JPS6214501A - 同軸給電線 - Google Patents
同軸給電線Info
- Publication number
- JPS6214501A JPS6214501A JP15341285A JP15341285A JPS6214501A JP S6214501 A JPS6214501 A JP S6214501A JP 15341285 A JP15341285 A JP 15341285A JP 15341285 A JP15341285 A JP 15341285A JP S6214501 A JPS6214501 A JP S6214501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- conductors
- bellows
- loop antenna
- coaxial feeder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Aerials (AREA)
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
- Communication Cables (AREA)
- Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
- Waveguides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、例えばプラズマの高周波加熱などに使用され
るループアンテナに高周波大電力を供給するための同軸
給電線に関する。
るループアンテナに高周波大電力を供給するための同軸
給電線に関する。
ＩＡえば、プラズマをイオンサイクロトロン共鳴により
加熱する高周波加熱装置に使用するループアンテナは、
一般にインピーダンスの抵抗成分が小さく、リアクタン
ス成分が大きいため、ループアンテナとこれに高周波電
力を給電する同軸給電線との接続部で大きな反射が生じ
、定在波比の極めて大きい電圧定在波及び電流定在波が
同軸給電線上に発生する。この大きな電流定在波による
同軸給電線上での高周波電力損失は大きく、同軸給電線
は発熱（２００℃〜３００℃程度まで温度上昇）により
特に軸方向に顕著な熱伸びを生じる。
加熱する高周波加熱装置に使用するループアンテナは、
一般にインピーダンスの抵抗成分が小さく、リアクタン
ス成分が大きいため、ループアンテナとこれに高周波電
力を給電する同軸給電線との接続部で大きな反射が生じ
、定在波比の極めて大きい電圧定在波及び電流定在波が
同軸給電線上に発生する。この大きな電流定在波による
同軸給電線上での高周波電力損失は大きく、同軸給電線
は発熱（２００℃〜３００℃程度まで温度上昇）により
特に軸方向に顕著な熱伸びを生じる。
ところで、同軸給電線は通常二重管により構成されるが
、内側と外側の管の表面積は管の径に比例するため管を
流れる電流密度はこれに反比例することになり、内外の
管に生ずる発熱による熱伸びに差異を生じる。その結果
、内外の管の間に設けられた真空シール用のアルミナ等
のセラミックで製される導入端子に機械的負荷がかかり
これが破損してしまうことがあり、真空シール性能等の
面で好ましくないという問題がある。
、内側と外側の管の表面積は管の径に比例するため管を
流れる電流密度はこれに反比例することになり、内外の
管に生ずる発熱による熱伸びに差異を生じる。その結果
、内外の管の間に設けられた真空シール用のアルミナ等
のセラミックで製される導入端子に機械的負荷がかかり
これが破損してしまうことがあり、真空シール性能等の
面で好ましくないという問題がある。
本発明は上記に鑑みなされたもので、ループアンテナに
接続される同軸給電線において、内外の導体の熱伸びに
よる導入端子への悪影響を無くすことを目的とする。
接続される同軸給電線において、内外の導体の熱伸びに
よる導入端子への悪影響を無くすことを目的とする。
上記目的を達成するため、第１の発明は同軸給電線を二
重管で構成しその内、外部導体の肉厚をその径に応じた
厚みとしたものである。
重管で構成しその内、外部導体の肉厚をその径に応じた
厚みとしたものである。
また、第２の発明は同軸給電線の内、外部導体の少なく
とも一方にベローズを設けたものである。
とも一方にベローズを設けたものである。
以下、図面に示す実施例により本発明を説明する。
第１図は第１の発明に係る同軸給電線の一実施例の構造
を示す断面図である。
を示す断面図である。
同図において、ループアンテナ１はプラズマの高周波加
熱に用いられる最も標準的な構成例であり、高周波電流
が流れる中心導体１ａと、これと平行に設けられ先端で
中心導体１ａと短絡された高周波電流の帰路となるリタ
ーン導体１ｂとから構成されている。中心導体１ａの前
面には不要高周波電磁場を遮へいするスリット状のファ
ラデーシールド２が買かれている。
熱に用いられる最も標準的な構成例であり、高周波電流
が流れる中心導体１ａと、これと平行に設けられ先端で
中心導体１ａと短絡された高周波電流の帰路となるリタ
ーン導体１ｂとから構成されている。中心導体１ａの前
面には不要高周波電磁場を遮へいするスリット状のファ
ラデーシールド２が買かれている。
同軸給電線３は、二重管を構成する外部導体３ａ及び内
部導体３ｂと、この内、外画１（Ａ３ａ。
部導体３ｂと、この内、外画１（Ａ３ａ。
３ｂの間に所定間隔で設けられた真空シール用及び内部
導体３ｂのサポート用の導入端子４とから構成され、内
