JPS6214237A - 高速論理回路の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高速デジタル試験装置、特に高速超ＬＳＩチッ
プの試験に係る。

超高速デジタル・システム、例えばＶＨ５ＩＣシステム
及びその他の高速超ＬＳＩ（ＶＬＳ　Ｉ　Ｃ）チップな
どの試験はデバイスまたは回路の製造に要する全時間に
著しく影響を与える。この種の回路は多数の人出力線ま
たは並列ビット位置を含むのが普通であるから、特定の
入力信号またはビット・パターンごとに特定の出力信号
またはビット・パターンが形成される。出力信号の可能
な組合わせを全部試験することにより、被験回路または
デバイスが正しく動作しているかどうかを判定すること
ができる。出力信号の組合わせのいくつかが試験をバス
しない場合、そのデバイスが欠陥製品であるとの判定を
下すか、より条件のゆるい用途、低い動作速度、または
正規の動作速度において必ずしもすべての出力が正しく
なくてもよいような動作条件の用途に転用するかを判断
すればよい。

試験に必要な種々の条件は原則として公知のデジタル電
子技術を利用することによって間に合う。ところが、大
容量、高速のメモリ及びシフトレジスタ（≧１００　Ｍ
Ｈｚ）を必要とすること、達成可能な相似の程度、極め
て高いクロック周波数（＞　５００　ＭＢ２）にまで適
応する可能性、及びコストの点でこの方法には種々の問
題がある。

最近の超ＬＳＩは多くの場合最大限３２の並列入力線と
３２の並列出力を有する。このようなチップを考え得る
すべての入力及び出力の組み合わせごとに試験すること
は大変な仕事であり、多くの時間を必要とする。そこで
、実際には所定のパターンまたは入力信号セットで回路
を試験することが多い。大抵はそれだけでチップが満足
な製品か、欠陥製品かを充分に判定できる。また、実際
の動作条件下でのチップの性能を正確に知るためには正
規の動作速度でチップを検査しなければならない。さら
にまた、出力信号中のエラーの存在を検知するだけでな
く、検知されたエラーの場所及び不正確な論理レベルの
状態を指示することが望ましい。

本発明の主要目的は満足すべきシステム動作を表わす単
数または複数組の入力ベクトルで高速論理システムを試
験し、システム中にエラーがあればその場所及び状態に
関する情報を指示することのできる試験装置を提供する
ことにある。

上記目的を本発明は、被験回路を少なくとも１組の入力
ベクトルで駆動する手段及びパルス光信号発生手段を含
む高速論理回路の試験装置において、パルス光信号を受
信する第１空間光変調器と、被験回路からの出力信号を
構成する経時的な２進値を第１空間光変調器に所定個数
だけロードする手段と、変調器にロードされた２進値に
よって変調された光信号の空間的な光の強さを検知する
手段と、検知された光信号の強さを分析する手段と、駆
動、パルス光信号発生、検知及び分析手段の動作を同期
化させて、入力ベクトルで駆動した結果生じた出力信号
の２進値が所定個数だけ空間光変調器にロードされたの
ち、光信号パルスをオンさせる同期手段を含むことを特
徴とする高速論理回路の試験装置によって達成する。

以下、添付図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明
する。

第１図には本発明の１実施例をブロックダイヤグラムで
示した。被験回路１０は入力信号１４から出力信号１２
を予測できる電子論理デバイスなどのようなものでもよ
く、例えは、被験回路１０として、３２ビット並列出力
を有し、そのビットパターンが３２ビット並列入力信号
に対応して経時的に変化する超ＬＳ　Ｉ　（ＶＬＳ　Ｉ
Ｃ）が考えられる。３２ビット並列入力信号は入力ベク
トルと呼び、入力ベクトル発生器１６から得られる。回
路１０が正常であるか、欠陥製品であるか、あるいはも
っと条件のゆるい用途に格下げすべきかを充分判定でき
る多様なパターンでこの回路１０を試験するのに上記ベ
クトル・セットを利用する。通常は複雑な専用高速論理
回路によってリアルタイムで１組の入力ベクトルを発生
させる。

