JPS62127655U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62127655U JPS62127655U JP1548586U JP1548586U JPS62127655U JP S62127655 U JPS62127655 U JP S62127655U JP 1548586 U JP1548586 U JP 1548586U JP 1548586 U JP1548586 U JP 1548586U JP S62127655 U JPS62127655 U JP S62127655U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image display
- ion implantation
- control
- color image
- display means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図はカラー画像表示手段の図形表示
の一例を示す図、第３図は処理手段の制御信号出
力直後の動作を示すフローチヤート、第４図はカ
ラー画像表示手段の表示動作の一例を示すフロー
チヤート、第５図は従来例の構成を示すブロツク
図である。 １…イオン注入装置、２…入力手段、３…カラ
ー画像表示手段、４…処理手段。
ツク図、第２図はカラー画像表示手段の図形表示
の一例を示す図、第３図は処理手段の制御信号出
力直後の動作を示すフローチヤート、第４図はカ
ラー画像表示手段の表示動作の一例を示すフロー
チヤート、第５図は従来例の構成を示すブロツク
図である。 １…イオン注入装置、２…入力手段、３…カラ
ー画像表示手段、４…処理手段。
Claims (1)
- イオン注入装置の制御指示を入力するための入
力手段と、前記イオン注入装置の運転状態を図形
表示するカラー画像表示手段と、前記制御指示に
よつて前記イオン注入装置に制御信号を出力し前
記イオン注入装置から与えられる計測データおよ
び制御応答信号によつて前記カラー画像表示手段
に前記イオン注入装置の運転状態を図形表示する
ための映像信号を出力するとともに前記制御信号
の出力動作後所定期間内に前記イオン注入装置か
ら制御応答があるとき前記カラー画像表示手段の
画像表示色を変化させる前記映像信号を出力し前
記制御応答がないとき前記カラー画像表示手段に
制御異常メツセージを表示させる前記映像信号を
出力する処理手段とを備えたイオン注入監視制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1548586U JPS62127655U (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1548586U JPS62127655U (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62127655U true JPS62127655U (ja) | 1987-08-13 |
Family
ID=30806463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1548586U Pending JPS62127655U (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62127655U (ja) |
-
1986
- 1986-02-05 JP JP1548586U patent/JPS62127655U/ja active Pending
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