JPS62136332A - 丸形電磁チヤツクおよびその製造方法 - Google Patents
丸形電磁チヤツクおよびその製造方法Info
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- JPS62136332A JPS62136332A JP27476685A JP27476685A JPS62136332A JP S62136332 A JPS62136332 A JP S62136332A JP 27476685 A JP27476685 A JP 27476685A JP 27476685 A JP27476685 A JP 27476685A JP S62136332 A JPS62136332 A JP S62136332A
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- magnetic pole
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- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はワークを磁気吸着して加工のための固定を行な
うチャックに係り、特に励磁コイルを使用した丸形電磁
チャックおよびその製造方法に関する。
うチャックに係り、特に励磁コイルを使用した丸形電磁
チャックおよびその製造方法に関する。
〔従来の技術）
第７図に従来の丸形電磁チャックの一例の断面図を示す
。外形が円盤状に加工された磁極体７１の底面７１ａに
励磁コイル７２が同心円状に埋設されると共に、ワーク
の吸着面となる上面７１ｂには合成樹脂からなるリング
状のセパレータ７３が同心円状に埋設されている。そし
て、ｖ！ｉ極休７体の底面７１ａには底板７４が当接さ
れ、ボルト７５を締め付けることで磁極体７１と底板７
４とが一体化されている。セパレータ７３によって区分
された磁極体７１の上面７１ｂ部分は、鉄心部７６によ
る誘導磁気が作用する磁気部７７とが交互に形成されて
おり、励磁コイル７２に電流を与えると、磁力線が吸着
面７Ｉｂ上でループしてワークの吸着が行なわれるよう
になっている。
。外形が円盤状に加工された磁極体７１の底面７１ａに
励磁コイル７２が同心円状に埋設されると共に、ワーク
の吸着面となる上面７１ｂには合成樹脂からなるリング
状のセパレータ７３が同心円状に埋設されている。そし
て、ｖ！ｉ極休７体の底面７１ａには底板７４が当接さ
れ、ボルト７５を締め付けることで磁極体７１と底板７
４とが一体化されている。セパレータ７３によって区分
された磁極体７１の上面７１ｂ部分は、鉄心部７６によ
る誘導磁気が作用する磁気部７７とが交互に形成されて
おり、励磁コイル７２に電流を与えると、磁力線が吸着
面７Ｉｂ上でループしてワークの吸着が行なわれるよう
になっている。
〔発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来例の丸形電磁チャックは励磁コイル
７２とセパレータ７３とを嵌め込むために、磁極体７１
の下面７１ａおよび７１ｂの両面に同心円状の溝を穿設
する必要がある。このため、溝加工が面倒となっている
。特に、セパレータ７３が嵌め込まれる上面７１ｂの溝
は、一般にセパレータの幅が２〜５ｍと薄いため、精度
の高い切削加工が必要となっており、多大の労力と熟練
とを要している。又、下面７１ａの溝と上面７１ｂの溝
との間隔が、通常、１〜３ｒＩＶＲ程度となるため強度
が劣化し、耐久性に劣る構成となっている。
７２とセパレータ７３とを嵌め込むために、磁極体７１
の下面７１ａおよび７１ｂの両面に同心円状の溝を穿設
する必要がある。このため、溝加工が面倒となっている
。特に、セパレータ７３が嵌め込まれる上面７１ｂの溝
は、一般にセパレータの幅が２〜５ｍと薄いため、精度
の高い切削加工が必要となっており、多大の労力と熟練
とを要している。又、下面７１ａの溝と上面７１ｂの溝
との間隔が、通常、１〜３ｒＩＶＲ程度となるため強度
が劣化し、耐久性に劣る構成となっている。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、製作が容
易で、しかも強度が増大した丸形電磁チせツクを提供し
ようとするものである。又、本発明はかかる丸形電磁チ
ャックを、簡単に製作することができる製造方法を提供
しようとするものである。
易で、しかも強度が増大した丸形電磁チせツクを提供し
ようとするものである。又、本発明はかかる丸形電磁チ
ャックを、簡単に製作することができる製造方法を提供
しようとするものである。
〔問題点を解決するための手段）
本発明に係る丸形電磁チャックは、吸着面側に同心円状
の溝を有する磁極体を使用し、この磁極体の溝内に励磁
コイルとセパレータとを挿入したことを特徴としている
。又、本発明に係る製造方法は、磁極体の吸着面側にの
み同心円状の溝を穿設し、この溝内に励磁コイルを埋設
ざぼ、次に励磁コイルの上部にセパレータを充填したこ
とを特徴としている。
