパウンドの製造方法 |
| JP2025122186A (ja) * | 2020-02-13 | 2025-08-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15486486A patent/JPS6211128A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06262623A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ラミネート材積層シートモールディングコンパウンドの製造方法 |
| JP2025122186A (ja) * | 2020-02-13 | 2025-08-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
| US12578183B2 (en) | 2020-02-13 | 2026-03-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Film thickness measuring device and film thickness measuring method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0565013B2 (ja) | 1993-09-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3526652B2 (ja) | 光学的測定方法および光学的測定装置 | |
| KR950033445A (ko) | 광학섬유를 사용하는 온도측정방법과 기구 | |
| JPH0348705U (ja) | ||
| JPH02268234A (ja) | マルチチャネルフーリエ変換分光装置 | |
| JPH0565013B2 (ja) | ||
| JPS58132637A (ja) | 光フアイバを用いた圧力計測装置 | |
| JPH0854264A (ja) | 光学的測定装置 | |
| JPH08201286A (ja) | 光学的測定装置 | |
| JPS59230533A (ja) | 医療診断用反射光分析装置 | |
| JPS61209339A (ja) | 光学的測定装置 | |
| JP2590129B2 (ja) | 液体の物性値測定装置 | |
| JP2581464Y2 (ja) | フィルタ評価装置 | |
| JPH03231140A (ja) | 赤外線水分測定装置 | |
| SU1109610A1 (ru) | Способ измерени влажности | |
| JPS61138144A (ja) | 連続測定用分光光度計 | |
| SU1024862A1 (ru) | Способ определени ширины полосы и длины волны максимума пропускани интерференционного светофильтра | |
| JPH0882596A (ja) | 水分計 | |
| JPH0718962Y2 (ja) | 光学式膜厚計 | |
| JPH04326026A (ja) | 分光測光装置 | |
| JPH05172641A (ja) | 光検出器 | |
| JPH06288906A (ja) | 水分計 | |
| JPS5939618Y2 (ja) | ２波長光電光度計 | |
| JPS6166139A (ja) | フイルタ膜検査装置 | |
| JPH0359443A (ja) | 分光分析装置 | |
| JPH06229916A (ja) | 光学式ガス検出器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |