JPS62127632A - 感熱式空気流量計の発熱抵抗素子 - Google Patents
感熱式空気流量計の発熱抵抗素子Info
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- JPS62127632A JPS62127632A JP60267153A JP26715385A JPS62127632A JP S62127632 A JPS62127632 A JP S62127632A JP 60267153 A JP60267153 A JP 60267153A JP 26715385 A JP26715385 A JP 26715385A JP S62127632 A JPS62127632 A JP S62127632A
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- resistor
- heat
- bobbin
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、通電加熱による発熱抵抗体を用いた、いわゆ
る感熱式空気流量計に係り、特に内燃機関の吸入空気量
測定に好適な感熱式空気流量計の発熱抵抗素子に関する
。
る感熱式空気流量計に係り、特に内燃機関の吸入空気量
測定に好適な感熱式空気流量計の発熱抵抗素子に関する
。
感熱式空気流量計(以下、AFMという)の発熱抵抗素
子(以下、RWEという)としては、例えば特開昭58
−210520号公報に開示されているように、白金素
線を空気通路内に張り巡らしたものや、特開昭59−1
04513号公報に開示されているように、小形のボビ
ンに白金線を巻回したものなどが知られている。
子(以下、RWEという)としては、例えば特開昭58
−210520号公報に開示されているように、白金素
線を空気通路内に張り巡らしたものや、特開昭59−1
04513号公報に開示されているように、小形のボビ
ンに白金線を巻回したものなどが知られている。
ところで、これらのうちの前者は、感度が高い反面、そ
の分、応答性が鋭敏すぎ、空気流の細かな乱れまで検出
してしまうため、マイクロコンピュータを主流とする制
御装置への信号の取シ込みが困難であり、かつ、塵埃の
付着による特性変化が著しいため、塵埃焼却のための特
別な回路が必要である。
の分、応答性が鋭敏すぎ、空気流の細かな乱れまで検出
してしまうため、マイクロコンピュータを主流とする制
御装置への信号の取シ込みが困難であり、かつ、塵埃の
付着による特性変化が著しいため、塵埃焼却のための特
別な回路が必要である。
一方、後者は、第7図に示すように、アルミナパイプ5
1の両端にリード52を接着剤55で接着し、アルミナ
パイプ51の外周に白金細線53全等ピッチで巻きつけ
、ガラスコート54を施した構造であり、断熱性接着剤
55を採用し、IJ −ド52を細くして応答特性の改
善を計ったものである。
1の両端にリード52を接着剤55で接着し、アルミナ
パイプ51の外周に白金細線53全等ピッチで巻きつけ
、ガラスコート54を施した構造であり、断熱性接着剤
55を採用し、IJ −ド52を細くして応答特性の改
善を計ったものである。
従って、この構造のHWE50は、前者の白金素線にも
るものに比して応答特性は若干力るがその分、信号処理
はしやすく塵埃の影響も比較的少ナイことから広く実用
化されている。
るものに比して応答特性は若干力るがその分、信号処理
はしやすく塵埃の影響も比較的少ナイことから広く実用
化されている。
第8図はこのよりなHWE50の設置状態を示したもの
で、バイパス通路Bの中に温度補償抵抗60と一緒に取
シ付けられている。
で、バイパス通路Bの中に温度補償抵抗60と一緒に取
シ付けられている。
ところで、これら第7図、第8図で示した従来のHWE
50i用いたAP’Mの応答特性は、第10図に示すよ
うに、95%立上シ応答で0.15秒以下、100%応
答では1.8〜2.5秒であった。
50i用いたAP’Mの応答特性は、第10図に示すよ
うに、95%立上シ応答で0.15秒以下、100%応
答では1.8〜2.5秒であった。
ところが、近年、AFMをエンジンに搭載し、マイクロ
コンピュータによるエンジン制御を行う場合にこのよう
なAFMの微妙な応答遅れがエンジンの応転性に悪影響
を及ぼし、特に低速域での運転不調を訴えられる場合が
多くなった。そして、AFMのHWEの高速応答化が要
求されるようになった。
コンピュータによるエンジン制御を行う場合にこのよう
なAFMの微妙な応答遅れがエンジンの応転性に悪影響
を及ぼし、特に低速域での運転不調を訴えられる場合が
多くなった。そして、AFMのHWEの高速応答化が要
求されるようになった。
そこで、HWEの応答速度を変えた供試品で運転性に対
する影響度を比較してみると1001立上シ、立下り応
答で0.5秒以下、95チ応答が0.1秒以下であるこ
とが必要条件であることがわかった。
する影響度を比較してみると1001立上シ、立下り応
答で0.5秒以下、95チ応答が0.1秒以下であるこ
とが必要条件であることがわかった。
本発明は、上記の技術的背景のもとになされたもので、
ボビン形の抵抗体−eHWB (発熱抵抗素子)として
用いなから、充分な応答性をもったAEM(感熱式空気
流量計)が得られるようにすることを目的とする。
ボビン形の抵抗体−eHWB (発熱抵抗素子)として
用いなから、充分な応答性をもったAEM(感熱式空気
流量計)が得られるようにすることを目的とする。
この目的を達成するため、本発明は、ボビン形抵抗体の
リードワイヤを空気通路内に張り渡し、これに抵抗体を
橋渡しさせて取り付け、これによりリードワイヤの細線
化を可能にし、リードワイヤへの熱引は量が充分に低減
されるようにした点を特徴とする。
リードワイヤを空気通路内に張り渡し、これに抵抗体を
橋渡しさせて取り付け、これによりリードワイヤの細線
化を可能にし、リードワイヤへの熱引は量が充分に低減
されるようにした点を特徴とする。
以下、本発明について、図示の実施例によシ詳細に説明
する。
する。
以下に説明する実施例では、上記した本発明の特徴とす
る点以外にも種々の工夫がなされておシ、従って、以下
、まず、これらの点も含めて実施例の概要について説明
する。
る点以外にも種々の工夫がなされておシ、従って、以下
、まず、これらの点も含めて実施例の概要について説明
する。
まず、上記した本発明の特徴とする点に関連した、リー
ドへの熱引は量を低減するための要因とその解決手法に
ついて説明する。
ドへの熱引は量を低減するための要因とその解決手法に
ついて説明する。
上記したように、従来の発熱抵抗体の取り付け構造は第
8図に、また、発熱抵抗体の構造は第7図に示したとお
りであり、これらの図から明らかなように、従来の発熱
抵抗体の構造には、応答特性に悪影響を及ぼすリードへ
の熱伝導に関し、2つの課題があった。第1にはターミ
ナルと発熱抵抗体9発熱部間の距離、即ちリードが短い
こと、第2にはアルミナパイプとリード間に熱絶縁材の
ガラスを用いたことである。接着ガラスは3τ(95%
)以下の応答を速くするためには有効であったが、4τ
から100係応答までの応答時間の改善効果はほとんど
ない。
8図に、また、発熱抵抗体の構造は第7図に示したとお
りであり、これらの図から明らかなように、従来の発熱
抵抗体の構造には、応答特性に悪影響を及ぼすリードへ
の熱伝導に関し、2つの課題があった。第1にはターミ
ナルと発熱抵抗体9発熱部間の距離、即ちリードが短い
こと、第2にはアルミナパイプとリード間に熱絶縁材の
ガラスを用いたことである。接着ガラスは3τ(95%
)以下の応答を速くするためには有効であったが、4τ
から100係応答までの応答時間の改善効果はほとんど
ない。
そこで改善策としてはリードは可能な限り細く長くして
熱の伝導抵抗を大きくすると同時に空気の流れの温度に
よくなじませることにする。一方、ボビンとリード間の
接合部は少量の貴金属を介した接合とし熱の停滞がなく
、伝導性が向上するようにした。
熱の伝導抵抗を大きくすると同時に空気の流れの温度に
よくなじませることにする。一方、ボビンとリード間の
接合部は少量の貴金属を介した接合とし熱の停滞がなく
、伝導性が向上するようにした。
具体的な構造として、以下の実施例では外径φ0.35
〜φ0.30のアルミナパイプまたは棒の表面にスパッ
タにより白金薄膜を着膜形成し、全長にわたって発熱で
きるように端から端までレーザによるトリミング溝を形
成する。この発熱抵抗体を通路に橋渡しされたワイヤリ
ードに発熱抵抗体の端部で貴金属の箔を介した固相接合
あるいは貴金属を主成分とする少量のろうを用いてそれ
ぞれ接合し、ワイヤリードに橋梁または挟持する構造と
した。同、塵埃付着の軽減のためワイヤリードは段違い
に張り、発熱抵抗体は流れに対して30゜〜60°傾斜
させて取シ付ける。ワイヤリード外径φ0.1〜φ0.