の溝を有する磁極体を使用し、この磁極体の溝内に励磁
コイルとセパレータとを挿入したことを特徴としている
。又、本発明に係る製造方法は、磁極体の吸着面側にの
み同心円状の溝を穿設し、この溝内に励磁コイルを埋設
ざぼ、次に励磁コイルの上部にセパレータを充填したこ
とを特徴としている。
本発明において、磁極体の溝の間は磁極部分となり、励
磁コイルに電流を流すと磁極部分が励磁されて磁極部分
から磁力線が発し、この磁力線は吸着面の上方に飛び出
して隣接する！１磁極分の間をループする。これにより
、ワークの吸着を行うことができる。
磁コイルに電流を流すと磁極部分が励磁されて磁極部分
から磁力線が発し、この磁力線は吸着面の上方に飛び出
して隣接する！１磁極分の間をループする。これにより
、ワークの吸着を行うことができる。
以下、本発明に係る丸形電磁チャックの一実施例を、第
１図に示す断面図および第２図に示す斜視図にもとづい
て具体的に説明する。この実施例の丸形電磁チャックは
、磁極体１と励磁コイル２とセパレータ３と浮１ｉ１１
極４とがらなっている。磁極体１は外形が円盤形状に成
形されており、吸着面となる上面１ａ側から一定深さの
溝が同心円状に穿設されている。この満５内には励磁コ
イル２、セパレータ３、浮１ｉｔｌ極４が挿入される。
１図に示す断面図および第２図に示す斜視図にもとづい
て具体的に説明する。この実施例の丸形電磁チャックは
、磁極体１と励磁コイル２とセパレータ３と浮１ｉ１１
極４とがらなっている。磁極体１は外形が円盤形状に成
形されており、吸着面となる上面１ａ側から一定深さの
溝が同心円状に穿設されている。この満５内には励磁コ
イル２、セパレータ３、浮１ｉｔｌ極４が挿入される。
励磁コイルは同心円状の満５の多径と同径となるように
リング上に巻回されており、各励磁コイル２はそれぞれ
の溝５内に嵌め込まれるようになっている。
リング上に巻回されており、各励磁コイル２はそれぞれ
の溝５内に嵌め込まれるようになっている。
この場合、励磁コイル２の烏ざ寸法は溝５の深さ寸法よ
りも小さくなっており、溝５内に挿入されると励磁コイ
ル２は溝５内に埋没する。
りも小さくなっており、溝５内に挿入されると励磁コイ
ル２は溝５内に埋没する。
セパレータ３は合成樹脂等の非磁性の材質がらなり、全
体がリング状にも巻回されると共に、上部が解放された
角ｒＬＩＪ字形断面となっており、励磁コイル２の上方
から各溝５内に嵌め込まれる。
体がリング状にも巻回されると共に、上部が解放された
角ｒＬＩＪ字形断面となっており、励磁コイル２の上方
から各溝５内に嵌め込まれる。
又、浮磁極４は矩形断面形状に成形されたリングとなっ
ており、セパレータ３の上部解放端からセパレータ３内
に嵌め込まれるものである。このような組み立て後にあ
っては、セパレータ３および浮１ａ極４の上面が磁極体
１の上面１ａと同一面となり、磁極体１の上面１ａにワ
ークが安定して載置されるようになっている。
ており、セパレータ３の上部解放端からセパレータ３内
に嵌め込まれるものである。このような組み立て後にあ
っては、セパレータ３および浮１ａ極４の上面が磁極体
１の上面１ａと同一面となり、磁極体１の上面１ａにワ
ークが安定して載置されるようになっている。
本実施例による吸着は、励磁コイル２に電流を流すこと
によって行なわれる。セパレータ３間に介在する磁極体
１の上面部分は磁極部分１ｂとして作用し、励磁コイル
２間に介在する中間部分は鉄心部分１ｃとして作用し、
磁極体１の下面部分は底板部分１ｄとしぞ作用する。従
って、磁気はセパレータ３によって区分された磁極部分
１ｂから上方に飛び出し、隣接する磁極部分１ｂに入り
、鉄心部分１ｃ、底板部分１ｄに達するようにループす
る。これによってワークの吸着が行なわれる。
によって行なわれる。セパレータ３間に介在する磁極体
１の上面部分は磁極部分１ｂとして作用し、励磁コイル
２間に介在する中間部分は鉄心部分１ｃとして作用し、
磁極体１の下面部分は底板部分１ｄとしぞ作用する。従
って、磁気はセパレータ３によって区分された磁極部分
１ｂから上方に飛び出し、隣接する磁極部分１ｂに入り
、鉄心部分１ｃ、底板部分１ｄに達するようにループす
る。これによってワークの吸着が行なわれる。
この場合、単一の磁極体１に磁極部分１ｂ、鉄心部分１
Ｃ１底板部分１ｄが形成されており、磁気回路内に合わ
せ面が存在しないので損失が少なく、吸着力が大ぎくな
り、又、確実な作動を行なうことができる。又、本実施
例ではセパレータ３内に挿入された浮磁極３も励磁され
るから、浮磁極３部分での吸着も可能となり、小さなワ
ークであっても確実に吸着することができる。
Ｃ１底板部分１ｄが形成されており、磁気回路内に合わ
せ面が存在しないので損失が少なく、吸着力が大ぎくな
り、又、確実な作動を行なうことができる。又、本実施
例ではセパレータ３内に挿入された浮磁極３も励磁され
るから、浮磁極３部分での吸着も可能となり、小さなワ
ークであっても確実に吸着することができる。
次に、以上の構造の丸形電磁チャックの製造方法を、第
３図ないし第５図に参照して説明する。