回路１０からの出力信号は空間光変調器（ＳＬＭ）２０
を駆動する空間光変調器ドライバ１８に送られる。空間
光変調器としては、出力データをロードできる多数の独
立チャンネルを有する音響／光学セルが考えられる。

出力信号が３２ビツトの場合なら、空間光変調器２０は
３２チヤンネルを含むことが好ましい。ＳＬＭ２０にロ
ードされる情報は論理出力チャンネルの信号ｌ及び０か
ら成る。用途によっては、類似た論理レベルを区別する
ため、ロードされる信号の各ビットのあとに論理Ｏを挿
入すればよい。

パルス・レーザのようなパルス光源２２をシステム・シ
ンクロナイザ２４によって制御し、被験回路１０からの
データのビットの流れが空間光変調器２０にロードされ
たら、パルス光源２２をターンオンして光２６を発生さ
せる。空間光変調器２０を通過する光２８は空間変調さ
れており、検知器列３０上に結像される。検知器列３０
は空間変調器２０にロードされる各信号ビットの光の強
さを測定するのに充分な数の画素または個別検知セルを
含む。検知器列３０が光の強さを示すデータを取得した
ら、このデータは、出力信号が特定入力ベクトルに対応
して適正であるかどうかを判定するため比較電子回路に
ダウンロードされる。この実施例の比較部には公知の低
速電子回路を利用することができる。

第２図は第１図に示した実施例の斜視図である。パルス
・レーザ２２′は指令に応答してコヒーレントな光を発
生し、このコヒーレントな光はレンズ３６により、平行
光の形で空間光変調器２０′に入射する。空間光変調器
２０’は被験回路からの出力を矢印３８で示すようにＹ
軸沿いにロードされる複数チャンネルを備えた音響／光
学セルである。空間光変調器２０′に結像した光は空間
変調され、レンズ４０．４２及びフィルタ４４を通って
検知器列３０’に到達する。レンズ４０．４２及びフィ
ルタ４４は空間光変調器２０″を通過する光信号の非変
調部分を除去する。現実のシステムでは、レンズ４０．
４２はＳＬＭ２０’からの変調光線を残らず回折させる
のに充分な大きさを備えることになる。

検知器列３０′はそれぞれが空間光変調器２０′にロー
ドされる出力ビツト数に等しい数の画素を提供するのに
充分な解像力を有する複数の個別チャンネルを有する２
次元アレイである。

第１及び２図に示すシステムの動作を第３図のタイミン
グダイヤグラムで示した。入力ベクトルが被験回路に供
給され、被験回路からの出力信号が第３図中のブロック
４８で示すように空間光変調器にロードされる。最近の
空間光変調器は超高速集積回路のクロック速度と適合可
能な周波数で出力データを受信することができる。空間
光変調器にロードできる各並列チャンネルのデータ・ビ
ット数は変調器の画素またはセルの数に応じて異なる。

例えば、第２図に示す空間光変調器２０′がそれぞれの
画素解像度が２５６である３２の個別チャンネルを含む
場合、信号ビット間の間隔ゼロとして必要なビットを別
とすれば、出力信号から２５６Ｘ３２ビツトの情報が空
間光変調器にロードされる。ローディングが完了すると
、入力ベクトルがターンオフされ、レーザがパルス・オ
ンされて空間光変調器を照射し、検知器列に対して空間
変調された光を提供する。第３図中のブロック５０で示
すように、レーザがパルス・オンされたのち、ブロック
５２で示すように、検知器列のデータがダウンロードさ
れる。ダウンロードされたデータをブロック５４で示す
ように通常のデジタル装置によって比較して、出力信号
にエラーが含まれていたかどうかを検出し、検出された
エラーの場所及び状態を確記する。本発明のこの構成を
利用することにより、被験回路からの高速出力信号を正
規の動作速度で、公知の低速デジタル電子回路によって
利用されるビット・パターンを、他のデバイスと協働し
て光学的に記憶するデバイスに供給することができる。