05の発熱抵抗体接合部と支持金具間の長さは5mm以
上としてリードへの熱引けを防止し、空気の流れの温度
変化や壁の温度変化などの影響を受けに<<シた。また
、発熱抵抗体は原価低減あるいはエンジンに搭載すると
きの方向性をなくす、あるいはノイズ低減などを目的と
して、予め小ベンチユリに取り付け主通路に配置するこ
とにした。
〜φ0.30のアルミナパイプまたは棒の表面にスパッ
タにより白金薄膜を着膜形成し、全長にわたって発熱で
きるように端から端までレーザによるトリミング溝を形
成する。この発熱抵抗体を通路に橋渡しされたワイヤリ
ードに発熱抵抗体の端部で貴金属の箔を介した固相接合
あるいは貴金属を主成分とする少量のろうを用いてそれ
ぞれ接合し、ワイヤリードに橋梁または挟持する構造と
した。同、塵埃付着の軽減のためワイヤリードは段違い
に張り、発熱抵抗体は流れに対して30゜〜60°傾斜
させて取シ付ける。ワイヤリード外径φ0.1〜φ0.
05の発熱抵抗体接合部と支持金具間の長さは5mm以
上としてリードへの熱引けを防止し、空気の流れの温度
変化や壁の温度変化などの影響を受けに<<シた。また
、発熱抵抗体は原価低減あるいはエンジンに搭載すると
きの方向性をなくす、あるいはノイズ低減などを目的と
して、予め小ベンチユリに取り付け主通路に配置するこ
とにした。
次に、抵抗体の形状についてみると、一般的に無限に長
い発熱する円柱を空気の流れの中において流速を変化さ
せた場合の熱時定数τは、円柱の直径41円柱の熱容量
Cpρ、円柱から空気の流れへの熱伝達率りの関数とし
て(1)式のように表わされる。
い発熱する円柱を空気の流れの中において流速を変化さ
せた場合の熱時定数τは、円柱の直径41円柱の熱容量
Cpρ、円柱から空気の流れへの熱伝達率りの関数とし
て(1)式のように表わされる。
従って応答特性を改善する手段としては、第1に円柱の
外径dを小さくする。第2に熱伝達率りを大きくする。
外径dを小さくする。第2に熱伝達率りを大きくする。
第3には、実際の物は無限に長い円柱でなく円柱にリー
ドが固定されているのでリードの熱伝導iを減少させる
。などが考えられる。
ドが固定されているのでリードの熱伝導iを減少させる
。などが考えられる。
そこで、以下の実施例では、従来外径dはφ0.5であ
ったのをφ0,35〜φ0.3と小さくし、―線の巻線
では量産性がないためやめ、上記した主うに、半導体生
産技術を応用して、白金などの金属薄膜をバレルスパッ
タによりボビン外周に着膜形成し、スパイラル状にトリ
ミング溝を形成する構造を採用することにした。次に熱
伝達率りを大きくするための手段としては定温度差形見
熱抵抗体の抵抗値n*1/2にし、抵抗体への供給電流
全増加する一方、発熱抵抗体の全長を長くして抵抗体の
単位熱容量に対する表面積の割合全1.5倍にした。こ
のため空気の流れに対する熱伝達率は第5図に示すよう
に従来に比し電流特性の勾配が示すように4〜5倍改善
できた。
ったのをφ0,35〜φ0.3と小さくし、―線の巻線
では量産性がないためやめ、上記した主うに、半導体生
産技術を応用して、白金などの金属薄膜をバレルスパッ
タによりボビン外周に着膜形成し、スパイラル状にトリ
ミング溝を形成する構造を採用することにした。次に熱
伝達率りを大きくするための手段としては定温度差形見
熱抵抗体の抵抗値n*1/2にし、抵抗体への供給電流
全増加する一方、発熱抵抗体の全長を長くして抵抗体の
単位熱容量に対する表面積の割合全1.5倍にした。こ
のため空気の流れに対する熱伝達率は第5図に示すよう
に従来に比し電流特性の勾配が示すように4〜5倍改善
