JPS62132178U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62132178U JPS62132178U JP1856686U JP1856686U JPS62132178U JP S62132178 U JPS62132178 U JP S62132178U JP 1856686 U JP1856686 U JP 1856686U JP 1856686 U JP1856686 U JP 1856686U JP S62132178 U JPS62132178 U JP S62132178U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seed
- section
- cross
- single crystal
- compound semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
添付第１図ａおよびｂは本考案のシードの好ま
しい実例を模式的に示す斜視図ａよび横断面ｂで
あり、第２図は本考案のシードを用いるための引
上げ炉の一例を示す概略断面図であり、第３図は
本考案のシードを用いて引上げた化合物半導体単
結晶インゴツトの外観並びに寸法を示す模式的な
図である。 （主な参照番号） １…高圧容器、２…上軸、
３…下軸、４…るつぼ、５…ヒータ、６…保温部
材、７…シード、８…原料、９…封止剤。
しい実例を模式的に示す斜視図ａよび横断面ｂで
あり、第２図は本考案のシードを用いるための引
上げ炉の一例を示す概略断面図であり、第３図は
本考案のシードを用いて引上げた化合物半導体単
結晶インゴツトの外観並びに寸法を示す模式的な
図である。 （主な参照番号） １…高圧容器、２…上軸、
３…下軸、４…るつぼ、５…ヒータ、６…保温部
材、７…シード、８…原料、９…封止剤。
Claims (1)
- 横断面の最長辺の長さが６mm以下であり、かつ
該断面周縁部の各凸部の曲率Ｒが０．５〜１０mm
の範囲内であることを特徴とする化合物半導体単
結晶引上げ用シード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1856686U JPS62132178U (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1856686U JPS62132178U (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132178U true JPS62132178U (ja) | 1987-08-20 |
Family
ID=30812355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1856686U Pending JPS62132178U (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132178U (ja) |
-
1986
- 1986-02-12 JP JP1856686U patent/JPS62132178U/ja active Pending
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