第４図は第５及び６図に示す本発明の実施例に現われる
種々の波形を示す。波形５６は被験回路からの出力信号
のデジタル論理値を表わす。波形５６から明らかなよう
に、出力の論理値は経時的に変化し、入力ベクトルに応
じて異なる。被験デバイスの多くはこのような並列出力
波形を、例えば、３２ビット並列出力デバイスなら３２
個含む。波形５６はセグメント５８で示す高論理レベル
とセグメント６０で示す低論理レベルとの間に現れる出
力変化を示す。波形６２は被験デバイスから予測される
適正な波形を表わし、同様に、波形６４は波形６２の補
数を表す波形である。

第４図から明らかなように、実際の出力波形５６は予測
される、または適正な波形６２と一致しない。波形６２
のセグメント６６．６８に相違がある。第５及び６図に
示す実施例によって用いられる加算プロセスにより、補
数波形６４を実際の出力波形５６と光学的に加算するこ
とにより、波形７０を得る。論理値は光の強さに変換さ
れているから、この加算プロセスの結果、単一の高論理
レベルで表わされる光の強さの２倍に相当する光の強さ
が得られる。例えばセグメント７２は出力波形５６から
の単一高論理レベル強さに対応する光の強さの２倍に等
しい光の強さに相当する。

第４図の波形を分析すれば明らかなように、波形７０は
出力波形５６が予測される、または適正な波形６２と同
じであれば、レベル１に相当する一定の明るさを有する
。換言すると、出力信号が適正なら、波形５６と６４を
加算することで明るさレベル１が得られる。出力信号が
適正でなければ、波形７０の明るさ値はセグメント７１
及び７２でそれぞれ示すように、０または２となる。波
形７０のセグメント７１．７２は出力波形が不適正であ
ることを示すだけでなく、両セグメントはその位置によ
フて不通正出力信号の場所及び状態を示す。

第５図は第４図に略示した加算による信号の比較方法を
採用する本発明の実施例を示すブロックダイヤグラムで
ある。第５図に示すように、入力ベクトルは入力ベクト
ル発生器７４によって形成され、被験回路７６に供給さ
れる。被験回路７６からの出力信号は第１空間光変調器
８０を駆動する空間光変調器ドライバ７８に供給される
。即ち、空間光変調器８０は第４図に示した出力波形５
６に対応する、被験回路出力からのデジタル・データを
含む。

基準信号発生器８２は第４図の波形６４に対応する予測
される出力信号の補数を提供する。予測される信号は第
２空間光変調器８４に供給またはロードされる。基準信
号発生器８２としては、空間光変調器８４へのロードに
必要な高速で動作できる公知のデジタル回路、または被
験回路と同様の、かつ出力が適正であることがわかって
いる「パーフェクト・チップ」を使用することができる
。

空間光変調器８０．８４にそれぞれのデータをロードし
たら、システム・シンクロナイザ８６によってパルス光
源８８をターン・オンする。光源８８からの光はスプリ
ッタ９０によって分割され、適当なレンズ系によって空
間光変調器８０．８４に結像させられる。

空間光変調器８０．８４を通過して空間変調された光は
検知器列９２に結像し、明るさ検知器９４が第４図の波
形７０に対応する検知器列９２の検知光量を測定できる
ようにダウンロードされる。従って、明るさ検知器９４
は適正出力信号の補数と適正出力信号とを組み合わせて
得られる光の強さとは異なる光の強さを監視する。検知
器列９２に固有の加算能力により、高論理レベルの出力
信号のエラーは適正信号の強さの２倍となる。同様に、
低論理状態における出力信号のエラーは適正値以下の明
るさのレベルとなる。公知の電子回路によってこのデー
タを適当に操作することにより、エラーの存在、その場
所及び状態を指示することかできる。

第６図は第５図にブロックで示した実施例の斜視図であ
る。第６図では、光源８８゛は光ビーム９６をスプリッ
タ９０′に入射させるパルス・レーザ系である。コリメ
ータ・レンズ９８．１００はスプリット光を空間光変調
器８０′、８４’に入射させる。図面では光源を、その
光ビームが２成分に分割される単一レーザ源として示し
であるが、それぞれの空間光変調器ごとに１つづつ２つ
の別々の光源を使用してもよい。

