JPS62153221U - - Google Patents

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JPS62153221U
JPS62153221U JP3834986U JP3834986U JPS62153221U JP S62153221 U JPS62153221 U JP S62153221U JP 3834986 U JP3834986 U JP 3834986U JP 3834986 U JP3834986 U JP 3834986U JP S62153221 U JPS62153221 U JP S62153221U
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JP
Japan
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shaft
rotation
fixed
center
rotary
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JP3834986U
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Publication date
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  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本考案の第1の実施例を示
す斜視図及び断面図。第3図は本考案の第2の実
施例を示す斜視図。第4図は従来装置の斜視図。 1,2……回転テーブル、3a,3b……マガ
ジン、4……切り替え器、5……モータ、6,7
,12,13……プーリー、8……インデツクス
機構、9a,9b……伝動ベルト、10……位置
確認検出器、11a,11b……スリツト板、1
4……クラツチ、15……シヤフト、16……中
空洞シヤフト、17,18……ギア、19……駆
動部、20……ベアリング、21,22……段差

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 第1の回転テーブルと、 (2) 前記第1の回転テーブルの回転中心に一端
    が固定されたシヤフトと、 (3) 前記シヤフトを通すための開口部を回転中
    心に有し、前記第1の回転テーブルと離間した位
    置に配置された第2の回転テーブルと、 (4) 前記第2の回転テーブルの回転中心に一端
    が接続され、前記シヤフトが貫通する中空部を有
    する中空洞シヤフトと、 (5) 前記シヤフトの他端に固定され、第1の伝
    動ベルトを介して連動する第1のプーリーと、 (6) 前記中空洞シヤフトの他端に固定され、第
    2の伝動ベルトを介して連動する第2のプーリー
    と、 (7) 選択的に前記第1、及び第2の伝動ベルト
    に動力を継なぐ機構を有する切替器と、 (8) 前記切替器に接続され、間欠運動をするイ
    ンデツクス機構と、 (9) 前記インデツクス機構を駆動するモータを
    有することを特徴とする回転バツフア装置。
JP3834986U 1986-03-18 1986-03-18 Pending JPS62153221U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3834986U JPS62153221U (ja) 1986-03-18 1986-03-18

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3834986U JPS62153221U (ja) 1986-03-18 1986-03-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62153221U true JPS62153221U (ja) 1987-09-29

Family

ID=30850508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3834986U Pending JPS62153221U (ja) 1986-03-18 1986-03-18

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62153221U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05174776A (ja) * 1991-12-20 1993-07-13 Hitachi Ltd 半導体処理装置のロードロック室

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05174776A (ja) * 1991-12-20 1993-07-13 Hitachi Ltd 半導体処理装置のロードロック室

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