JPS62120252U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62120252U JPS62120252U JP755386U JP755386U JPS62120252U JP S62120252 U JPS62120252 U JP S62120252U JP 755386 U JP755386 U JP 755386U JP 755386 U JP755386 U JP 755386U JP S62120252 U JPS62120252 U JP S62120252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positive electrode
- electrode
- support
- brought
- shaft
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
図面は、この考案の一実施例に係るイオン源を
用いたイオンビーム装置の一例を示す概略断面図
である。 ２…イオン源、１２…正電極、１４，２０…貫
通孔、１８…引出し電極、２２…支持体、２４…
変換機構、３０…回転駆動機構、５２…イオンビ
ーム、Ｌ…電極間隔。
用いたイオンビーム装置の一例を示す概略断面図
である。 ２…イオン源、１２…正電極、１４，２０…貫
通孔、１８…引出し電極、２２…支持体、２４…
変換機構、３０…回転駆動機構、５２…イオンビ
ーム、Ｌ…電極間隔。
Claims (1)
- 正電位にされる正電極およびそれと対向してい
て当該正電極よりも低い電位にされる引出し電極
であつて、中心が共に同じ軸上に配置された貫通
孔を一つずつ有する電極を備えるイオン源におい
て、前記正電極を固定とし、前記引出し電極を前
記軸を軸とする円筒状の支持体に取り付け、そし
て当該支持体を外部から真空シールした状態でそ
の軸を中心に回転させる回転駆動機構と、支持体
の回転運動をその軸方向の直線運動に変換する変
換機構とを設けたことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP755386U JPS62120252U (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP755386U JPS62120252U (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62120252U true JPS62120252U (ja) | 1987-07-30 |
Family
ID=30791112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP755386U Pending JPS62120252U (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62120252U (ja) |
-
1986
- 1986-01-21 JP JP755386U patent/JPS62120252U/ja active Pending