部導体３ａはループアンテナ１の中心導体１ａに、外部
導体３ｂはリターン導体１ｂにそれぞれ接続されている
。内、外部導体３ａ。
導体３ｂのサポート用の導入端子４とから構成され、内
部導体３ａはループアンテナ１の中心導体１ａに、外部
導体３ｂはリターン導体１ｂにそれぞれ接続されている
。内、外部導体３ａ。
３ｂには銅等の良導体の管や外面又は内面に良導体を塗
布したステンレス管などが用いられる。導入端子４には
電気絶縁性及び耐熱性の良いアルミナ等のセラミックが
用いられる。
布したステンレス管などが用いられる。導入端子４には
電気絶縁性及び耐熱性の良いアルミナ等のセラミックが
用いられる。
内、外部導体３ａ、３ｂの肉厚はその径に反比例した厚
みとなっている。即ち、 外部導体３ｂの肉厚 内部導体３ａの径となってい
る。従って、内、外部導体３ａ、３ｂの管断面積は等し
くなっている。
みとなっている。即ち、 外部導体３ｂの肉厚 内部導体３ａの径となってい
る。従って、内、外部導体３ａ、３ｂの管断面積は等し
くなっている。
このように構成された同軸給電線３においては、内、外
部導体３ａ、３ｂの断面積が等しいことから、内導体３
ａ、３ｂに流れる電流密度は等しく、よって内導体３ａ
、３ｂの単位体積当りの発熱量は等しい。従って、内導
体３ａ、３ｂの温度上昇は等しく熱伸びも等しくなるの
で、導入端子４に大きな機械的負荷がかかることはなく
、せいぜい内導体３ａ、３ｂの径方向の熱膨張による微
少な歪みが生じるだけである。その結果、比較的脆いセ
ラミック製の導入端子４の破損を防ぐことができ、真空
シール性能の信頼性を高めることができる。
部導体３ａ、３ｂの断面積が等しいことから、内導体３
ａ、３ｂに流れる電流密度は等しく、よって内導体３ａ
、３ｂの単位体積当りの発熱量は等しい。従って、内導
体３ａ、３ｂの温度上昇は等しく熱伸びも等しくなるの
で、導入端子４に大きな機械的負荷がかかることはなく
、せいぜい内導体３ａ、３ｂの径方向の熱膨張による微
少な歪みが生じるだけである。その結果、比較的脆いセ
ラミック製の導入端子４の破損を防ぐことができ、真空
シール性能の信頼性を高めることができる。
尚、通常内部導体３ａの内側や外部導体３ｂの外側に冷
却ガスを通して冷却を行なっているが、この冷却の効果
は内、外部導体３ａ、３ｂの表面積に比例、つまり径に
比例すると考えられる。従って、発熱岳だけでなくこの
ような冷却効果も加味して内導体３ａ、３ｂの温度上昇
が等しくなるように内導体３ａ、３ｂの肉厚を決定すれ
ばより効果的である。
却ガスを通して冷却を行なっているが、この冷却の効果
は内、外部導体３ａ、３ｂの表面積に比例、つまり径に
比例すると考えられる。従って、発熱岳だけでなくこの
ような冷却効果も加味して内導体３ａ、３ｂの温度上昇
が等しくなるように内導体３ａ、３ｂの肉厚を決定すれ
ばより効果的である。
第２図は第２の発明に係る同軸給電線の一実施例の構造
を示す断面図で、第１図と同一物には同一符号を付しで
ある。
を示す断面図で、第１図と同一物には同一符号を付しで
ある。
第２図において、ループアンテナ１及び）７ラデーシー
ルドは第１図のそれと同一である。
ルドは第１図のそれと同一である。
同軸給Ｔｉ線５は二重管を構成する内部導体５ａ及び外
部導体５ｂと、この内、外部導体５ａ、５ｂの間に所定
間隔で設けられた第１図と同一構成の導入端子４とから
構成されている。内、外部導体５ａ、５ｂの材質は第１
図の内導体３ａ、３ｂと同一である。更に本実施例では
、外部導体５ｂには・その熱伸びを吸収させるためのベ
ローズ６が所定間隔で設けられている。このベローズ６
は通常外部導体５ｂの他の部分と同材質であって、導入
端子４の破壊強さより低い力で伸縮するようになってい
る。ベローズ６の設けられる位置は導入端子４の設けら
れた位置の中間位置や導入端子４とループアンテナ１と
の中間位置などである。但し、これらの位置全てにベロ
ーズ６を設ける必要は必ずしもなく、例えば導入陽子４
とループアンテナ１との間隔が短かくこの区間における
外部導体５ｂの熱伸びが問題にならない場合ならばこの
区間はベローズ６を設けなくてもよい。
部導体５ｂと、この内、外部導体５ａ、５ｂの間に所定
間隔で設けられた第１図と同一構成の導入端子４とから
構成されている。内、外部導体５ａ、５ｂの材質は第１
図の内導体３ａ、３ｂと同一である。更に本実施例では
、外部導体５ｂには・その熱伸びを吸収させるためのベ
ローズ６が所定間隔で設けられている。このベローズ６
は通常外部導体５ｂの他の部分と同材質であって、導入
端子４の破壊強さより低い力で伸縮するようになってい
る。ベローズ６の設けられる位置は導入端子４の設けら
れた位置の中間位置や導入端子４とループアンテナ１と
の中間位置などである。但し、これらの位置全てにベロ
ーズ６を設ける必要は必ずしもなく、例えば導入陽子４
とループアンテナ１との間隔が短かくこの区間における
外部導体５ｂの熱伸びが問題にならない場合ならばこの
区間はベローズ６を設けなくてもよい。
このような構成とすることにより、内、外部導体５ａ、
５ｂの熱伸びの差異はベローズ６に吸収されるため、導
入端子４に大きな機械的負荷がかかることがなくなり導
入端子４の破損は防止され真空シール性能の信頼性が向
上する。
５ｂの熱伸びの差異はベローズ６に吸収されるため、導
入端子４に大きな機械的負荷がかかることがなくなり導
入端子４の破損は防止され真空シール性能の信頼性が向
上する。
尚、ベローズは外部導体５ｂでなく内部導体５ａに設け
ても、また、内、外部導体５ａ、５ｂに設けても同様の