被験回路からの出力信号は、この実施例の場合には多重
チャンネル音響／光学セルである空間光変調器８０゛に
ロードされる。第５図の基準信号発生器８２から得られ
る予測される補数出力信号は第６図に示す多重チャンネ
ル音響／光学セル８４′にロードされる。

変調器の双方にそれぞれのデータがロードされると、レ
ーザ８８′がパルス・オンされて空間光変調器及びレン
ズ１０２．１０４．１０６．１０８及びフィルタ１１０
．１１２に光ビームを送る。第２図に関連して述べたよ
うに、第６図に示すレンズ及びフィルタは空間光変調器
と協働することにより、変調器を通過する光の非変調成
分を除去し、空間変調された光ビームだけを２次元検知
器列９２′に結像させることを可能にする。

第６図に示す装置の変形例を第７図の部分斜視図で示し
た。第７図に示す空間光変調器８４′は磁気／光学セル
であり、アナライザ１１４を利用して、所期の空間変調
信号として偏光が適切でない光を磁気／光学セル８４″
から除去する。この実施例は基準信号の発生速度が音響
／光学セルよりも応答速度の低い空間変調器の使用を可
能にするような状況において利用することがで籾る。第
７図に示すこの実施例では第６図に示す成分８０′、８
４’、１０２．１０４．１０６．１０８．１１０及び１
１２に代えて磁気／光学空間光変調器８４″及びアナラ
イザ１１４を用いる。

第８図は第５及び６図に示した試験装置の操作に利用で
きるステップのシーケンスを示すタイミングダイヤグラ
ムである。ブロック１１６に示すように、データが２つ
の空間光変調器にロードされ、次いで、ブロック１１８
に示すようにレーザがパルス・オンされる。レーザから
の変調光が検知器列によって検知され、ブロック１２０
で示すように、システム中の連携の電子回路にダウンロ
ードされる。ブロック１２２で示すように、公知の電子
回路を利用し、公知の方法で検知器列からのデータを分
析することにより、複合検知信号中のエラー・セグメン
トの存在及び極性を検出する。即ち、第４図に示した波
形７０のエラー・セグメントを検出し、位置及び状態を
確証する。検知器列からダウンロードされるデータは被
験回路の本来の出力信号よりも低い速度で処理できるか
ら、検知器列出力中のエラー・セグメント検出に必要な
確認及び比較を行うのに公知の低速電子回路を使用する
ことができる。

第９図に示すように、光ビーム信号の基準部分に磁気／
光学空間光変調器を使用すると、レーザをパルス・オン
する前に空間光変調器をロードするのに必要な時間量が
増大する。第９図のブロック１２４．１２６．１２８で
示すように、２つの空間光変調器にデータをロードし、
次いでレーザをパルス・オンして検知器列に光を結像さ
せる。ダウンロードされたデータを、第９図にブロック
１３０．１３２で示すように上述の態様で分析する。第
９図では空間光変調器のローディングを逐次動作として
示しであるが、空間変調器のローディング時間を節約す
るため、これらの動作の一部を同時に進行させてもよい
。また、検知器をダウンロードし、データを分析する段
階を、空間光変調器のいずれか一方または双方へ新しい
データをロードする時間の一部にわたって実施すること
も可能である。

加算プロセスまたはアルゴリズムを２つの論理値の和と
して表わすことによって、本発明の動作を数学的に説明
する。例えばＳＥＩが被験回路の１番目出力チャンネル
の予測論理値を、Ｓｏｌがこの同じ出力チャンネルの実
論理値をそれぞれ表わすとする。ＳＥＩ　もＳ。１も論
理値Ｏまたは１を取ることがで籾る。双方が同じ値を取
れば、所与のチャンネルのｉ番目の状態は適正であり、
ＳＥＩｆ−５ｏＩなら、出力が不適正である。この定義
を利用すれば、加算アルゴリズムを次の２つの段階で形
成することができる。

