JPS62126076A

JPS62126076A - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPS62126076A
Application number: JP26649085A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Sumi; 住　成夫
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-11-27
Filing date: 1985-11-27
Publication date: 1987-06-08
Anticipated expiration: 2011-03-27
Also published as: JPH0829874B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保ｙ１膜の
剥離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により１２造
することができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導
？ｔｉＷＪ上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそ
れを保護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる
積層体を熱圧看ラミネートする。

この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パター
ンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂フィ
ルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像して
エツチングマスクパターンを形成する。この後、前記導
？Ｉ！層の不必要部分をエツチングにより除去し、さら
に残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターン
を有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする間皿点コ前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィル
ムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹脂
フィルムの剥離は１人手作業に頼っており、該フィルム
が薄いので、剥離応力の偏り等による損傷、破壊が生じ
ないようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練を要
する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている薄
膜の端部をローラー、ブラック、針等で浮かせ、その浮
いた部分を引き起して剥離し、その剥離した薄膜を外部
に自動的に排出するようにしたものである。

しかしながら、従来の自動薄膜剥離装置では。

前記薄膜の端部が基板の端部から不均一な距工に貼り付
けられている場合が多いため、薄膜の端部にローラー、
ブラック、針等で力を加えて薄膜の端部の所定均一幅だ
けを）ワ、かせることが困芝であるという問題があった
。

また、薄い基板は反りや曲りがあるため、前記基板上の
薄膜を浮かせる手段の位置合せに不都合を生ずるという
問題があった。

なお１本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は５本明ＨＡ書の記述及び添付図面
によって明らかになるであろう。

（２）発明の構成［問題点を解決するための手段］本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、基板に張り付けられている薄膜を剥離して排
出する薄膜剥離装置であって、前記薄膜の端部を検出す
る薄膜端部検出手段と、該検出された薄膜端部から内側
の所定の距離までにエネルギを加えて薄膜端部の一部を
浮かせる薄膜浮上手段を設けたことを特徴とするもので
ある。さらに。

前記基板の端部に押え部材で圧力を加えてその端部の反
りや曲りを矯正する薄膜矯正手段を設けたことを特徴と
するものである。また、さらに、前記基板の端部を所定
位置で停止させるストッパと。

その停止位ユで基板の端部に押え部材で圧力を加えた状
態で前記薄膜を浮かせ、この浮かされた薄膜を剥離しな
がら搬送する薄膜剥ｍ搬送手段を設けたことを特徴とし
たものである。

［作用コ本発明は、搬送されてくる基板の端部をストッパで所定
位置に停止させ、基板の端部を押え部材で押えて圧力を
加えてその端部の反りや曲りを矯正し、前記薄膜端部検
出手段で薄膜の端部を検出し、該検出された薄膜端部か
ら内側の所定の距離までの部分に薄膜浮上手段でエネル
ギを加えて薄膜端部の一部を浮かせ、その浮いた部分か
ら剥離しながら薄膜剥離搬送手段で排出することにより
。

前記基板上の薄膜の端部とその端部を）ｌかせる手段と
の位置合せを確実に容易に行うことができる。

［実施例］以下１本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線ｍＪ
！板の搬送機構は、第１図に示すように。

主として、プリン１−配線用基板ｌを搬送する搬送用駆
動ローラ２で構成されている。この搬送機溝における搬
送経路には、薄膜端部）を上機構３．薄膜引起機構５の
可動部に取付けられている粘着部材４．薄膜剥離角度設
定部材８が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図及び第６図に示す
ように、絶縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導
電ＦＩＢが形成されたものである。

このプリント配線用基板１の導電層ＩＢ上には、感光性
樹脂Ｆ！ＪＩＣと透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＤと
からなる積層体が、熱圧着ラミネートされている。感光
性樹脂層ＩＣは所定のパターンに露光された後の状態に
ある。

