JPS62134245U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62134245U JPS62134245U JP2220386U JP2220386U JPS62134245U JP S62134245 U JPS62134245 U JP S62134245U JP 2220386 U JP2220386 U JP 2220386U JP 2220386 U JP2220386 U JP 2220386U JP S62134245 U JPS62134245 U JP S62134245U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- handle
- operating lever
- wafer
- attached
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 2
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案による一実施例の側面図、第２
図は同実施例の要部拡大図、第３図は従来装置の
斜視図である。 ２：ウエハー、３ａ，３ｂ：爪、４：ハンドル
、５：支持レバー、６：軸、７：バネ。
図は同実施例の要部拡大図、第３図は従来装置の
斜視図である。 ２：ウエハー、３ａ，３ｂ：爪、４：ハンドル
、５：支持レバー、６：軸、７：バネ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ハンドルと、 該ハンドルに対して回転自在に取付けられた操
作レバーと、 該操作レバーと上記ハンドルの間を弾性的に結
合する弾性体と、 上記ハンドルの延長先端と操作レバーの他端に
、互いに対向させて取付けられ、且つウエハーを
保持する凹部が形成された爪とを備えてなること
を特徴とするウエハーハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2220386U JPS62134245U (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2220386U JPS62134245U (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62134245U true JPS62134245U (ja) | 1987-08-24 |
Family
ID=30819362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2220386U Pending JPS62134245U (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62134245U (ja) |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP2220386U patent/JPS62134245U/ja active Pending