できた。
以下、本発明の具体的な実施例について説明する。
第3図及び第4図は本発明の一実施例で、空気通路とな
るダクトに組込んだ状態を示し、第10図はAFMの回
路を示したもので、これらの図において、ボビン形の抵
抗体(HF )1は、他の抵抗11,12、温度補償抵
抗(CF)13とブリッジを構成する。このブリッジ抵
抗の差電圧をアンプ14を介して差動増幅し、トランジ
スタ15を駆動するフィードバック回路を構成する。H
F1とCF13は小ベンチユリ16に橋渡しされたそれ
ぞれ2本のリードワイヤ17.17’、18゜18′
に接合材19を介して支持固定される。HF1の温度は
CF13で検知される空気の流れの温度との差が例えば
200℃一定になるように制御される。
るダクトに組込んだ状態を示し、第10図はAFMの回
路を示したもので、これらの図において、ボビン形の抵
抗体(HF )1は、他の抵抗11,12、温度補償抵
抗(CF)13とブリッジを構成する。このブリッジ抵
抗の差電圧をアンプ14を介して差動増幅し、トランジ
スタ15を駆動するフィードバック回路を構成する。H
F1とCF13は小ベンチユリ16に橋渡しされたそれ
ぞれ2本のリードワイヤ17.17’、18゜18′
に接合材19を介して支持固定される。HF1の温度は
CF13で検知される空気の流れの温度との差が例えば
200℃一定になるように制御される。
駆動回路はダクト30に組付けられたノ・ウジング31
に収納し、リードワイヤとの間は中継リード20.21
.22.23で連結する。また、小ベンチユリ16はダ
クト30の通路の中央に配置し、HFは上流にCFは下
流に配置する。ダクト30の上流には整流用の金網32
が組込まれる。
に収納し、リードワイヤとの間は中継リード20.21
.22.23で連結する。また、小ベンチユリ16はダ
クト30の通路の中央に配置し、HFは上流にCFは下
流に配置する。ダクト30の上流には整流用の金網32
が組込まれる。
第1図はHFIの詳細を示したもので、HF1ばφ0.
3.長さく5mmのアルミナの無空棒2の外周に白金薄
膜3を4μmの厚さにバレルスパッタで着膜し、熱処理
後レーザによる抵抗トリミングを行う。トリミング溝4
はアルミナボビンの端から端まで等ピッチである。
3.長さく5mmのアルミナの無空棒2の外周に白金薄
膜3を4μmの厚さにバレルスパッタで着膜し、熱処理
後レーザによる抵抗トリミングを行う。トリミング溝4
はアルミナボビンの端から端まで等ピッチである。
初期抵抗値とトリミング溝数の関係を予め求めておくこ
とにより、抵抗値Rのばらつきは±3チの範囲に入れる
ことが可能である。このエレメントとリードワイヤとを
例えば金箔を介して高温中で圧接し固相接合するかまた
は貴金属のろうを介し不活性ガス中でろう接合し固定す
る。さらにエレメントの外周とリードワイヤとエレメン
トとの接合部にガラス被覆5を5μm〜10μm施す。
とにより、抵抗値Rのばらつきは±3チの範囲に入れる
ことが可能である。このエレメントとリードワイヤとを
例えば金箔を介して高温中で圧接し固相接合するかまた
は貴金属のろうを介し不活性ガス中でろう接合し固定す
る。さらにエレメントの外周とリードワイヤとエレメン
トとの接合部にガラス被覆5を5μm〜10μm施す。
ここで、アルミナの無空棒2は外径φ0,35.内径φ
0.2のパイプであってもよい。バイブの場合のリード
ワイヤへの接合は、第1図のような側端での接合が困難
である。従って第2図に示すように端部外周で接合する
3゜ マタ、HF1.CF13に支持するり一ドヮイヤ17.
