JPS62124834U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62124834U JPS62124834U JP1074686U JP1074686U JPS62124834U JP S62124834 U JPS62124834 U JP S62124834U JP 1074686 U JP1074686 U JP 1074686U JP 1074686 U JP1074686 U JP 1074686U JP S62124834 U JPS62124834 U JP S62124834U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film capacitor
- oxide film
- perspective
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- Prior art date
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- Granted
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例を示す薄膜コンデ
ンサの斜視図、第２図は、第１図の状態からパタ
ーンがずれた状態を示す薄膜コンデンサの斜視図
、第３図は、第１図のＡ―Ａ線断面図、第４図は
、他の実施例を示す薄膜コンデンサの斜視図、第
５図は、第４図の状態からパターンがずれた状態
を示す薄膜コンデンサの斜視図、第６図は、薄膜
コンデンサの従来例を示す斜視図、第７図は、第
６図の状態からパターンがずれた状態を示す薄膜
コンデンサの斜視図、第８図は、第６図のＢ―Ｂ
線断面図、第９図は、他の従来例を示す薄膜コン
デンサの斜視図、第１０図は、第９図の状態から
パターンがずれた状態を示す薄膜コンデンサの斜
視図である。 １１……基板、１２……下部電極、１３……酸
化膜、１４……上部電極、１５ａ，１５ｂ，１６
ａ，１６ｂ……上部電極の辺、１７ａ，１７ｂ，
１８ａ，１８ｂ……突出部。
ンサの斜視図、第２図は、第１図の状態からパタ
ーンがずれた状態を示す薄膜コンデンサの斜視図
、第３図は、第１図のＡ―Ａ線断面図、第４図は
、他の実施例を示す薄膜コンデンサの斜視図、第
５図は、第４図の状態からパターンがずれた状態
を示す薄膜コンデンサの斜視図、第６図は、薄膜
コンデンサの従来例を示す斜視図、第７図は、第
６図の状態からパターンがずれた状態を示す薄膜
コンデンサの斜視図、第８図は、第６図のＢ―Ｂ
線断面図、第９図は、他の従来例を示す薄膜コン
デンサの斜視図、第１０図は、第９図の状態から
パターンがずれた状態を示す薄膜コンデンサの斜
視図である。 １１……基板、１２……下部電極、１３……酸
化膜、１４……上部電極、１５ａ，１５ｂ，１６
ａ，１６ｂ……上部電極の辺、１７ａ，１７ｂ，
１８ａ，１８ｂ……突出部。
Claims (1)
- 基板１１の上に設けられた下部電極１２の表面
に誘電体となる酸化膜１３が形成され、この酸化
膜１３の上に上部電極１４が形成されている薄膜
コンデンサにおいて、上部電極１４の対向する辺
１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂから、幅の互い
に等しい突出部１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂ
が突出形成されていることを特徴とする薄膜コン
デンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986010746U JPH0632667Y2 (ja) | 1986-01-28 | 1986-01-28 | 薄膜コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986010746U JPH0632667Y2 (ja) | 1986-01-28 | 1986-01-28 | 薄膜コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124834U true JPS62124834U (ja) | 1987-08-08 |
| JPH0632667Y2 JPH0632667Y2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=30797329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986010746U Expired - Lifetime JPH0632667Y2 (ja) | 1986-01-28 | 1986-01-28 | 薄膜コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632667Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017228638A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | キャパシタ |
| JP2024036174A (ja) * | 2022-09-05 | 2024-03-15 | 株式会社東芝 | 回路素子 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5010511U (ja) * | 1973-05-24 | 1975-02-03 |
-
1986
- 1986-01-28 JP JP1986010746U patent/JPH0632667Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5010511U (ja) * | 1973-05-24 | 1975-02-03 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017228638A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | キャパシタ |
| JP2024036174A (ja) * | 2022-09-05 | 2024-03-15 | 株式会社東芝 | 回路素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0632667Y2 (ja) | 1994-08-24 |