JPS62132179A - Ｉｃピンの検査装置 - Google Patents
Ｉｃピンの検査装置Info
- Publication number
- JPS62132179A JPS62132179A JP60272697A JP27269785A JPS62132179A JP S62132179 A JPS62132179 A JP S62132179A JP 60272697 A JP60272697 A JP 60272697A JP 27269785 A JP27269785 A JP 27269785A JP S62132179 A JPS62132179 A JP S62132179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin
- inspection
- rail
- rail portion
- beam light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 41
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＩＣのピンの異状を検査する装置に関するもの
である。
である。
（従来の技術）
例えばＤＩＰ型のＩＣはパッケージの両側に多数のピン
を有するが、それが欠落していたり、曲がっていたりす
ると、その後の工程で支障を生ずる。
を有するが、それが欠落していたり、曲がっていたりす
ると、その後の工程で支障を生ずる。
ＩＣの種類は各種あり、ＤＩＰ型の１０ではピンの長さ
が異なるものもあるので、正確を期すには、ＩＣの種類
が異なる都度検査位置を変えなければならない。精度を
期待するには、曲げ等の吊が顕著になるピン先端で検査
する必要があるからである。ピンの異状を調べる機械装
置は公知であるが、高速度で正確な検査を行なうものは
存在せず、また、種類を問わずに使用できるものは知ら
れていない。
が異なるものもあるので、正確を期すには、ＩＣの種類
が異なる都度検査位置を変えなければならない。精度を
期待するには、曲げ等の吊が顕著になるピン先端で検査
する必要があるからである。ピンの異状を調べる機械装
置は公知であるが、高速度で正確な検査を行なうものは
存在せず、また、種類を問わずに使用できるものは知ら
れていない。
（技術的課題）
そこで本発明は前記の問題を解決するもので、その目的
はＩＣのピン配列の異状有無をピンの先端等所定の位置
で検査するにあたり、その検査位置までＩＣを移動させ
、ＩＣの種類に応じて移動量を変えることによって常に
適正なピンの検査が正確に行なえるＩＣピンの検査装置
を提供することにある。
はＩＣのピン配列の異状有無をピンの先端等所定の位置
で検査するにあたり、その検査位置までＩＣを移動させ
、ＩＣの種類に応じて移動量を変えることによって常に
適正なピンの検査が正確に行なえるＩＣピンの検査装置
を提供することにある。
（技術的手段）
前記目的を達する本発明は、ＩＣをのせたまま往復動可
能なレール部分を備え、そのレール部分の前後にＩＣの
搬送レールを連続的に設置した搬送手段と、レール部分
を支持する支持機構と、１Ｃをレール部分ごと移動させ
、検査位置で固定するＩＣの位置設定機構と、検査位置
に配置されたＩＣのピンに対しビーム光を送受光し、か
つビーム光を照射方向と略直交方向へ移動させる走査式
検査機構とを備えたＩＣピンの検査装置である。
能なレール部分を備え、そのレール部分の前後にＩＣの
搬送レールを連続的に設置した搬送手段と、レール部分
を支持する支持機構と、１Ｃをレール部分ごと移動させ
、検査位置で固定するＩＣの位置設定機構と、検査位置
に配置されたＩＣのピンに対しビーム光を送受光し、か
つビーム光を照射方向と略直交方向へ移動させる走査式
検査機構とを備えたＩＣピンの検査装置である。
（発明の作用）
本発明でＩＣは搬送レール上を移動する構造とし、その
一部を他レール部分と切離し往復動させる方式としたの
で、ＩＣはレール部分にのったまま検査位置へ移動させ
られ、検査を受けたのち他レールと並ぶ搬送位置へ復帰