17’、18,1ぎは、60Gの振動荷重に耐える必要
があシφ0.1外径のワイヤを用い、その長さは5mm
と短くし、途中で太いリードピンに中継する。fAl
’J−ドワイヤの長さは壁温の影響を軽減できることを
考慮して決める。
0.2のパイプであってもよい。バイブの場合のリード
ワイヤへの接合は、第1図のような側端での接合が困難
である。従って第2図に示すように端部外周で接合する
3゜ マタ、HF1.CF13に支持するり一ドヮイヤ17.
17’、18,1ぎは、60Gの振動荷重に耐える必要
があシφ0.1外径のワイヤを用い、その長さは5mm
と短くし、途中で太いリードピンに中継する。fAl
’J−ドワイヤの長さは壁温の影響を軽減できることを
考慮して決める。
次に熱伝達率h4大きくして応答特性を向上させるため
の一手段として、HFIの抵抗値Rとブリッジの抵抗1
1の抵抗値R1lk小さくして、)−IFIに流す電流
をトランジスタ15の許容限界以内で可能な限り上げる
ことにする。
の一手段として、HFIの抵抗値Rとブリッジの抵抗1
1の抵抗値R1lk小さくして、)−IFIに流す電流
をトランジスタ15の許容限界以内で可能な限り上げる
ことにする。
次に、この実施例によるH F M k流量測定用テス
トスタンドに取り付けて、流値Qに対するHF’1に流
れる電流Ihの関係を測定する。測定結果を第5図に示
すように、唖に対する普で表わすと、QとIhは4乗根
の関係にあるので直線になる。従来のエレメントによる
AFMに対して、本発明の実施例によるH Fエレメン
トは長さtに対する外径dの比を大きくしたこと、従来
の巻線方式では抵抗値を合わせることが難しいため、ボ
ビンの端から端まで一杯に巻くことができず、端部に発
熱しない部分が約30憾程残ったが、この実施例ではレ
ーザによるトリミングピッチを任意に変えてトリミング
が出来、端から端部で発熱部分を広げることが可能にな
ったこと、それにHF1の抵抗値を下げHFIに流す電
流を上げたなどのことが熱伝達率h(hは(2)式にお
けるBに対応する)全大きくすることを可能にし、この
結果、第5図に示す改善が得られたものである。岡、こ
こで、 Ib”: (A+B y’1lr)(Th−T、)・・
・・・・(2)である。
トスタンドに取り付けて、流値Qに対するHF’1に流
れる電流Ihの関係を測定する。測定結果を第5図に示
すように、唖に対する普で表わすと、QとIhは4乗根
の関係にあるので直線になる。従来のエレメントによる
AFMに対して、本発明の実施例によるH Fエレメン
トは長さtに対する外径dの比を大きくしたこと、従来
の巻線方式では抵抗値を合わせることが難しいため、ボ
ビンの端から端まで一杯に巻くことができず、端部に発
熱しない部分が約30憾程残ったが、この実施例ではレ
ーザによるトリミングピッチを任意に変えてトリミング
が出来、端から端部で発熱部分を広げることが可能にな
ったこと、それにHF1の抵抗値を下げHFIに流す電
流を上げたなどのことが熱伝達率h(hは(2)式にお
けるBに対応する)全大きくすることを可能にし、この
結果、第5図に示す改善が得られたものである。岡、こ
こで、 Ib”: (A+B y’1lr)(Th−T、)・・
・・・・(2)である。
次に、電磁弁により空気の流れを瞬時に切換えてAFM
に吹付け、瞬時応答特性を測定しその性能を比較してみ
る。測定結果の一例を示す。グラフ第6図によれば、9
5%(3τ)応答時間は0.066秒、98チ(4τ)
応答時間が0.099秒。
に吹付け、瞬時応答特性を測定しその性能を比較してみ
る。測定結果の一例を示す。グラフ第6図によれば、9
5%(3τ)応答時間は0.066秒、98チ(4τ)
応答時間が0.099秒。
100チ応答時間は0.159秒である。一方、第9図
に示す従来品の100チ応答時間は1.9秒であるから
、1/10以下に改善を計ることができた。
に示す従来品の100チ応答時間は1.9秒であるから
、1/10以下に改善を計ることができた。
従って、この実施例によれば、AFMを自動車のα3)
エンジンに搭載して走行した時の低速から高速加速時の
応答遅れによる走行運転不調全なくすことができる。
応答遅れによる走行運転不調全なくすことができる。
また、この実施例のように、AFMO主通路の中央部に
ニレメンlf配置したことにより、壁面流の影響が少な
くなってAFMの出力信号の乱れは少なくすることがで
きた1、尚、第3図及び第4図に示すように、塵埃の影