前記搬送用駆動ローラ２は、第１図にＡ−Δ線で示され
る搬送経路において、プリント配線用基板ｌを矢印方向
に搬送するように構成されている。

前記薄膜端部浮上機構３は、第５図に示すように、装置
本体に摺動０有に取付けられている支持フレーム２０に
、基板１を所定位置に停止させるストッパ２１及び薄膜
端部浮上装置２３が複数個設けられている。

そして、第２図及び第３図に示すように、支持フレーム
２０には、薄膜端部浮上装置２３を摺動自在に上下動さ
せるガイドレール２２Ａを有する薄膜端部浮上装置支持
フレーム２２が設けられている。そして前記支持フレー
ム２０は、例えば、エアシリンダ２ＯＡによって上下動
されるようになっている。前記薄膜端部浮上装置支持フ
レーム２２には、薄膜端部浮上装置２３がガイドレール
２２Ａに支持フレーム２３Ａを介して摺動自在に取付け
られている。薄膜端部浮上装置２３は、支持フレーム２
３Ａを介してエアシリンダ２４により、基板１に対して
近すいたり遠ざかったりするようになっている。

また、支持フレーム２３Ａには、前記ストッパ２１によ
って停止された基板１を押圧してたわみや反りを矯正す
る抑圧部材２３Ｂが設けられている。さらに、支持フレ
ーム２３Ａには、薄膜端部検出部材２３Ｃを支持する薄
膜端部検出部材支持フレーム２３Ｄ及び薄膜浮上部材２
３Ｅを支持する薄膜浮上部材支持フレーム２３Ｆが摺動
自在に設けられている。

また、前記薄膜浮上部材支持フレーム２３Ｆは、前記薄
膜端部検出部材支持フレーム２３Ｄに摺動自在に支持さ
れており、その先端部には、薄膜浮上部材２３Ｅが所定
の角度をもって固定されている。そして、薄膜浮上部材
支持フレーム２３Ｆの後端部には、薄膜浮上部材２３Ｅ
の移動量調節用ネジ２３Ｇがフレーム２３　Ｈを介して
設けられている。また１ｇ膜浮上部材支持フレーム２３
Ｆを常に後方に押圧するためのスプリング２３Ｊが設け
られている。

前記薄膜端部検出部材２３Ｃの先端２３Ｃ１は少し折れ
曲った爪状の形になっており、かっコの字形の空間を形
成するように二叉になっている。

そして、薄膜端部検出部材２３Ｃは、薄膜端部検出部材
支持フレーム２３Ｄに固定ピン２３ＤＩにより回転自在
に支持されている。

前記薄膜浮上部材２３Ｅは、第３図（Ａ図は電力が供給
されていない場合、８図は電力が供給されている場合で
ある）に示すように１例えば、電磁式バイブレータを用
い、その可動片２３　Ｅ　＋に針状部材２３Ｅ２を設け
て、電磁式バイブレータの電磁コイル２３Ｅ３に電力が
供給されていないときには、第３図（Ａ）に示すように
、スプリング２３Ｅ４により針状部材２３Ｅ２が後部方
向に引き込まれて、電源コード２３Ｅ５から電磁コイル
２３Ｅ３に電力が供給されると、第３図（Ｂ）に示すよ
うに、可動片２３Ｅ１が吸引又は反発して針状部材２３
Ｅ２を突出させることにより、針状部材２３Ｅ２を振動
させるようになっている。

そして、薄膜端部検出部材２３Ｃの先端部と薄膜浮上部
材２３Ｅの先端部は、第４図に示すように、非動作時に
は、抑圧部材２３Ｂにより少し引込んだ位置に配置され
、動作時には、それぞれ抑圧部材２３Ｂよりも少し突出
するようになっている。