ステップ１：Ｓ、、の補数を形成する：５ＥＩ−１−５
ＥＩ ステップ２：ＳＥ、と５ｔ）ｌの和を形成する：出力−
０Ｐ−５ｏ１＋１−５ｃ＋ ０Ｐ−５ｏ＋÷ｓｇ＋ ステップ２から得られる出力ＯＰは表１に示す必要な試
験情報のすべてを含む。

表　　１ 表１から明らかなように、出力は３通りの値、即ち、０
．１．２を取ることができる。

出力が１なら、試験はエラーが発生しなかったことを示
す。０Ｐ−０なら、出力試験は特定のエラーが発生した
こと、即ち、被験回路のｉ番目のチャンネルが論理１で
はなく、論理Ｏであることを示す。同様に、０Ｐ−２な
らば、被験回路は出力Ｏではなく出力１を与えたことが
判明する。尚、ＳＥＩ及びＳ。ムの和の２乗を形成して
も同様の情報が得られる。この場合、出力は値Ｏ１１及
び４を取る。

音響／光学　（八〇）セルはこのへ〇セルの動作パラメ
ータを決定する中心周波数ｆｃ及び帯域幅（ａｔＶ）を
持つ。３２個の出力チャンネルを有する被験デバイスの
場合、出力Ｓ。Ｉｆｔ）、ｉ−１゜２・・・・３２のそ
れぞれはＲＦ搬送波の振幅を変調してへ〇セルを周波数
ｆｃで駆動する。その結果、へ〇セルの３２のチャンネ
ルを駆動する３２の並列信月の組合わせが得られる。

ｉ番目のへ〇セル・チャンネルから来る回折光の振幅は
次のように表わすことができる。

Ａ、　（ｔ、ｙ）−５ｏｔ　（ｔ−ｙ／ｖ）ｅｘｐ［＋
２πｆｃ（ｔ−ｙ／ｖ）］　　　　（＋１ただし、ｙは
音の伝播方向にセルのトランスジューサから測定したへ
〇セルの位置、Ｖは＾０クリスタル中の音の速度である
。出力平面または検知器列に形成される像は３２カラム
を有し、ｉ番目のカラムの振幅は時間及び空間に応して
異なり、式（１）で与えられる。

予測出力ベクトルの補数Ｓ（、（ｉ−１，２，・・・・
３２）はこの実施例の場合、第７図に示す変形例の３２
チヤンネル磁気／光学デバイスに供給される。磁気／光
学（ＭＯ）デバイスの１番目のチャンネルからの光は下
記式で表わされる。

Ａ＋（ｙ）・５口（ｙ）　　　　　　　　　　　　　（
２）即ち、検知器列の出力平面に３２カラムのもうひと
つ他の像が結像される。

検知器列において、ＡＯセル像の１番目のカラムがＭＯ
デバイス像の１番目のカラムと一致するように光信号が
オーバラップする。

出力像ｉ番目カラムの合計強さは １＋（ｊ、ＸＩ、　ｙ）−ｌ　　＾ｌ（ｔ、ｙ）　÷Ａ
＋（ｙ）ｅｘｐ［−Ｊ２ｙｒｒｘ＋］　　　’−ｌ　　
５ｏｔ（ｔ−ｙ／ｖ）　　ｌ　　２＋　ｌ　　ｓｇ＋（
ｙ）　　ｌ　　’＋２ＳＯＩ　（ｔ−ｙ／ｖ）　Ｓｉｒ
　（ｙ）　ｅｘｐ　［−＋２　ｔｔ　ｒｘｌｌただし、
ＸＩは１番目カラム中心の×方向位置を表わし、Ｘは第
２図に示すＸ軸と同方向の軸である。位相係数ｅｘｐ［
−＋２π「ｘ１］は信号と基準ビームとの角度の隔たり
θから得られ、ｒ−ｓｉｎθ／λ、λはレーザ波長であ
る。