３図ないし第５図に参照して説明する。
磁極体１は予め円盤形状に成形された後、第３図のよう
に同心円状のＦｊ５が形成される。この満５は吸着面と
なる磁極体１の上面１ａのみから穿設され、磁極体の下
面には何ら溝が形成されることがない。
に同心円状のＦｊ５が形成される。この満５は吸着面と
なる磁極体１の上面１ａのみから穿設され、磁極体の下
面には何ら溝が形成されることがない。
溝５の形成後は、第４図のように各Ｗ４５内に励磁゛コ
イル２を挿入し、溝５内に埋設させる。次に接着剤ある
いは半田を使用して、第５図のように角ｒｌＪＪ字断面
のセパレータ３を励磁コイル２上から各溝５内に挿入し
、さらに、セパレータ３内に浮ｆ４１極４を挿入し、磁
極体１の上面１ａを研磨して仕上げる。
イル２を挿入し、溝５内に埋設させる。次に接着剤ある
いは半田を使用して、第５図のように角ｒｌＪＪ字断面
のセパレータ３を励磁コイル２上から各溝５内に挿入し
、さらに、セパレータ３内に浮ｆ４１極４を挿入し、磁
極体１の上面１ａを研磨して仕上げる。
このような製造方法によると、溝５を磁極体１の上面１
ａにのみ穿設するものであるから、穿設作業が簡略化さ
れる。又、精度を要求されるセパレータ３に合せた溝加
工が必要ないので、穿設が容易となる。さらに、溝５が
磁極体１の上面１ａにだけ形成されるので、強度が増大
し、耐久性が向上すると共に、ポル１〜締めも不要とな
り製作が迅速化される。
ａにのみ穿設するものであるから、穿設作業が簡略化さ
れる。又、精度を要求されるセパレータ３に合せた溝加
工が必要ないので、穿設が容易となる。さらに、溝５が
磁極体１の上面１ａにだけ形成されるので、強度が増大
し、耐久性が向上すると共に、ポル１〜締めも不要とな
り製作が迅速化される。
第６図は本発明の別の実施例の断面図であり、前述の実
施例と同一の要素は同一の符号で対応させて図示する。
施例と同一の要素は同一の符号で対応させて図示する。
この実施例において、励磁コイル２の上から溝５内に嵌
め込まれるセパレータ３Ｇよ中実な矩形断面となってい
る。従って、セパレータ３内には浮磁極３が嵌め込まれ
ることがなく、構造が全体として簡略化されている。
め込まれるセパレータ３Ｇよ中実な矩形断面となってい
る。従って、セパレータ３内には浮磁極３が嵌め込まれ
ることがなく、構造が全体として簡略化されている。
以上のとおり本発明によると、磁極体の吸着面側にだけ
同心円状の溝を穿設し、溝内に励磁コイル、レバレータ
を挿入する構造としたので、強度が向上すると共に、強
力にワークを吸着できる丸型電磁チャックを得ることが
できる。
同心円状の溝を穿設し、溝内に励磁コイル、レバレータ
を挿入する構造としたので、強度が向上すると共に、強
力にワークを吸着できる丸型電磁チャックを得ることが
できる。
又、本発明に係る製造方法によると、ａ甲な加工で丸形
電磁チャックを製作することができる。
電磁チャックを製作することができる。
第１図は本発明に係る丸形電磁チャックの一実施例の断
面図、第２図はその斜視図、第３図ないし第５図はその
製造工程を示す断面図、第６図は別の実施例の断面図、
第７図は従来の丸形電磁チャックの断面図である。 １・・・磁極体、１ａ・・・吸着面、２・・・励磁コイ
ル、３・・・セパレータ、４・・・浮磁極、５・・・溝
。 出願人代理人 佐 藤 −雄 も １ 囚 も２ ｚ 汽３ 図
面図、第２図はその斜視図、第３図ないし第５図はその
製造工程を示す断面図、第６図は別の実施例の断面図、
第７図は従来の丸形電磁チャックの断面図である。 １・・・磁極体、１ａ・・・吸着面、２・・・励磁コイ
ル、３・・・セパレータ、４・・・浮磁極、５・・・溝
。 出願人代理人 佐 藤 −雄 も １ 囚 も２ ｚ 汽３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、吸着面側に同心円状の溝が形成された円盤形状の磁
極体と、前記各溝内に埋設するように挿入された励磁コ
イルと、励磁コイルの上方から前記各溝内に充填させた
セパレータとを備える丸形電磁チャック。 ２、前記セパレータ内に浮磁極が挿入されている特許請
求の範囲第１項記載の丸形電磁チャック。 ３、円盤形状の磁極体の吸着面側に同心円状の溝を穿設
する工程と、前記各溝内に励磁コイルを挿入する工程と
、前記励磁コイルの上方から各溝内にセパレータを充填
