JPS62155531A - 半導体ウエハの移替え装置 - Google Patents
半導体ウエハの移替え装置Info
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- JPS62155531A JPS62155531A JP29623685A JP29623685A JPS62155531A JP S62155531 A JPS62155531 A JP S62155531A JP 29623685 A JP29623685 A JP 29623685A JP 29623685 A JP29623685 A JP 29623685A JP S62155531 A JPS62155531 A JP S62155531A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体ウェハの製造工程において拡散炉内
で使用される熱処理用ボートへ、カセットに収納された
半導体ウェハを移し替える装置に関するものである。
で使用される熱処理用ボートへ、カセットに収納された
半導体ウェハを移し替える装置に関するものである。
カセット内の半導体ウェハをガイドレールを介して１０
枚ずつボートへ移し替える方法として、例えば特開昭５
８−１８２８４６号公報がある。以下、この従来例につ
いて説明する。
枚ずつボートへ移し替える方法として、例えば特開昭５
８−１８２８４６号公報がある。以下、この従来例につ
いて説明する。
第６図および第７図は従来の半導体ウェハの移替え装置
を示す一部を断面にした正面図およびウェハ駆動部の断
面図である。これらの図において、１は半導体ウェハ（
以下単にウェハという）、２は前記ウェハ１を多数収納
するカセット、３はボート、４は前記カセット２とボー
ト３の間でウェハ１が転勤できるように配設されたガイ
ドレールで、上部ガイド４ａおよび下部ガイド４ｂの分
割構造となっている。５は前記カセット２の底部からウ
ェハ１をガイドレール４に押し出す揺動アーム、６は前
記揺動アーム５の駆動装置、７は前記揺動アーム５の先
端に取り付けられたＶ溝ローラ、８は前記ウェハ１がガ
イドレール４の山形頂部を超えた部分でウェハ１を支持
するためのスライダで、先端部に揺動アーム５の先端に
取り付けられたのと同様のＶ溝ローラ７が取り付けられ
ている。そして、これら揺動アーム５およびスライダ８
は、第７図に示すようにＶ溝ローラ７の側面に突出した
状態で取り付けられている。９は前記スライダ８の駆動
装置、１０は前記Ｖ溝ローラ７の内部に組み込まれた玉
軸受、１１は前記Ｖ溝ローラ７と揺動アーム５またはス
ライダ８を取り付ける軸、１２は前記軸１１に玉軸受１
０を止める軸用止輪である。
を示す一部を断面にした正面図およびウェハ駆動部の断
面図である。これらの図において、１は半導体ウェハ（
以下単にウェハという）、２は前記ウェハ１を多数収納
するカセット、３はボート、４は前記カセット２とボー
ト３の間でウェハ１が転勤できるように配設されたガイ
ドレールで、上部ガイド４ａおよび下部ガイド４ｂの分
割構造となっている。５は前記カセット２の底部からウ
ェハ１をガイドレール４に押し出す揺動アーム、６は前
記揺動アーム５の駆動装置、７は前記揺動アーム５の先
端に取り付けられたＶ溝ローラ、８は前記ウェハ１がガ
イドレール４の山形頂部を超えた部分でウェハ１を支持
するためのスライダで、先端部に揺動アーム５の先端に
取り付けられたのと同様のＶ溝ローラ７が取り付けられ
ている。そして、これら揺動アーム５およびスライダ８
は、第７図に示すようにＶ溝ローラ７の側面に突出した
状態で取り付けられている。９は前記スライダ８の駆動
装置、１０は前記Ｖ溝ローラ７の内部に組み込まれた玉
軸受、１１は前記Ｖ溝ローラ７と揺動アーム５またはス
ライダ８を取り付ける軸、１２は前記軸１１に玉軸受１
０を止める軸用止輪である。
次に動作について説明する。
カセット２内のウェハ１をボート３へ移し替える場合、
揺動アーム５内でカセット２の底部からウェハ１をガイ
ドレール４に押し出す。一方、ウェハ１がガイドレール
４の山形頂部を超えるタイミングに合わせてスライダ８
が迎えに行き、スライダ８の先端部のＶ溝ローラ７でウ
ェハ１を支持しながらボート３上に軟着陸するようにし
ている。
揺動アーム５内でカセット２の底部からウェハ１をガイ
ドレール４に押し出す。一方、ウェハ１がガイドレール