３２セル八〇−ＭＯデバイス・チャンネルの間隔が一定
であり、位相係数の引数ｒ＋＋１が整数列を形成する場
合、式（３）を次のように書き替えることができる。

１＋（ｔ−ｙ）−ｌ　　Ｓｏｔ　（ｔ−ｙ／ｖ）ｌ　　
”　　ｌ　　ＳＥＩ（ｙ）ｌ　　’＋２ＫＳｏ＋（ｔ−
ｙ／ｖ）ＳＥＩ　（ｙ）　　　　　　　　　　　　（４
）ただし、Ｋはその範囲が０くＫく１の定数である。式
（４）では各像カラムの幅が空間搬送波（式（３）の第
３項）の波長よりも小さいことを前提としている。この
条件は＾０セル／ＭＯデバイス・チャンネルを狭く、傾
斜を小さく設定するなどの方法で実現できる。重要なこ
とは３２の最終像カラムのそれぞれについて位相重みが
等しくなるように構成することであり、このように構成
すれば、必要な検知器エレクトロニクスが著しく簡単に
なる。

レーザのパルス幅ＴＬ及びパルス周期は下記式のように
設定する。

ＴＬ＜　ＮＴｂ−ＴＡ’　　　　　　　　　　　（５）
ただし、Ｔｂはデータ・ビット周期、ＴＡは＾０セルの
タイムギャップ、　Ｎ−ＴＡ／Ｔｂは＾０セルの３２カ
ラムのそれぞれにおけるビット数または出力状態である
。ＮはＭＯデバイスの３２チヤンネルそれぞれに存在す
る所期の出力ベクトル数である。レーザ・パルス幅ＴＬ
はＴＬ＜Ｔｂとなるように維持されるから、レーザ・パ
ルスが［オン」である間、＾０セル中に存在するデータ
の目立ったＢ動は起こらない。即ち、レーザ・パルスが
発生することにデータが「凍結される」。

単一レーザ・ショットの場合、データはパルスがオンで
ある間は凍結されるから、ｉ番目のカラムの１番目の検
知画素に書き込まれる情報は下記式で表わすことができ
る。

Ｉ＋（ｙｄ−ｌ　　５ｏｔ（ｙｊ）　　　ｌ　　”ｌ　
　ＳＥＩ（Ｖｊ）　　　ｌ　　”＋２にＳｏｒ　（Ｙｊ
）　ＳＥＩ　（ＶＪ）ｍｒｌ　Ｊ−３’ＯＩＪ＋Ｓ”Ｅ
ＩＪ”２ＫＳＯＩＪＳＥＩＪ　　　　　（Ｉｉ）ただし
、ＹＪ、Ｊ　−１，２，・・・・、Ｎ　は１番目の検知
画素の空間位置を表わす。式（６）ではＴＬをＴｂ以下
であると仮定しており、式（４）の時間依存性を除去で
きた理由もそこにある。２乗項を省くことで式（６）を
さらに簡単にすることができる。５Ｏ１ｊも５ＥＩＪも
値０または１を取ることができるから、このような省略
は可能である。この場合、式（６）は次のように書ぎ替
えることができる。

１１ｊ“Ｓｏ＋ｊ”Ｓｔ＋、１＋２ＫＳｏｔ」ＳＥ＋Ｊ
（７）式（７）は１番目出力チャンネルのｊ番目の状態
に起こったエラーに関する完全な情報を含んでいる。こ
のことはＫ・０の場合を考察することによって理解する
ことができる。この場合、 Ｉｌｊ“ＳＯ目＋５ＥＩＪ　　　　　　　　　（８）式
（８）から明らかなように、ＩＩＪはステップ２で述べ
た所要の試験出力ＯＰと正確に一致する。に・ｌという
極端な場合、出力は下記の形を取る。

１１Ｊ−５ＯＩＪ÷５Ｅｌｊ◆２ＳＯＩＪＳＥＩＪ　　
　　　　（９）これは出力ＯＰの２乗を形成するのと等
価である。Ｋがその他の値０＜Ｋ＜１を取る場合には、
ＯＰが取り得る３通りの値はＯｌｌ及び２◆２にである
。