する。そのためにＩＣを移動させる聞は適当に設定され
るから、ピンの長さが長ければ短距離、短かければより
長距離移動させることで、ピンの長さに応じｔＣを検査
位置へ配置することが可能になる。本発明では１Ｃを検
査位置で固定するので、ビーム光は照射方向と略直交す
る方向に往復する動作中に走査するが、その際往動、復
動のいずれの行程でも検査することが可能であり、１往
復で２回（２個）の検査を実行し得る。
一部を他レール部分と切離し往復動させる方式としたの
で、ＩＣはレール部分にのったまま検査位置へ移動させ
られ、検査を受けたのち他レールと並ぶ搬送位置へ復帰
する。そのためにＩＣを移動させる聞は適当に設定され
るから、ピンの長さが長ければ短距離、短かければより
長距離移動させることで、ピンの長さに応じｔＣを検査
位置へ配置することが可能になる。本発明では１Ｃを検
査位置で固定するので、ビーム光は照射方向と略直交す
る方向に往復する動作中に走査するが、その際往動、復
動のいずれの行程でも検査することが可能であり、１往
復で２回（２個）の検査を実行し得る。
（実施例）
以下図示実施例により説明するが、本発明の装置は実施
例の形態に限定されるものではない。各図中、１は装置
の略中央に配置されるレール部分、２．３はその前後に
レール部分１と直線状に連続するように設置きれた搬送
レールで、これらは、ＩＣの搬送動力として重力を使用
した搬送手段Ａを構成するために傾斜して設けられ、か
つ前後の搬送レール２．３は間のレール部分１と僅かな
高低差で階段状に並ぶようにしてＩＣ４が引掛るのを防
止している。５は略Ｔ字型断面を有するレール部分１の
下部に突設した支持杆、６は支持杆５を下端に設けた抜
は止め、７は支持杆５を上下動可能に嵌挿し、かつ扱は
止め６を係止したベース、８はベース７とレール部分下
面間に縮設したばねで、レール部分を前述の原位置方向
へ付勢しており、これらは支持機構８を構成する。
例の形態に限定されるものではない。各図中、１は装置
の略中央に配置されるレール部分、２．３はその前後に
レール部分１と直線状に連続するように設置きれた搬送
レールで、これらは、ＩＣの搬送動力として重力を使用
した搬送手段Ａを構成するために傾斜して設けられ、か
つ前後の搬送レール２．３は間のレール部分１と僅かな
高低差で階段状に並ぶようにしてＩＣ４が引掛るのを防
止している。５は略Ｔ字型断面を有するレール部分１の
下部に突設した支持杆、６は支持杆５を下端に設けた抜
は止め、７は支持杆５を上下動可能に嵌挿し、かつ扱は
止め６を係止したベース、８はベース７とレール部分下
面間に縮設したばねで、レール部分を前述の原位置方向
へ付勢しており、これらは支持機構８を構成する。
９はレール部材１の下端に当接する位置決め、１０はそ
れを取付けたスライドガイド、１１は調整ノブで、公知
の微１７Ｉｔａ構を内臓し、ＩＣ４の下降限界つまり検
査位置を規定するため位置決め９を昇降し、これらは位
置決め機構Ｃを構成する。１２はレール部分１の上位に
配置された呼込ブロック、１３．１４はその下面凹部に
平行に形成した位置決め斜面で、略ハの字形に開いてお
り、ＩＣの長手方向の上部稜線に当接してレール部分１
上に正しく固定する。１５は呼込ブロック１２を取付部
材１６を介して吊下するプランジャ、１７はプランジャ
１６を下降させ検査後上方へ復動させるソレノイド、１
８はソレノイド１７を後述の吊上Ｉａ横を介して取付け
た取付ステイ、１９はステイ１８の高さを調整するねじ
で、ステイ長孔２０に通しｋＨ３２１に固定した取付金
具２２に螺合している。２３はレール部分１上にＩＣ４
を停止させる略り字型のストッパ、２４は送りロール、
２５はそれらを取付けた部材、２６はその部材２５を回
転軸２７に固定したパルスモータその他の回転機構で、
第１図に実線で示されたＩＣ停止位置を定位置とし同図
で右回転することによりロール２４で検査済みＩＣを後
方レール３へ送り出す。２８はソレノイド１７の上端に
突設した軸、２９はそれに取付けた止具、３０は凸形の
吊枠、３１は止具２９と吊枠３０間に縮設したばね、３