次に１本実施例の薄膜端部浮土装＠２３の動作を簡単に
説明する。

第２図において、前記支持フレーム２０をエアシリンダ
２ＯＡで基板搬送路に向けて移動させると、搬送されて
くる基板ｌはそのストッパ２１の所で停止する。次に、
支持フレーム２３Ａを基板搬送路に向けてエアシリンダ
２４により移動させて基板ｌの端部を押し付けて圧力を
加える。これにより基板ｌの反りや曲りを矯正し、この
状態で薄膜端部検出部材支持フレーム２３Ｄをエアシリ
ンダ２３Ｋにより右方向に移動させて薄膜端部検出部材
２３Ｃを感光性樹脂層ＩＣ又は透光性樹脂フィルム１０
に接触させる。この状態で薄膜浮上１＋４支持フレーム
２３Ｆをエアシリンダ２３Ｌにより右方向に移動させ、
薄膜浮上部材２３Ｅの針状部材２３Ｅ２を駆動させる。

これにより透光性樹脂フィルムＩＤに振動（エネルギ）
が加わって感光性ｖＩ４脂ｙａＩＣから浮き上がって分
離する。

前記粘着部材４は、第１図に示すように、薄膜引起ａｔ
Ｊ５の回動腕５Ａに取付けられている。そして、この回
動腕５Ａは、軸５Ｂを中心にして回動するように構成さ
れ、粘着部材４を透光性樹脂フィルムｌＤの端部に押付
けるように構成されている。前記軸５Ｂは支持枠５Ｃに
支持されており、粘着部材４の先端を透光性樹脂フィル
ムＩＤの搬送方向の端部の上面に当接させた状態で、回
動腕５Ａを、軸５Ｂを中心に歯車５Ｄ、５Ｅで第１図に
示すように、矢印Ｃ方向に回動するように構成されてい
る。そして、歯車５Ｆとラック５Ｇの右方向の移動動作
で、透光性樹脂フィルムＩＤの端部を引起して、第１図
に示すように、薄膜剥離排出＠構６の引込口まで持って
行くようになっている。そして、引起された透光性樹脂
フィルムＩＤは、ローラ６Ａａ、６Ｂａに噛み込まれる
。その後、回動腕５Δを、図中、左方向に移動させて。

粘着部材４を透光性樹脂フィルムＩＤから引き離す。

この時、粘着部材４と透光性樹脂フィルムｌＤとを確実
に引き離すために、第６図に示すように。

エアーシリンダ等の薄膜端部押え機構７（破線で示す）
を用いてもよい。

前記薄膜剥離角度設定部材８は、第６図乃至第８図に示
すように、薄膜剥離排出機構６のベルトコンベア６Ａの
一端部と整合するように、薄膜剥離装置の筐体に設けら
れている。

この薄膜剥離角度設定部材８は、透光性樹脂フィルムＩ
Ｄの剥離時における剥離位置の変動防止。

剥離応力の偏りの防止ができ、かつ、透光性樹脂フィル
ムＩＤ及び感光性樹脂層ＩＣが損傷、破壊しないように
するために、プリント配線用基板１に対して引き起され
た透光性樹脂フィルムＩＤの剥離角度０がほぼ直角から
鈍角となるように、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離角度
を設定するような構造になっている。そして、薄膜剥離
角度設定部材８の先端を、プリント配線用法板１に近ず
けたり、離隔させたりすることができるように設けられ
ている。

また、薄膜剥離角度設定部材８の先端は、その断面が曲
率半径の小さい円孤状になっている。例えば１曲率半径
が３　ｎｕｎ以下に構成されている。

このように薄膜剥離角度設定部材８を設けることにより
、剥離位置を安定させると共に、透光性樹脂フィルムＩ
Ｄ及び感光性樹脂層ＩＣに一様な剥離応力を加えること
ができる。

前記薄膜剥離排出機構６はベルトコンベア６Ａ及びベル
トコンベア６Ｂで構成されている。

ベルトコンベア６Ａは、第１図及び第６図に示すように
、一対のローラ６Ａａ、６Ａａ’を複数個設けて、この
一対のローラ５Ａａ、６Ａａ’に巻回されたベルト６Ａ
ｂで構成されている。同様にして、ベルｌ−コンベア６
Ｂは、一対のローラ６Ｂ　ａ。