する工程とを備える丸形電磁チャックの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27476685A JPS62136332A (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 丸形電磁チヤツクおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27476685A JPS62136332A (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 丸形電磁チヤツクおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136332A true JPS62136332A (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=17546275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27476685A Pending JPS62136332A (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 丸形電磁チヤツクおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136332A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0546615U (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-22 | 本田技研工業株式会社 | エアバッグ装置のバッグ構造 |
| JP2007301640A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Kanetec Co Ltd | 磁気チャック用面板 |
| US20150155193A1 (en) * | 2013-12-02 | 2015-06-04 | Chih-Hsun Hsu | Electrostatic chuck with variable pixelated magnetic field |
| CN107685286A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-02-13 | 湖州铭灏机械有限公司 | 一种磨床快速加工平台结构 |
| CZ308660B6 (cs) * | 2013-05-27 | 2021-02-03 | BOHEMIA RINGS s.r.o. | Základní tělo magnetické upínací desky a způsob jeho výroby |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53111584A (en) * | 1976-12-22 | 1978-09-29 | Ceske Vysoke Uceni Tech | Electromagnetic clamping device |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP27476685A patent/JPS62136332A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53111584A (en) * | 1976-12-22 | 1978-09-29 | Ceske Vysoke Uceni Tech | Electromagnetic clamping device |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0546615U (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-22 | 本田技研工業株式会社 | エアバッグ装置のバッグ構造 |
| JP2007301640A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Kanetec Co Ltd | 磁気チャック用面板 |
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| US20150155193A1 (en) * | 2013-12-02 | 2015-06-04 | Chih-Hsun Hsu | Electrostatic chuck with variable pixelated magnetic field |
| US10460968B2 (en) * | 2013-12-02 | 2019-10-29 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with variable pixelated magnetic field |
| US10790180B2 (en) | 2013-12-02 | 2020-09-29 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with variable pixelated magnetic field |
| CN107685286A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-02-13 | 湖州铭灏机械有限公司 | 一种磨床快速加工平台结构 |
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