２．３２は吊枠３０に挿通したねじ杆、３３はばね３１
の弾力に抗してソレノイド１７の吊上げ位置を決める調
整ナツトである。
れを取付けたスライドガイド、１１は調整ノブで、公知
の微１７Ｉｔａ構を内臓し、ＩＣ４の下降限界つまり検
査位置を規定するため位置決め９を昇降し、これらは位
置決め機構Ｃを構成する。１２はレール部分１の上位に
配置された呼込ブロック、１３．１４はその下面凹部に
平行に形成した位置決め斜面で、略ハの字形に開いてお
り、ＩＣの長手方向の上部稜線に当接してレール部分１
上に正しく固定する。１５は呼込ブロック１２を取付部
材１６を介して吊下するプランジャ、１７はプランジャ
１６を下降させ検査後上方へ復動させるソレノイド、１
８はソレノイド１７を後述の吊上Ｉａ横を介して取付け
た取付ステイ、１９はステイ１８の高さを調整するねじ
で、ステイ長孔２０に通しｋＨ３２１に固定した取付金
具２２に螺合している。２３はレール部分１上にＩＣ４
を停止させる略り字型のストッパ、２４は送りロール、
２５はそれらを取付けた部材、２６はその部材２５を回
転軸２７に固定したパルスモータその他の回転機構で、
第１図に実線で示されたＩＣ停止位置を定位置とし同図
で右回転することによりロール２４で検査済みＩＣを後
方レール３へ送り出す。２８はソレノイド１７の上端に
突設した軸、２９はそれに取付けた止具、３０は凸形の
吊枠、３１は止具２９と吊枠３０間に縮設したばね、３
２．３２は吊枠３０に挿通したねじ杆、３３はばね３１
の弾力に抗してソレノイド１７の吊上げ位置を決める調
整ナツトである。
上述の構成により検査位置に固定されるＩＣ４に対して
走査式検査機構Ｅが設置される。実施例のこの機構Ｅは
、レールの走行方向即ちＩＣのピン３４の並列方向と直
交する方向に移動し、ピン３４の主として内側或いは外
側への曲がりの有無を検査するものである。３５．３６
はピン３４の並列方向にビーム光を照射するための反射
面でプリズムが使用されている。３７は一方の反射面３
５にビーム光としてレーザー光を投光するレーザー発振
器、３８は他方の反射面３６からの反射光を受光する受
光器、３９は、それらのビーム光送受機構Ｆを装備した
機枠、４０は駆動ベルトで、送受機構Ｆ全体をビーム光
の照射方向と直交する方向へ移動するため機枠３９に結
合具４１により連結され、一対のプーリ４２．４２間に
掛回されている。４３は一方のプーリ４２を軸装したパ
ルスモータ等の回転手段で、４４．４５を停止位置とし
、これらの間を繰返し移動する。また、４６．４６は機
枠３９のスライドレール、４７．４８はその両端の取付
板を示す。
走査式検査機構Ｅが設置される。実施例のこの機構Ｅは
、レールの走行方向即ちＩＣのピン３４の並列方向と直
交する方向に移動し、ピン３４の主として内側或いは外
側への曲がりの有無を検査するものである。３５．３６
はピン３４の並列方向にビーム光を照射するための反射
面でプリズムが使用されている。３７は一方の反射面３
５にビーム光としてレーザー光を投光するレーザー発振
器、３８は他方の反射面３６からの反射光を受光する受
光器、３９は、それらのビーム光送受機構Ｆを装備した
機枠、４０は駆動ベルトで、送受機構Ｆ全体をビーム光
の照射方向と直交する方向へ移動するため機枠３９に結
合具４１により連結され、一対のプーリ４２．４２間に
掛回されている。４３は一方のプーリ４２を軸装したパ
ルスモータ等の回転手段で、４４．４５を停止位置とし
、これらの間を繰返し移動する。また、４６．４６は機
枠３９のスライドレール、４７．４８はその両端の取付
板を示す。
故に、搬送レール２によりＩＣ４がレール部分１に達す
ると、ストッパ２３によって止められ進入を検知する図
外の検知器からの信号によりソレノイド１７が作動し、
呼込ブロック１２の斜面１３．１４によりＩＣ４は稜線
を押えられて下降し、レール部分１の下端が位置決め９
に当る位置で止まる。ピン３４の長さが異なるときはソ
レノイド１１の位置を変えて検査位置に合わせれば良い
。そこで検査機構Ｅが作動し、ＩＣ４の左右のピン列を
直交する方向に走査するので、ピン３４が全て正常であ