４の山形頂部を超えるタイミングに合わせてスライダ８
が迎えに行き、スライダ８の先端部のＶ溝ローラ７でウ
ェハ１を支持しながらボート３上に軟着陸するようにし
ている。
逆に、ボート３からカセット２ヘウエハ１を移し替える
場合、スライダ８でボート３からガイドレール４ヘウエ
ハ１を押し出し、ガイドレール４の山形頂部を超えると
ウェハ１はガイドレール４を転勤し、カセット２内に収
納される。
場合、スライダ８でボート３からガイドレール４ヘウエ
ハ１を押し出し、ガイドレール４の山形頂部を超えると
ウェハ１はガイドレール４を転勤し、カセット２内に収
納される。
従来の半導体ウェハの移替え装置は以上のように構成さ
れているので、カセット２およびボート３上のウェハ１
を移し替えるとき、■溝ローラ７と揺動アーム５あるい
はスライダ８の取り付けが、Ｖ溝ローラ７の側面に突出
した状態で取り付けられているので、当該ウェハ１と揺
動アーム５またはスライダ８とが干渉してしまうため、
ウェハ１の配列の端から順番にしか移し替えられなかっ
た。したがって、ボート３上への複雑なウェハ１の配列
（例えばモニタウェハの組み込み、ウェハ１の表裏配列
）の場合、運転フローが複雑で処理時間が長くなる問題
点があった。
れているので、カセット２およびボート３上のウェハ１
を移し替えるとき、■溝ローラ７と揺動アーム５あるい
はスライダ８の取り付けが、Ｖ溝ローラ７の側面に突出
した状態で取り付けられているので、当該ウェハ１と揺
動アーム５またはスライダ８とが干渉してしまうため、
ウェハ１の配列の端から順番にしか移し替えられなかっ
た。したがって、ボート３上への複雑なウェハ１の配列
（例えばモニタウェハの組み込み、ウェハ１の表裏配列
）の場合、運転フローが複雑で処理時間が長くなる問題
点があった。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、揺動アームおよびスライダを動作させたと
き、対象となるウェハが両サイドに配置されたウェハに
揺動アームおよびスライダが干渉せず、ウェハの配列の
いずれの部分からも移し替え可能な半導体ウェハの移替
え装置を得ることを目的とする。
れたもので、揺動アームおよびスライダを動作させたと
き、対象となるウェハが両サイドに配置されたウェハに
揺動アームおよびスライダが干渉せず、ウェハの配列の
いずれの部分からも移し替え可能な半導体ウェハの移替
え装置を得ることを目的とする。
この発明に係る半導体ウェハの移替え装置は、半導体ウ
ェハの案内となるＶ溝をウェハ支持部材の先端に形成し
、このウェハ支持部材の先端部内部に回転ローラを回動
自在に組み込み、さらに前記ウェハ支持部材のＶ溝と反
対側の端部に取付用溝を設け、この取付用溝に揺動アー
ムあるいはスライダを着脱自在に取り付けたものである
。
ェハの案内となるＶ溝をウェハ支持部材の先端に形成し
、このウェハ支持部材の先端部内部に回転ローラを回動
自在に組み込み、さらに前記ウェハ支持部材のＶ溝と反
対側の端部に取付用溝を設け、この取付用溝に揺動アー
ムあるいはスライダを着脱自在に取り付けたものである
。
この発明においては１回転ローラと揺動アームあるいは
スライダが同一面内で係合されているため、対象となる
ウェハの移し替え時に揺動アームやスライダが両サイド
のウェハと干渉することがない。
スライダが同一面内で係合されているため、対象となる
ウェハの移し替え時に揺動アームやスライダが両サイド
のウェハと干渉することがない。
第１図、第２図はこの発明の一実施例を示す要部の正面
図および拡大断面図である。これらの図において、２ｏ
はウェハ支持部材で、支持片２１．２２の分割体からな
る。２３は前記支持片２１．２２を固定するビス、支持
片２１．．２２はこのビス２３で固定された状態で先端
部はそれぞれテーパ部２１ａ、２２ａでウェハ１のガイ
ドとなるＶ溝２４が形成される。２５は回転ローラ、２
６は玉軸受、２７は前記支持片２１および２２に係合す
る軸、２８は前記揺動アーム５あるいはスライダ８に取
り付けられたピン、２９は前記Ｖ溝２４と対向する位置
、すなわちＶ溝２４と反対側のウェハ支持部材２０の端
部に形成された取付用溝で、この取付用溝２９に揺動ア
ーム５あるいはスライダ８が挿し込まれ、着脱自在に取
り付けられる。３０は前記取付用溝２９の部分の支持片
２］に形成された鍵形溝で、揺動アーム５あるいはスラ
イダ８に取り付けられたビン２８と係合し、揺動アーム