響を軽減するため流れの方向に対して30度から60度
に傾けてニレメントラ取シ付けることによシ、水平取り
付けに比して塵埃の付着量を少なくした、。
ニレメンlf配置したことにより、壁面流の影響が少な
くなってAFMの出力信号の乱れは少なくすることがで
きた1、尚、第3図及び第4図に示すように、塵埃の影
響を軽減するため流れの方向に対して30度から60度
に傾けてニレメントラ取シ付けることによシ、水平取り
付けに比して塵埃の付着量を少なくした、。
以上のように、本発明の一実施例によれば、エレメント
の長さtに対する外径dの比を大きくし、発熱部分をボ
ビンの端から端まで一杯にのばし、また、端部で少量の
接合材を介して2本の細いワイヤリードに橋梁したため
、応答特性を大幅に改善できた。また、ワイヤリードの
長さを適切に長くすることにより温度特性を改善できた
。ニレメントラ主通路の中央に小ベンチユリに取シ付け
て配置するよシ壁面流の影響を軽減でき、ノイズを低減
できた。また、壁温の影響を軽減できた。さらに安価に
することができた。リードワイヤを段違いにして張り、
橋梁するニレメントラ流れ方向に傾斜して取り付け塵埃
の影響を軽減できた。
の長さtに対する外径dの比を大きくし、発熱部分をボ
ビンの端から端まで一杯にのばし、また、端部で少量の
接合材を介して2本の細いワイヤリードに橋梁したため
、応答特性を大幅に改善できた。また、ワイヤリードの
長さを適切に長くすることにより温度特性を改善できた
。ニレメントラ主通路の中央に小ベンチユリに取シ付け
て配置するよシ壁面流の影響を軽減でき、ノイズを低減
できた。また、壁温の影響を軽減できた。さらに安価に
することができた。リードワイヤを段違いにして張り、
橋梁するニレメントラ流れ方向に傾斜して取り付け塵埃
の影響を軽減できた。
以上説明したように、本発明によれば、ボビン形抵抗体
を用いたにもかかわらず、充分な応答特性を与えること
ができるから、従来技術の利点を充分に活かしなから自
動車用内燃機関の制御を確実に行うことができる感熱式
空気流量計の発熱抵抗素子を容易に提供することができ
る。
を用いたにもかかわらず、充分な応答特性を与えること
ができるから、従来技術の利点を充分に活かしなから自
動車用内燃機関の制御を確実に行うことができる感熱式
空気流量計の発熱抵抗素子を容易に提供することができ
る。
第1図は本発明の一実施例を示したもので、(a)は正
面図、(b)は(a)i矢印P方向からみた側面図、第
2図は本発明の他の一実施例を示したもので、(a)は
正面図、ら)は(a)e矢印P方向からみた側面図、第
3図は本発明の一実施例による感熱式空気流量計の側断
面図、第4図は第3図の矢印P方向からみた正面図、第
5図は従来例との比較で示した本発明の一実施例による
特性図、第6図は本発明の一実施例における応答特性図
、第7図は従来例の正面図、第8図は従来例の取り付け
状態を示す説明図、第9図は従来例の応答特性図、第1
0図は感熱式空気流量計の回路図である。 1・・・発熱抵抗体(HP)、2・・・アルミナボビン
、3・・・白金薄膜、4・・・トリミング溝、5・・・
ガラス被覆、17.17’・・・リードワイヤ、19・
・・接合材。
面図、(b)は(a)i矢印P方向からみた側面図、第
2図は本発明の他の一実施例を示したもので、(a)は
正面図、ら)は(a)e矢印P方向からみた側面図、第
3図は本発明の一実施例による感熱式空気流量計の側断
面図、第4図は第3図の矢印P方向からみた正面図、第
5図は従来例との比較で示した本発明の一実施例による
特性図、第6図は本発明の一実施例における応答特性図
、第7図は従来例の正面図、第8図は従来例の取り付け
状態を示す説明図、第9図は従来例の応答特性図、第1
0図は感熱式空気流量計の回路図である。 1・・・発熱抵抗体(HP)、2・・・アルミナボビン
、3・・・白金薄膜、4・・・トリミング溝、5・・・
ガラス被覆、17.17’・・・リードワイヤ、19・
・・接合材。
Claims (7)
- 1. 流量を測定すべき空気通路中に空気流通方向と直
角に張り渡される2本の互に平行なリードワイヤを備え
、これら2本のリードワイヤ間に橋絡してボビン形抵抗
体を取り付けて構成したことを特徴とする感熱式空気流
量計の発熱抵抗素子。 - 2. 特許請求の範囲第1項において、上記ボビン形抵
抗体が、セラミツク材のパイプ又は丸棒の外周に被着さ