れば、ビーム光の受光器３８の出力は例えば揃ったパル
ス信号の形で表示手段に表示される。またピン３４に内
外いずれかの方向に曲がりがあれば、多数のピン３４は
一列に揃わないからビーム光を遮断するピンも一列で２
以上に分れ、そのパルスも不揃いとなるからピン異状の
あるＩＣであることが判別されるのである。
ると、ストッパ２３によって止められ進入を検知する図
外の検知器からの信号によりソレノイド１７が作動し、
呼込ブロック１２の斜面１３．１４によりＩＣ４は稜線
を押えられて下降し、レール部分１の下端が位置決め９
に当る位置で止まる。ピン３４の長さが異なるときはソ
レノイド１１の位置を変えて検査位置に合わせれば良い
。そこで検査機構Ｅが作動し、ＩＣ４の左右のピン列を
直交する方向に走査するので、ピン３４が全て正常であ
れば、ビーム光の受光器３８の出力は例えば揃ったパル
ス信号の形で表示手段に表示される。またピン３４に内
外いずれかの方向に曲がりがあれば、多数のピン３４は
一列に揃わないからビーム光を遮断するピンも一列で２
以上に分れ、そのパルスも不揃いとなるからピン異状の
あるＩＣであることが判別されるのである。
（発明の効果）
したがって本発明によれば、ＩＣはそれをのせるレール
部分が伯の搬送レールから独立して移動可能であり、Ｉ
Ｃはレール部分にのったまま移動でき、位置設定機構と
の協動により検査位置で正しく固定されるものであるか
ら、ピンの長さの異なるＩＣについてもその検査位置を
適正に選択することができ、またピンの基部から先端ま
で希望の位置にビーム光を照射可能であるから、最も正
確を期するときはピン先端部を中心に異状を検査し、必
要があれば中間部分も検査することができるのでＩＣピ
ンの検査上著しく機能性に優れ、さらに、ビーム光を照
射する検査機構はその照射方向と略直交する方向へ移動
するだけで、上下調節の必要がなく、かつ反射面を含む
全体が一体として移動するため調整も容易で、しかも精
度の高い検査を実施できる効果がある。
部分が伯の搬送レールから独立して移動可能であり、Ｉ
Ｃはレール部分にのったまま移動でき、位置設定機構と
の協動により検査位置で正しく固定されるものであるか
ら、ピンの長さの異なるＩＣについてもその検査位置を
適正に選択することができ、またピンの基部から先端ま
で希望の位置にビーム光を照射可能であるから、最も正
確を期するときはピン先端部を中心に異状を検査し、必
要があれば中間部分も検査することができるのでＩＣピ
ンの検査上著しく機能性に優れ、さらに、ビーム光を照
射する検査機構はその照射方向と略直交する方向へ移動
するだけで、上下調節の必要がなく、かつ反射面を含む
全体が一体として移動するため調整も容易で、しかも精
度の高い検査を実施できる効果がある。
図面は本発明に係るＩＣピンの検査装置の１実施例を示
すもので第１図は側面図、第２図は正面図、第３図はそ
の部分拡大図、第４図は平面図である。 １・・・レール部分、２．３・・・搬送レール、４・・
・ＩＣ，Ａ・・・搬送手段、Ｂ・・・支持機構、Ｃ・・
・位置決め機構、Ｄ・・・移動機構、Ｅ・・・走査式検
査機構、Ｆ・・・ビーム光送受機構。 特 許 出 願 人 三和エレクトロニクス株式会社 ｍ−１ 代理人 弁理士 井 沢 向・′□′１
；、ぐ−− 第１図 １ＳＢ 箪２図 第４図
すもので第１図は側面図、第２図は正面図、第３図はそ
の部分拡大図、第４図は平面図である。 １・・・レール部分、２．３・・・搬送レール、４・・
・ＩＣ，Ａ・・・搬送手段、Ｂ・・・支持機構、Ｃ・・
・位置決め機構、Ｄ・・・移動機構、Ｅ・・・走査式検
査機構、Ｆ・・・ビーム光送受機構。 特 許 出 願 人 三和エレクトロニクス株式会社 ｍ−１ 代理人 弁理士 井 沢 向・′□′１
；、ぐ−− 第１図 １ＳＢ 箪２図 第４図
Claims (5)
- （１）ＩＣをのせたまま往復動可能なレール部分を備え
、そのレール部分の前後にＩＣの搬送レールを連続的に
設置した搬送手段と、 レール部分を支持する支持機構と、 ＩＣをレール部分ごと移動させ、検査位置で固定するＩ