以上に述べた装置によるとＧａＡ、チップを含む超高速
デジタル論理回路を簡便かつ経済的に試験できる。また
、エラーが検知された場合、その場所及び状態を指示し
、しかも正規のクロック周波数で高速デバイスを操作し
ながらこの試験情報を得ることがで鎗る。実際の試験で
約３００ＭＨｚまでのクロック周波数で甲チャンネル音
響／光学データの記録を行った。この限界はクロック周
波数は公知の電子駆動回路によって設定された。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示すブロックダイヤグラ
ム。 第２図は第１図に示した実施例の斜視 図。 第３図は第１及び第２図に示した実施例の動作に関する
タイミングダイヤグラム。 第４図は第５図に示す実施例の動作説明のための波形図
。 第５図は本発明の第２実施例を示すプロプタダイヤグラ
ム。 第６図は第５図に示した実施例の斜視 図。 第７図は第６図に示した実施例に対する変形例を示す斜
視図。 第８図は第６図に示した実施例の動作に関するタイミン
グダイヤグラム。 第９図は第７図に示した実施例の動作に関するタイミン
グダイヤグラムである。 １０・・・・被験回路 １６・・・・入力ベクトル発生器 １８・・・・空間光変調器ドライバ ２０・・・・空間光変調器 ２２・・・・パルス光源 ２４・・・・システム・シンクロナイザ３０・・・・検
出器列 ３２・・・・比較回路

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被験回路を少なくとも１組の入力ベクトルで駆動す
   る手段及びパルス光信号発生手段を含む高速論理回路の
   試験装置において、パルス光信号を受信する第１空間光
   変調器と、被験回路からの出力信号を構成する経時的な
   ２進値を第１空間光変調器に所定個数だけロードする手
   段と、変調器にロードされた２進値によって変調された
   光信号の空間的な光の強さを検知する手段と、検知され
   た光信号の強さを分析する手段と、駆動、パルス光信号
   発生、検知及び分析手段の動作を同期させ て、入力ベクトルで駆動した結果生じた出力信号の２進
   値が所定個数だけ空間光変調器にロードされたのち、光
   信号パルスをオンさせる同期手段を含むことを特徴とす
   る高速論理回路の試験装置。 ２、検知された光信号の強さを分析する手段が、検知さ
   れた光の等価２進値を予期される論理状態の記憶２進値
   と比較し、記憶値と等しくない信号強さの存在を識別す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装 置。 ３、複数組の入力ベクトルを順次入力して被験回路を駆
   動し、被験回路の全般的な状態を判断する複数組の出力
   信号を得ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
   載の装 置。 ４、第１空間光変調器を通して検知手段にパルス光を入
   射させる手段と、変調光から不要の変調側波帯をフィル
   タする手段を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載の装置。 ５、第１空間光変調器が音響／光学セルであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ６、検知手段が少なくとも第１空間光変調器にロードさ
   れる所定個数の２進値と同数の画素域を有する光電変換
   器であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   の装置。 ７、第２空間変調器と、被験回路からの予期される出力
   信号と補数関係にある基準信号を第２空間光変調器にロ
   ードする第２手段と、第２空間光変調器上にパルス光信
   号を発生する第２手段と、第２空間光変調器からの変調
   光を検知手段に入射させる手段を含むことを特徴とする
   特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ８、パルス光信号を発生する第１及び第２手段が共通の
   レーザ光信号を利用することを特徴とする特許請求の範
   囲第７項に記載の装 置。 ９、検知手段からの検知された空間光強さを表わす出力
   信号が被験回路からの出力信号及び予期される出力信号
   の補数の和に等しいことを特徴とする特許請求の範囲第
   ７項に記載の装置。 １０、第２空間光変調器が音響／光学セルであることを
   特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の装置。 １１、第１空間光変調器が磁気／光学セルであることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。 １２、基準信号を被験回路の標準規格から得ることを特
   徴とする特許請求の範囲第７項に記載の装置。