５あるいはスライダ８が動作中、取付用溝２９から容易
に抜は出さないようにしている。
図および拡大断面図である。これらの図において、２ｏ
はウェハ支持部材で、支持片２１．２２の分割体からな
る。２３は前記支持片２１．２２を固定するビス、支持
片２１．．２２はこのビス２３で固定された状態で先端
部はそれぞれテーパ部２１ａ、２２ａでウェハ１のガイ
ドとなるＶ溝２４が形成される。２５は回転ローラ、２
６は玉軸受、２７は前記支持片２１および２２に係合す
る軸、２８は前記揺動アーム５あるいはスライダ８に取
り付けられたピン、２９は前記Ｖ溝２４と対向する位置
、すなわちＶ溝２４と反対側のウェハ支持部材２０の端
部に形成された取付用溝で、この取付用溝２９に揺動ア
ーム５あるいはスライダ８が挿し込まれ、着脱自在に取
り付けられる。３０は前記取付用溝２９の部分の支持片
２］に形成された鍵形溝で、揺動アーム５あるいはスラ
イダ８に取り付けられたビン２８と係合し、揺動アーム
５あるいはスライダ８が動作中、取付用溝２９から容易
に抜は出さないようにしている。
なお、支持片２１．２２および回転ローラ２５などのウ
ェハ１と接する部品は、ウェハ１の金属粉汚損防止のた
め樹脂材料、例えばフッ素樹脂等を使用している。
ェハ１と接する部品は、ウェハ１の金属粉汚損防止のた
め樹脂材料、例えばフッ素樹脂等を使用している。
なお、上記実施例では、Ｖ溝２４を形成するウェハ支持
部材２０が支持片２１．２２からなる分割構造であった
が、以下にウェハ支持部材２ｏが一体形の他の実施例を
第３図〜第５図について説明する。
部材２０が支持片２１．２２からなる分割構造であった
が、以下にウェハ支持部材２ｏが一体形の他の実施例を
第３図〜第５図について説明する。
第３図、第４図において、３１は一体形のウェハ支持部
材で切欠部３１ｂが形成され、ここに回転ローラ３２が
軸穴３１ｃにツバ付軸３５で回動自在に軸支され組み込
まれる。ウェハ支持部材３１と回転ローラ３２の一端部
には同一角度のテーパ部３１ａ、３２ａが形成され、ウ
ェハ１のガイドとなるＶ溝３３が形成される。３４は玉
軸受、３５はツバ付軸、３６はスペーサで、ツバ付軸３
５に玉軸受３４を組み込み、ウェハ支持部材３１に形成
された軸穴３１ｃと係合させたとき玉軸受３４が軸方向
に移動するのを防止するようになっている。
材で切欠部３１ｂが形成され、ここに回転ローラ３２が
軸穴３１ｃにツバ付軸３５で回動自在に軸支され組み込
まれる。ウェハ支持部材３１と回転ローラ３２の一端部
には同一角度のテーパ部３１ａ、３２ａが形成され、ウ
ェハ１のガイドとなるＶ溝３３が形成される。３４は玉
軸受、３５はツバ付軸、３６はスペーサで、ツバ付軸３
５に玉軸受３４を組み込み、ウェハ支持部材３１に形成
された軸穴３１ｃと係合させたとき玉軸受３４が軸方向
に移動するのを防止するようになっている。
また第５図に示す実施例では、メガネ穴３１ｄが形成さ
れる。このメガネ穴３１ｄは、ウェハ支持部材３１のテ
ーパ部３１ａの終端部で開口部を大きくし、ウェハ支持
部材３１内に回転ローラ３２その他の部品を組み込む際
、ウェハ支持部材３１の両端のテーパ部３１ａをバネア
クションで押し拡げ易くしている。また３１ｅはテーパ
終端部を示す。
れる。このメガネ穴３１ｄは、ウェハ支持部材３１のテ
ーパ部３１ａの終端部で開口部を大きくし、ウェハ支持
部材３１内に回転ローラ３２その他の部品を組み込む際
、ウェハ支持部材３１の両端のテーパ部３１ａをバネア
クションで押し拡げ易くしている。また３１ｅはテーパ
終端部を示す。
上記のように第３図、第４図の実施例では、■溝３３を
ウェハ支持部材３１と回転ローラ３２に形成し、ウェハ
支持部材３１をバネアクションで押し拡げられるように
することで、ウェハ支持部材３１の一体化を可能として
いる。
ウェハ支持部材３１と回転ローラ３２に形成し、ウェハ
支持部材３１をバネアクションで押し拡げられるように
することで、ウェハ支持部材３１の一体化を可能として
いる。
さらに、第５図の実施例のようにウェハ支持部材３１の
バネアクションを改良するため、軸穴３１ｃをメガネ穴
３１ｄとすることにより、バネアクションでウェハ支持
部材３１を押し拡げ内部の部品を組み込む際、あらかじ
めメガネ穴３１ｄの外周に近い方の穴に組み込み、次に
メガネ穴３１ｄ自身のバネアクションを利用してメガネ
穴３１ｄの正規穴に組み込むようにすれば、ウェハ支持
部材３１を押し拡げる際の変形量を少なくできる。
