JPS62126312A - 平担度測定装置 - Google Patents
平担度測定装置Info
- Publication number
- JPS62126312A JPS62126312A JP26771385A JP26771385A JPS62126312A JP S62126312 A JPS62126312 A JP S62126312A JP 26771385 A JP26771385 A JP 26771385A JP 26771385 A JP26771385 A JP 26771385A JP S62126312 A JPS62126312 A JP S62126312A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- fixed
- stem
- optical sensor
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007115 recruitment Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は平坦度測定装置に関する。
従来、この種の平坦度測定装置としては、第５図に示す
構造のものが知られてい名、すなわち、ダイヤルゲージ
１を取付けた支持台２を平坦度測定方向Ｓに沿って基準
台３上をすべらせる。この時試料設置台４４に取り付け
られた被測定物４５にダイヤルゲージ１の測定子１３が
接触する構造になっており、任意の箇所でダイヤルゲー
ジ１の目盛を読みとることにより被測定物４５の平坦性
を測定することができる。
構造のものが知られてい名、すなわち、ダイヤルゲージ
１を取付けた支持台２を平坦度測定方向Ｓに沿って基準
台３上をすべらせる。この時試料設置台４４に取り付け
られた被測定物４５にダイヤルゲージ１の測定子１３が
接触する構造になっており、任意の箇所でダイヤルゲー
ジ１の目盛を読みとることにより被測定物４５の平坦性
を測定することができる。
１発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の平坦度測定装置で測定した結果の一例を
第６図に示す。第５図に示したように、従来の平坦度測
定装置により測定する場合は、ダイヤルゲージ１の目盛
りを読みとって記録するため、測定点が不連続己なって
しまい、細かく測定するのに時間を要するという問題か
あ・る。
第６図に示す。第５図に示したように、従来の平坦度測
定装置により測定する場合は、ダイヤルゲージ１の目盛
りを読みとって記録するため、測定点が不連続己なって
しまい、細かく測定するのに時間を要するという問題か
あ・る。
通常、大まかな平坦性を調べたり、平坦度の変位の上下
限を側室するには間圧はないが、平坦性を細かく測定し
たり、測定結果を記録する場合には時間がかかるという
欠点があり、そのような測定を行なうには、高性能で高
価な装置を必要としていた、 本発明の目的は、平坦度を連続的に容易に測定すること
のできる平坦度測定装置を提供することにある。
限を側室するには間圧はないが、平坦性を細かく測定し
たり、測定結果を記録する場合には時間がかかるという
欠点があり、そのような測定を行なうには、高性能で高
価な装置を必要としていた、 本発明の目的は、平坦度を連続的に容易に測定すること
のできる平坦度測定装置を提供することにある。
本発明の平坦度測定装置は基準台と、この基準台上を平
行移動可能な支持台と、ステムとスピンドルとを有し前
記支持台上に固定されたダイヤルゲージと、前記ステム
又はスピンドルの一方に固定された反射型光センサと、
この反射型光センサと光学的に対向しかつ前記ステム又
はスピンドルの他方に固定された反射板とを含んで構成
される。
行移動可能な支持台と、ステムとスピンドルとを有し前
記支持台上に固定されたダイヤルゲージと、前記ステム
又はスピンドルの一方に固定された反射型光センサと、
この反射型光センサと光学的に対向しかつ前記ステム又
はスピンドルの他方に固定された反射板とを含んで構成
される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の正面図である。
第１図において、基準台３上にはこの基準台３の表面上
を水平方向に平行移動可能なように支持台２が取付けら
れており、この支持台２上にはステム１１と、先端に測
定子１３が固定されたスピンドル１２とを有するダイヤ
ルゲージ１が固定されている。そして、ステム１１の先
端部には又対型光センサ１４が上向きに固定されており
、一方スピンドル１２には反射型光センサＬ４と光学的
に対向した金属反射板１５が固定されている。
を水平方向に平行移動可能なように支持台２が取付けら
れており、この支持台２上にはステム１１と、先端に測
定子１３が固定されたスピンドル１２とを有するダイヤ
ルゲージ１が固定されている。そして、ステム１１の先
端部には又対型光センサ１４が上向きに固定されており
