JPS6211179A - 半導体集積回路自動選別装置の接触素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体（以下ＩＣと呼ぶ）の電気的特性の測定
を行う自動選別装置（以下ハンドラーと呼ぶ）の接触素
子（以下電極と呼ぶ）に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、ハンドラーの測定部の電極において、グランド電
位の電極は他の測定ビンと同様な形状でＩＣに直接接触
し、ＩＣの電気的特性を可能にしていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

近来のＩＣの高集積度化、高速度化によりその測定は非
常に難度の高いものであυ、グランド電位の電極のもつ
わずかなインピーダンスでさえ、グランド電位の変動の
原因になるため、測定の正確さを欠くものである。よっ
て、電極はグランド電位が安定な電気的特性のものが要
求されてきた。

ところで、従来の測定ビンと同様な形状のグランド電位
の電極による測定では、その電極が持つわずかなインピ
ーダンスにより正確にかつ安定な測定を行うことができ
なくなってきた。またＩＣによりグランド電位の端子が
異なるため、そのＩＣ毎の電極が必要となるなど多大な
欠点があった。

本発明の目的は、ＩＣの安定な電気的特性を測定する為
の安定なグランド電位と汎用性を持った電極を提供する
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は電気信号を伝送する素子と、グランド電位の板
状素子とを有することを特徴とする半導体集積回路自動
選別装置の接触素子である。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図において、台座１に電気信号を伝送する複数本の
信号素子２を一定間隔で並列に並べて支えており、信号
素子２を矢印方向に押すことによりＩＣ３のリードに接
触し、ＩＣ３の電気的特性の測定を可能とする。

ＩＣ３のグランド電位にあたるリードに接触すル信号素
子２に加えて、板状としたグランド電位の素子４（以下
Ｇ板と呼ぶ）を備え、該Ｇ板４を前記グランド用信号素
子２に接触させ、グランド電位のインピーダンスを下げ
る。このＧ板４はその両端辺４α、４αを台座１の寸法
より狭くくの字に折り曲げることによりバネ効果を持た
せ、その端辺４αにて台座１を挾み込んでＧ板４を台座
１に交換可能に装着する。このＧ板４は異なる端子のグ
ランド電位を持ったＩＣに合わせて交換する。

第２図にこのＧ板４をＩＣテスターと呼ばれるＩＣの電
気的特性の測定を行う装置へ接続する実施例を示す。こ
の実施例によれば、被測定ピンの信号素子２はコネクタ
５のパターン６に半田付けされ、コネクタ５のその反対
面にＧ板４を重ねた状態でソケット７に押し込まれる。

ソケット７の内部では接触子８と接触子９は電気的に絶
縁されており、接触子８とパターン６により被測定ピン
の電位が、又接触子９とＧ板４によりグランド電位がそ
れぞれＩＣテスターへと供され、電気的特性の測定を可
能としている。この実施例によれば、グランド電位の電
極は従来の被測定ピン同様の電極に比べ板状となったこ
とにより、数十倍の面積を有し、その比率でインピーダ
ンスを下げることが可能となり、したがってＩＣの電気
的特性の測定が安定かつ正確となる。

さらに、Ｇ板の交換のみでグランド電位の異なるＩＣで
も簡単にその対応ができる・ 〔発明の効果〕 本発明は以上説明したように、グランド電位の素子の面
積を大きくするようにしたので、素子のもつインピーダ
ンスを下げることができ、ＩＣの電気的特性の測定を安
定かつ正確に行うことができる効果を有するものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明のＩＣの電気的特性の測定を行う装置への接続例を示
す構成図である。 １・・・台座、２・・・信号素子、４・・・グランド電
位の素子

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体集積回路の電気的特性を測定する自動選別
   装置の接触素子において、電気信号を伝送する素子とグ
   ランド電位の板状素子とを有することを特徴とする半導
   体集積回路自動選別装置の接触素子。