Ｃの位置設定機構と、 検査位置に配置されたＩＣのピンに対しビーム光を照射
し、かつビーム光を照射方向と略直交方向へ移動させる
走査式検査機構とを備えたＩＣピンの検査装置。 - （２）搬送レールを傾斜設置し、ＩＣの搬送動力を重力
とした特許請求の範囲第１項記載のＩＣピンの検査装置
。 - （３）レール部分は上下方向へ往復動可能に設けられ、
ばねにより原位置に復帰させる構造を有する特許請求の
範囲第１項又は第２項記載のＩＣピンの検査装置。 - （４）ＩＣをレール部分ごと移動させる手段が押下げで
あり、押下げ手段としてソレノイド等のプランジャをレ
ール部分の上方に装備した特許請求の範囲第１項乃至第
３項のいずれかに記載のＩＣピンの検査装置。 - （５）ＩＣ位置の設定機構は、ＩＣの上部稜線に当接し
てＩＣの姿勢を一定に保持する呼込ブロックを有し、か
つそのブロックをプランジャに取付けた特許請求の範囲
第１項又は第４項記載のＩＣピンの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60272697A JPS62132179A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | Ｉｃピンの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60272697A JPS62132179A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | Ｉｃピンの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132179A true JPS62132179A (ja) | 1987-06-15 |
| JPH0580632B2 JPH0580632B2 (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=17517529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60272697A Granted JPS62132179A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | Ｉｃピンの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132179A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110207591A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-06 | 深圳市鼎盛精密工业有限公司 | 用于模内注塑五金电极的防呆识别电检设备 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6195620B2 (ja) | 2013-09-13 | 2017-09-13 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP60272697A patent/JPS62132179A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110207591A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-06 | 深圳市鼎盛精密工业有限公司 | 用于模内注塑五金电极的防呆识别电检设备 |
| CN110207591B (zh) * | 2019-07-03 | 2024-03-08 | 深圳市鼎盛精密工业有限公司 | 用于模内注塑五金电极的防呆识别电检设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0580632B2 (ja) | 1993-11-09 |
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