、一方スピンドル１２には反射型光センサＬ４と光学的
に対向した金属反射板１５が固定されている。
このように構成された本実施例においては、測定子１３
が被測定物の表面に接触して移動するにつれて、スピン
ドル１２は被測定物ノ表面の凹凸により＝Ｌ下に移動す
る。そして、この上下移動により金属反射板１５と反射
型光センサ１４間の距離ｅが変化する。
が被測定物の表面に接触して移動するにつれて、スピン
ドル１２は被測定物ノ表面の凹凸により＝Ｌ下に移動す
る。そして、この上下移動により金属反射板１５と反射
型光センサ１４間の距離ｅが変化する。
第２図は本実施例に用いられる反射型光センサを用いた
測定部の回路図である。
測定部の回路図である。
反射型光センサ１４は発光ダイオード１４Ａとホトダイ
オード１４Ｂとから構成されており、発光ダイオード１
４Ａからの光は金属反射板１５により反射されてホトダ
イオード１４Ｂに入り電気信号に変換され、その出力は
演算増幅器２２を通ってペンレコーダ２３に入り記録さ
れる。
オード１４Ｂとから構成されており、発光ダイオード１
４Ａからの光は金属反射板１５により反射されてホトダ
イオード１４Ｂに入り電気信号に変換され、その出力は
演算増幅器２２を通ってペンレコーダ２３に入り記録さ
れる。
反射型光センサ１４と金属反射板１５との距離ｅと、反
射型光センサの出力との関係は第３図に示すとおりとな
っており、破線で示したように極めて直線性の良い区間
が存在する。鏡面を有する金属反射板を用いた場合、こ
の破線区間の曲線の変化は数ｒｎ ｖ ／μｍ程度であ
る。従ってこの区間を利用し、ダイヤルゲージ１の測定
子１３を被測定物の表面に接触させながら移動し、その
変位を電気信号に変換することにより、第４図に示した
ように被測定物の表面の平坦度を連続的に精度良く測定
することができる。
射型光センサの出力との関係は第３図に示すとおりとな
っており、破線で示したように極めて直線性の良い区間
が存在する。鏡面を有する金属反射板を用いた場合、こ
の破線区間の曲線の変化は数ｒｎ ｖ ／μｍ程度であ
る。従ってこの区間を利用し、ダイヤルゲージ１の測定
子１３を被測定物の表面に接触させながら移動し、その
変位を電気信号に変換することにより、第４図に示した
ように被測定物の表面の平坦度を連続的に精度良く測定
することができる。
以上説明したように本発明は、平坦度測定装置のダイヤ
ルゲージのステムとスピンドルとに反射型光センサと反
射板を取り付けて測定子の変位を電気信号に変換するこ
とにより、被測定物の表面の平場度を連続的に容易に測
定できるという効果がある。
ルゲージのステムとスピンドルとに反射型光センサと反
射板を取り付けて測定子の変位を電気信号に変換するこ
とにより、被測定物の表面の平場度を連続的に容易に測
定できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の正面図、第２図は本発明の
一実施例に用いられる反射型光センサを用いた」り足部
の回路図、第３図は反射型光センソーの反射面距離と出
力の特性図、第４図は本発明の一実施例による測定結果
を示す図、第５図は従来の平坦度測定装置の正面図、第
６図は従来の平坦度測定装置による測定結果の一例を示
す図である。 １・・・ダイヤルゲージ、２・・・支持台、３・・・基
準台、１１・・・ステム、１２・・−スピンドル、１３
・・・測定子、１４・・・反射型光センサ、１５・・・
金属反射板、２２・・・演算増幅器、２３・・・ペンレ
コーダ、４４・・・試料設置台、４５・・・被側定物。 代理人 弁理士 内 原 昔ｔ″′ノ： ゛〈 ＋５７ 第 ２ 菌 （′／ａ） 募 ３Ｉ！Ｉ 茅 ４ 図 Ｓ 茅 ５１！Ｉ □此嶋 第に閏
一実施例に用いられる反射型光センサを用いた」り足部
の回路図、第３図は反射型光センソーの反射面距離と出
力の特性図、第４図は本発明の一実施例による測定結果
を示す図、第５図は従来の平坦度測定装置の正面図、第
６図は従来の平坦度測定装置による測定結果の一例を示
す図である。 １・・・ダイヤルゲージ、２・・・支持台、３・・・基
準台、１１・・・ステム、１２・・−スピンドル、１３
・・・測定子、１４・・・反射型光センサ、１５・・・
金属反射板、２２・・・演算増幅器、２３・・・ペンレ
コーダ、４４・・・試料設置台、４５・・・被側定物。 代理人 弁理士 内 原 昔ｔ″′ノ： ゛〈 ＋５７ 第 ２ 菌 （′／ａ） 募 ３Ｉ！Ｉ 茅 ４ 図 Ｓ 茅 ５１！Ｉ □此嶋 第に閏
Claims (1)
- 基準台と、該基準台上を平行移動可能な支持台とステム
とスピンドルとを有し前記支持台上に固定されたダイヤ
ルゲージと、前記ステム又はスピンドルの一方に固定さ
れた反射型光センサと、該反射型光センサと光学的に対
向しかつ前記ステム又はスピンドルの他方に固定された
