JPS62134232U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62134232U JPS62134232U JP1894186U JP1894186U JPS62134232U JP S62134232 U JPS62134232 U JP S62134232U JP 1894186 U JP1894186 U JP 1894186U JP 1894186 U JP1894186 U JP 1894186U JP S62134232 U JPS62134232 U JP S62134232U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control device
- gas flow
- holding
- buffer plate
- flow control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図乃至第２Ｂ図は、本考案の一実施例に係
るガス流制御装置を示し、第１図は斜視図、第２
Ａ図及び第２Ｂ図はバツフア板を取り付けた状態
を示す側面図である。第３Ａ図乃至第３Ｅ図は本
考案の他の実施例を示し、第３Ａ図は正面図、第
３Ｂ図は平面図、第３Ｃ図は第３Ａ図のＡ―Ａ線
断面図である。第３Ｄ図及び第３Ｅ図はバツフア
板の変形形状を示す第３Ａ図のＡ―Ａ′横断面図
である。第４Ａ図及び第４Ｂ図は本考案の他の実
施例を示し、第４Ａ図は正面図、第４Ｂ図は第４
Ａ図のＢ―Ｂ線断面図である。第５図は従来技術
に係るガス流制御装置を組込んだプロセス管の断
面図を示す。 １：プロセス管、１０：受け部材（受け台）、
２，２１，２２，２２１，２２２，２３：バツフ
ア板、１４ａ…，２４ａ…，３４ａ…，４４ａ…
：保持部（取付溝）。
るガス流制御装置を示し、第１図は斜視図、第２
Ａ図及び第２Ｂ図はバツフア板を取り付けた状態
を示す側面図である。第３Ａ図乃至第３Ｅ図は本
考案の他の実施例を示し、第３Ａ図は正面図、第
３Ｂ図は平面図、第３Ｃ図は第３Ａ図のＡ―Ａ線
断面図である。第３Ｄ図及び第３Ｅ図はバツフア
板の変形形状を示す第３Ａ図のＡ―Ａ′横断面図
である。第４Ａ図及び第４Ｂ図は本考案の他の実
施例を示し、第４Ａ図は正面図、第４Ｂ図は第４
Ａ図のＢ―Ｂ線断面図である。第５図は従来技術
に係るガス流制御装置を組込んだプロセス管の断
面図を示す。 １：プロセス管、１０：受け部材（受け台）、
２，２１，２２，２２１，２２２，２３：バツフ
ア板、１４ａ…，２４ａ…，３４ａ…，４４ａ…
：保持部（取付溝）。
補正 昭６１．５．２８
図面の簡単な説明を次のように補正する。
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第２Ｃ図は、本考案の一実施例に係
るガス流制御装置を示し、第１図は斜視図、第２
Ａ図、第２Ｂ図及び第２Ｃ図はバツフア板を取り
付けた状態を示す側面図である。第３Ａ図乃至第
３Ｅ図は本考案の他の実施例を示し、第３Ａ図は
正面図、第３Ｂ図は平面図、第３Ｃ図は第３Ａ図
のＡ―Ａ線断面図である。第３Ｄ図及び第３Ｅ図
はバツフア板の変形形状を示す第３Ａ図のＡ―Ａ
′横断面図である。第４Ａ図及び第４Ｂ図は本考
案の他の実施例を示し、第４Ａ図は正面図、第４
Ｂ図は第４Ａ図のＢ―Ｂ線断面図である。第５図
は従来技術に係るガス流制御装置を組込んだプロ
セス管の断面図を示す。 １：プロセス管、１０：受け部材（受け台）、
２，２１，２２，２２１，２２２，２３：バツフ
ア板、１４ａ…，２４ａ…，３４ａ…，４４ａ…
：保持部（取付溝）。
るガス流制御装置を示し、第１図は斜視図、第２
Ａ図、第２Ｂ図及び第２Ｃ図はバツフア板を取り
付けた状態を示す側面図である。第３Ａ図乃至第
３Ｅ図は本考案の他の実施例を示し、第３Ａ図は
正面図、第３Ｂ図は平面図、第３Ｃ図は第３Ａ図
のＡ―Ａ線断面図である。第３Ｄ図及び第３Ｅ図
はバツフア板の変形形状を示す第３Ａ図のＡ―Ａ
′横断面図である。第４Ａ図及び第４Ｂ図は本考
案の他の実施例を示し、第４Ａ図は正面図、第４
Ｂ図は第４Ａ図のＢ―Ｂ線断面図である。第５図
は従来技術に係るガス流制御装置を組込んだプロ
セス管の断面図を示す。 １：プロセス管、１０：受け部材（受け台）、
２，２１，２２，２２１，２２２，２３：バツフ
ア板、１４ａ…，２４ａ…，３４ａ…，４４ａ…
：保持部（取付溝）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) プロセス管に導入するガスの流れを制御す
る一又は複数のバツフア板と、該バツフア板を着
脱自在に保持する受け部材からなり、該受け部材
上に、バツフア板を位置決め保持する保持部を複
数個形成した事を特徴とするガス流制御装置。 (2) 前記バツフア板が角度変位可能に、前記複
数の保持部の取付角度を設定した実用新案登録請
求の範囲第１項記載のガス流制御装置。 (3) 前記バツフア板の取付高さが夫々変位可能
に、前記複数の保持部を形成した実用新案登録請
求の範囲第１項又は第２項記載のガス流制御装置
。 (4) プロセス管軸心を中心として前記バツフア
板が角度変位可能に、前記複数の保持部を形成し
た実用新案登録請求の範囲第１項から第３項まで
のいずれか１項記載のガス流制御装置。 (5) 前記受け部材上面をガス流れ方向に沿つて
弧状に形成し、該弧状上面に保持部を形成した実
用新案登録請求の範囲第１項から第４項までのい
ずれか１項記載のガス流制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1894186U JPS62134232U (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1894186U JPS62134232U (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62134232U true JPS62134232U (ja) | 1987-08-24 |
Family
ID=30813080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1894186U Pending JPS62134232U (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62134232U (ja) |
-
1986
- 1986-02-14 JP JP1894186U patent/JPS62134232U/ja active Pending