６Ｂａ’を複数設けて、それに巻回されたベルト６Ｂｂ
で構成されている。

なお、このベルトコンベア６Ｂは、一方のローラ６Ｂａ
’を中心にエアーシリンダ等で回動し、ベルトコンベア
６Ａのベルト６Ａｂに接触するように構成して、薄膜端
部浮上機構６の引込み口に持って来られた透光性樹脂フ
ィルムｌＤの端部をよｊ）確実に挟持（排出）できるよ
うにし、薄膜の排出ミス等のトラブルに対応するように
してもよい。

前記ベルトコンベア６Ａとベルトコンベア６Ｂは、薄膜
引起機ｙＩ５で剥離され薄膜剥離角度設定部材８でガイ
ドされた透光性樹脂フィルムＩＤを挟持し、それぞれの
一対のローラ６　Ａ　ａ　、　６　Ａ　ａ　’及び一対
のローラ６Ｂａ、６Ｂａ’を駆動させることにより、透
光性樹脂フィルムＩＤを順次剥離して排出するように構
成されている。

前記ベルトコンベア６Ａ及び６Ｂは、搬送方向に少しず
れて接触又は近接して設けられており、ローラ６　Ａ　
ａ　’側から剥離された透光性樹脂フィルムＩＤが排出
されるようになっている。

前記薄膜の剥離装置で透光性構脂フィルムＩＤが剥離さ
れると、プリント配線用基板１は、搬送用駆動ローラ２
で感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装置へ搬送される。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において１種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、前記実施例では、薄膜端部浮上機構３ｄ′及び
一対のローラ６Ｂａ、６Ｂａ’を駆動させることにより
、透光性樹脂フィルムＩＤを順次剥離して排出するよう
に構成されている。

前記ベルトコンベア６Ａ及び６Ｂは・、ｍ送方向に少し
ずれて接触又は近接して設けられており、ローラ６　Ａ
　ａ　’側から剥離された透光性樹脂フィルムＩＤが排
出されるようになっている。

前記保護膜の剥渭装置で透光性樹脂フィルムＩＤが剥に
されると、プリント配線用基板１は、Ｉａ送用駆動ロー
ラ２で感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装置へ搬送され
る。

以上１本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではな（、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、前記実施例では、薄膜端部浮上機構３を薄膜剥
離角度設定部材８の前段に配置したが、薄膜引起機構５
と薄膜剥離角度設定部材８との間に配置してもよい。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄膜の剥離
装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明
は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の
剥離装置に適用してもよい。

また、透光性樹脂フィルムＩＤの端部を浮かせる手段は
、抑圧部材、ブラシ等を用いてもよい。

また、前記粘着部材４の代りに、透光性樹脂フィルムＩ
Ｄの浮かせた部分に流体を吹き付けて引起してもよい。

（３）効果以上説明したように１本発明によれば１次のような効果
を得ることができる。

（Δ）、基板上に貼り付けられているａ暎の端部を検出
し、この薄膜端部から内側の所定の距離までの部分にエ
ネルギを加えて薄膜端部の一部を浮かせるようにしたこ
とにより、この薄膜端部から内側の所定の距離までの部
分にエネルギを加えて薄膜端部の一部を浮かせることが
できるので、基板上の配線パターンをｍ偏することはな
く、薄膜を浮上させて剥にすることできる。

（Ｂ）、茫い基板の端部に押え部材で押えて圧力を加え
、その端部の反りや曲りを矯正するようにしたので、前
記基板上の薄膜の端部とその端部をｉかせる手段との位
置合せを正確にかつ容易に行うことができる。

（Ｃ）、前記（Ｂ）に加えて基板の端部を所定位置で停
止させるストッパを設けることにより、基板の位置を正
確に設定できるので、さらに、前記基板上の薄膜の端部
とその端部を浮かせる手段との位置合せを正確にかつ容
易に行うことができる。