反射板とを含むことを特徴とする平坦度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26771385A JPS62126312A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 平担度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26771385A JPS62126312A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 平担度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62126312A true JPS62126312A (ja) | 1987-06-08 |
Family
ID=17448514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26771385A Pending JPS62126312A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 平担度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62126312A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02128109A (ja) * | 1988-11-08 | 1990-05-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面形状測定装置 |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP26771385A patent/JPS62126312A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02128109A (ja) * | 1988-11-08 | 1990-05-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面形状測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104040288B (zh) | 轮廓形状表面粗糙度测定装置以及轮廓形状表面粗糙度测定方法 | |
| US3533703A (en) | Linear motion encoder | |
| CN102980560B (zh) | 一种基于激光光盘的数字式倾斜角传感器 | |
| JPS60219528A (ja) | 高温度圧力トランスジユーサ用溶融シリカダイヤフラムモジユール | |
| US6459492B1 (en) | Non-contact position sensor | |
| JPS62126312A (ja) | 平担度測定装置 | |
| US3406292A (en) | Surface checking device | |
| JPS62212507A (ja) | レ−ザ干渉計で校正を不要とした触針式表面形状検出器 | |
| CN223512834U (zh) | 一种压力传感器 | |
| JPS6120834A (ja) | レンズメ−タのｐ．ｄ測定装置 | |
| CN2238417Y (zh) | 一种测量微小线位移的传感器 | |
| JP3107365B2 (ja) | リニアセンサ | |
| JPS62177409A (ja) | 非接触真直度測定器 | |
| CN86104916A (zh) | 斜行光干涉仪伸缩计量方法及装置 | |
| KR100638259B1 (ko) | 광소자와 거울을 이용한 길이 측정장치 및 방법 | |
| SU1408225A1 (ru) | Устройство дл определени смещений | |
| JP3116772B2 (ja) | Ｅｏプローブ | |
| SU1499119A1 (ru) | Устройство дл определени координаты светового п тна | |
| SU960927A1 (ru) | Устройство дл измерени контактного давлени магнитной ленты на блок магнитных головок | |
| KR100498192B1 (ko) | 비-접촉 위치 센서 | |
| SU916975A1 (ru) | Устройство дл измерени углового положени объекта | |
| JP3100251U (ja) | 非接触厚み測定器 | |
| JPS62159004A (ja) | 光フアイバ−による変位測定装置 | |
| RU2002127174A (ru) | Диагностическая измерительная система | |
| SU1370442A1 (ru) | Устройство дл измерени шероховатости |