JPS62127436U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による恒温クリーンチヤンバの
原理を示す正面図、第２図および第３図は平面図
および右側面図を示す。 １……チヤンバ機械室、２……排気ダクト、３
……空調機、４……送風フアン、５……フイルタ
、６……風向調節板、７……プリフイルタ、８…
…空気リターンダクト、９……クリーンルーム床
面、１０……クリーンルーム床下、１１……吹出
しパンチング板、ａ……清浄空気の流れ、ｂ……
リターン空気の流れ、ｃ……発生熱の流れ、ｄ…
…チヤンバ内部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ クリーンルームの床下を活用して空気リター
   ンダクトを設け空気を機械室へ環流させて温度調
   節することにより全体的に寸法が小さく省スペー
   スなことを特徴とする恒温クリーンチヤンバ。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、チ
   ヤンバ内部に設置された機械装置の発生熱を機械
   室へ導入しリターン空気、導入外気とミキシング
   して温度調節することを特徴とする恒温クリーン
   チヤンバ。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項において、角
   度を自由に変えられる風向調節板を設け吹出し清
   浄空気の気流方向を変えることにより温度分布の
   良好なことを特徴とする恒温クリーンチヤンバ。