JPS62153221U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62153221U JPS62153221U JP3834986U JP3834986U JPS62153221U JP S62153221 U JPS62153221 U JP S62153221U JP 3834986 U JP3834986 U JP 3834986U JP 3834986 U JP3834986 U JP 3834986U JP S62153221 U JPS62153221 U JP S62153221U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- rotation
- fixed
- center
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
第1図及び第2図は本考案の第1の実施例を示
す斜視図及び断面図。第3図は本考案の第2の実
施例を示す斜視図。第4図は従来装置の斜視図。 1,2……回転テーブル、3a,3b……マガ
ジン、4……切り替え器、5……モータ、6,7
,12,13……プーリー、8……インデツクス
機構、9a,9b……伝動ベルト、10……位置
確認検出器、11a,11b……スリツト板、1
4……クラツチ、15……シヤフト、16……中
空洞シヤフト、17,18……ギア、19……駆
動部、20……ベアリング、21,22……段差
。
す斜視図及び断面図。第3図は本考案の第2の実
施例を示す斜視図。第4図は従来装置の斜視図。 1,2……回転テーブル、3a,3b……マガ
ジン、4……切り替え器、5……モータ、6,7
,12,13……プーリー、8……インデツクス
機構、9a,9b……伝動ベルト、10……位置
確認検出器、11a,11b……スリツト板、1
4……クラツチ、15……シヤフト、16……中
空洞シヤフト、17,18……ギア、19……駆
動部、20……ベアリング、21,22……段差
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 第1の回転テーブルと、 (2) 前記第1の回転テーブルの回転中心に一端
が固定されたシヤフトと、 (3) 前記シヤフトを通すための開口部を回転中
心に有し、前記第1の回転テーブルと離間した位
置に配置された第2の回転テーブルと、 (4) 前記第2の回転テーブルの回転中心に一端
が接続され、前記シヤフトが貫通する中空部を有
する中空洞シヤフトと、 (5) 前記シヤフトの他端に固定され、第1の伝
動ベルトを介して連動する第1のプーリーと、 (6) 前記中空洞シヤフトの他端に固定され、第
2の伝動ベルトを介して連動する第2のプーリー
と、 (7) 選択的に前記第1、及び第2の伝動ベルト
に動力を継なぐ機構を有する切替器と、 (8) 前記切替器に接続され、間欠運動をするイ
ンデツクス機構と、 (9) 前記インデツクス機構を駆動するモータを
有することを特徴とする回転バツフア装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3834986U JPS62153221U (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3834986U JPS62153221U (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153221U true JPS62153221U (ja) | 1987-09-29 |
Family
ID=30850508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3834986U Pending JPS62153221U (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62153221U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05174776A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-13 | Hitachi Ltd | 半導体処理装置のロードロック室 |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP3834986U patent/JPS62153221U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05174776A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-13 | Hitachi Ltd | 半導体処理装置のロードロック室 |