（Ｄ）、前記（Ｃ）に加えて、前記基板上の薄膜の端部
をｌｌかせる手段を設けたことにより、前記基板上の薄
膜の端部とその端部を浮かせる手段との位置合せを正確
に設定してａ膜の端部を浮かせることができるので、感
光性樹脂層中の配線パターンの損傷を防止することがで
きる。

（Ｅ）、前記（Ｄ）に加えて、前記薄膜の端部の浮かさ
れた部分を剥離しながら排出する手段を設けたことによ
り、薄膜剥離作業を自動的に行うことができるので、そ
の作業時間を大幅に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は、本実施例の薄膜端部浮上機構の外観を示す側
面図、第３図は、第２図の薄膜浮上部材の側面図、第４図は、
第２図の押え部材の先端部、薄膜端部検出部材の先端部
及び薄膜浮上部材の先端部の配設位置を示す平面図、第５図は１本実施例のストッパと薄膜端部検出機構の配
設位置を示す斜視図。第６図は、第１図の薄膜剥離搬出機構の概略構成を示す
断面図、第７図及び第８図は、第６図の薄膜剥離搬出機構及び薄
膜剥離角度設定部材の概略構成を示す断面図である。図中、１・・・プリント配線用基板、２・・・搬送駆動
ローラ、３・・・薄膜端部浮上機構、４・・・粘着部材
、５・・・薄膜引起機構、５Ａ・・・回動腕、６・・・
薄膜剥離排出機構、７・・・薄膜端部押え機構、８・・
・薄膜剥離角度設定部材、２１・・・ストッパ、２３・
・・薄膜端部浮上装置、２３Ｃ・・・薄膜端部検出部材
、２３Ｅ・・・薄膜厚上部材である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられている薄膜を剥離して排出す
る薄膜剥離装置であって、前記薄膜の端部を検出する薄
膜端部検出手段と、該検出された薄膜端部から内側の所
定の距離までの部分にエネルギを加えて薄膜端部の一部
を浮かせる薄膜浮上手段を設けたことを特徴とする薄膜
剥離装置。
（２）前記エネルギは、圧力等の力であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の薄膜剥離装置。
（３）前記エネルギは、振動であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の薄膜剥離装置。
（４）基板に張り付けられている薄膜を剥離して排出す
る薄膜剥離装置であって、前記基板の端部に押え部材で
圧力を加えてその端部の反りや曲りを矯正する基板矯正
手段と、該基板矯正手段で基板の端部を押えた状態で前
記薄膜の端部を検出する薄膜端部検出手段と、該検出さ
れた薄膜端部から所定の距離だけ内側に振動を加えて薄
膜端部の一部を浮かせる薄膜浮上手段を設けたことを特
徴とする薄膜剥離装置。
（５）基板に張り付けられている薄膜を剥離して排出す
る薄膜剥離装置であって、前記基板の端部を所定位置で
停止させるストッパと、その停止位置で基板の端部に押
え部材で圧力を加えてその端部の反りや曲りを矯正する
薄膜矯正手段と、該基板の端部を押えた状態で前記薄膜
の端部を検出する薄膜端部検出手段と、該検出された薄
膜端部から内側の所定の距離までの部分に振動を加えて
薄膜端部の一部を浮かせる薄膜浮上手段を設けたことを
特徴とする薄膜剥離装置。
（６）基板に張り付けられている薄膜を剥離して排出す
る薄膜剥離装置であって、前記薄膜の端部を検出する薄
膜端部検出手段と、該検出された薄膜端部から内側の所
定の距離までの部分に振動を加えて薄膜端部の一部を浮
かせる薄膜浮上手段と、前記基板の端部を所定位置で停
止させるストッパと、その停止位置で基板の端部に押え
部材で圧力を加えてその端部の反りや曲りを矯正する薄
膜矯正手段と、前記浮かされた薄膜を剥離しながら搬送
する薄膜剥離搬送手段を設けたことを特徴とする薄膜剥
離装置。