効果が得られる。
ても、また、内、外部導体５ａ、５ｂに設けても同様の
効果が得られる。
内部導体５ａは通常中空部に冷却ガスを通すために管状
に形成されるが、このような強制冷却を行なわずかつ内
部導体５ａにベローズを設けない場合には、管状とする
必要はなく棒状としてもよい。
に形成されるが、このような強制冷却を行なわずかつ内
部導体５ａにベローズを設けない場合には、管状とする
必要はなく棒状としてもよい。
以上説明したように、第１の発明によれば同軸給電線の
内、外部導体を管状に形成しその肉厚をその径に応じた
厚みとすることにより前記両導体の温度上昇を等しくし
て両者の熱伸びの差異を無くずようにしており、また、
第２の発明によれば前記両導体の少なくとも一方にベロ
ーズを設けて両名の熱伸びの差異を吸収するようにして
いるため、前記内、外部導体の熱伸びにより両者の間に
設けられた導入端子が破損することが無くなり、同軸給
電線の信頼性を高めることができるという効果が得られ
る。
内、外部導体を管状に形成しその肉厚をその径に応じた
厚みとすることにより前記両導体の温度上昇を等しくし
て両者の熱伸びの差異を無くずようにしており、また、
第２の発明によれば前記両導体の少なくとも一方にベロ
ーズを設けて両名の熱伸びの差異を吸収するようにして
いるため、前記内、外部導体の熱伸びにより両者の間に
設けられた導入端子が破損することが無くなり、同軸給
電線の信頼性を高めることができるという効果が得られ
る。
第１図は第１の発明に係る同軸給電線の一実施例の構造
を示す断面図、第２図は第２の発明に係る同軸給電線の
一実施例の構造を示す断面図である。 １・・・ループアンテナ、３，５・・・同軸給電線、３
ａ、５ａ・・・内部導体、３ｂ、５ｂ・・・外部導体、
７１′ ４・・・導入端子、６・・・ベローズ。 ら ｌ 区）
を示す断面図、第２図は第２の発明に係る同軸給電線の
一実施例の構造を示す断面図である。 １・・・ループアンテナ、３，５・・・同軸給電線、３
ａ、５ａ・・・内部導体、３ｂ、５ｂ・・・外部導体、
７１′ ４・・・導入端子、６・・・ベローズ。 ら ｌ 区）
Claims (2)
- １．高周波を発射するループアンテナに接続される同軸
給電線において、内部導体及び外部導体を管状に形成し
その肉厚をその径に応じた厚みとしたことを特徴とする
同軸給電線。 - ２．高周波を発射するループアンテナに接続される同軸
給電線において、内部導体及び外部導体の少なくとも一
方にベローズを設けたことを特徴とする同軸給電線。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15341285A JPS6214501A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 同軸給電線 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15341285A JPS6214501A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 同軸給電線 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214501A true JPS6214501A (ja) | 1987-01-23 |
Family
ID=15561925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15341285A Pending JPS6214501A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 同軸給電線 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6214501A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5860509A (en) * | 1993-07-06 | 1999-01-19 | Iwb Industrietechnik Gmbh | Conveyor belt system |
| WO2008153053A1 (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置、給電装置およびプラズマ処理装置の使用方法 |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP15341285A patent/JPS6214501A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5860509A (en) * | 1993-07-06 | 1999-01-19 | Iwb Industrietechnik Gmbh | Conveyor belt system |
| WO2008153053A1 (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置、給電装置およびプラズマ処理装置の使用方法 |
| JPWO2008153053A1 (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、給電装置およびプラズマ処理装置の使用方法 |
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