せた金属薄膜を電気抵抗体として構成されていることを
特徴とする感熱式空気流量計の発熱抵抗素子。 - 3. 特許請求の範囲第2項において、上記金属薄膜が
白金薄膜で構成され、この白金薄膜が抵抗値トリミング
用のスパイラル溝を有することを特徴とする感熱式空気
流量計の発熱抵抗素子。 - 4. 特許請求の範囲第3項において、上記ボビン形抵
抗体が、その外径をd、長さをlとしたとき、d=0.
3〜0.35mm,l/d>11.5の寸法に作られて
いることを特徴とする感熱式空気流量計の発熱抵抗素子
。 - 5. 特許請求の範囲第2項において、上記リードワイ
ヤに対するボビン形抵抗体の取り付けが、貴金属の箔を
用いた固相接合及び貴金属を主成分とするろう接合のい
ずれかによつて行なわれていることを特徴とする感熱式
空気流量計の発熱抵抗素子。 - 6. 特許請求の範囲第1項において、上記リードワイ
ヤとボビン形抵抗体の外周面及びこれらの取り付け部分
の少なくとも一つが、ガラスで被覆されていることを特
徴とする感熱式空気流量計の発熱抵抗素子。 - 7. 特許請求の範囲第1項において、上記ボビン形抵
抗体が空気流通方向と直角な位置から空気流通方向に向
つて30度ないし60度の範囲で傾いて保持されるよう
に、上記2本のリードワイヤが空気通路中に張り渡され
ることを特徴とする感熱式空気流量計の発熱抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60267153A JPH0684898B2 (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 感熱式空気流量計の発熱抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60267153A JPH0684898B2 (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 感熱式空気流量計の発熱抵抗素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62127632A true JPS62127632A (ja) | 1987-06-09 |
| JPH0684898B2 JPH0684898B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=17440826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60267153A Expired - Lifetime JPH0684898B2 (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 感熱式空気流量計の発熱抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0684898B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5282385A (en) * | 1990-05-30 | 1994-02-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Hot-wire type flowmeter |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP60267153A patent/JPH0684898B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5282385A (en) * | 1990-05-30 | 1994-02-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Hot-wire type flowmeter |
| EP0459468B1 (en) * | 1990-05-30 | 1996-07-24 | Nippondenso Co., Ltd. | Hot-wire type flowmeter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684898B2 (ja) | 1994-10-26 |
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