バネアクションを改良するため、軸穴３１ｃをメガネ穴
３１ｄとすることにより、バネアクションでウェハ支持
部材３１を押し拡げ内部の部品を組み込む際、あらかじ
めメガネ穴３１ｄの外周に近い方の穴に組み込み、次に
メガネ穴３１ｄ自身のバネアクションを利用してメガネ
穴３１ｄの正規穴に組み込むようにすれば、ウェハ支持
部材３１を押し拡げる際の変形量を少なくできる。
次に第１図の動作について説明する。
移替え対象のウェハ１は、ウェハ支持部材２０の一端に
形成された■溝２４でガイドされ、回転口―う２５上に
導かれ回転自在に移し替えが可能となる。一方、揺動ア
ーム５およびスライダ８はウェハ支持部材２ｏのＶ溝２
４と反対側の端部に形成された取付用溝２９と係合して
いるため、移し替え中両サイドのウェハ１と干渉するこ
となく動作できる。また定期的にウェハ１と接する部品
を洗浄する必要がある場合、ウェハ支持部材２０に設け
た鍵形溝３０の作用により揺動アーム５およびスライダ
８からの取り外しが容易であり、ウェハ支持部材２ｏの
分解もビス２３の取り外しのみで可能となる。
形成された■溝２４でガイドされ、回転口―う２５上に
導かれ回転自在に移し替えが可能となる。一方、揺動ア
ーム５およびスライダ８はウェハ支持部材２ｏのＶ溝２
４と反対側の端部に形成された取付用溝２９と係合して
いるため、移し替え中両サイドのウェハ１と干渉するこ
となく動作できる。また定期的にウェハ１と接する部品
を洗浄する必要がある場合、ウェハ支持部材２０に設け
た鍵形溝３０の作用により揺動アーム５およびスライダ
８からの取り外しが容易であり、ウェハ支持部材２ｏの
分解もビス２３の取り外しのみで可能となる。
この発明は以上説明したとおり、揺動アームまたはスラ
イダが取り付けられるウェハ支持部材の先端に半導体ウ
ェハの案内となるＶ溝を形成し、このＶ溝に案内された
半導体ウェハを転動する回転ローラをウェハ支持部材の
先端部内部に組み込み、ざらにＶ溝と反対側の他端部に
取付用溝を形成し、この取付用溝に揺動アームまたはス
ライダを着脱自在に取り付けたので、揺動アームまたは
スライダはＶ溝と同一面上に配置することができ、カセ
ットおよびボート上に配列された半導体ウェハはどの部
分からでも両側の半導体ウェハが邪魔になることなく移
し替えることが可能となり、結果として処理時間が最も
短くなる手順で半導体ウェハの移し替えができる利点が
得られる。
イダが取り付けられるウェハ支持部材の先端に半導体ウ
ェハの案内となるＶ溝を形成し、このＶ溝に案内された
半導体ウェハを転動する回転ローラをウェハ支持部材の
先端部内部に組み込み、ざらにＶ溝と反対側の他端部に
取付用溝を形成し、この取付用溝に揺動アームまたはス
ライダを着脱自在に取り付けたので、揺動アームまたは
スライダはＶ溝と同一面上に配置することができ、カセ
ットおよびボート上に配列された半導体ウェハはどの部
分からでも両側の半導体ウェハが邪魔になることなく移
し替えることが可能となり、結果として処理時間が最も
短くなる手順で半導体ウェハの移し替えができる利点が
得られる。
第１図、第２図はこの発明の一実施例を示す半導体ウェ
ハの移替え装置のウェハ駆動部の正面図および拡大断面
図、第３図、第４図はこの発明の他の実施例を示す半導
体ウニへの移替え装置のウェハ駆動部の一部断面図およ
び正面図、第５図はこの発明のさらに他の実施例を示す
半導体ウェハの移替え装置のウェハ駆動部の正面図、第
６図は従来の半導体ウェハの移替え装置の正面図、第７
図は従来の半導体ウェハの移替え装置のウェハ駆動部の
断面図である。 図において、１は半導体ウェハ、２はカセット、３はボ
ート、４はガイドレール、５は揺動アーム、８はスライ
ダ、２ｏはウェハ支持部材。 ２４はＶ溝、２５は回転ローラ、２９は揺動アームある
いはスライダが取り付けられる取付用溝である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 （他２名）第１図 第２図 第３図 第６図 第７図 手続補正書（自発） 昭和６１年１２ イ２ 日 會へ
ハの移替え装置のウェハ駆動部の正面図および拡大断面
図、第３図、第４図はこの発明の他の実施例を示す半導
体ウニへの移替え装置のウェハ駆動部の一部断面図およ
び正面図、第５図はこの発明のさらに他の実施例を示す
半導体ウェハの移替え装置のウェハ駆動部の正面図、第
６図は従来の半導体ウェハの移替え装置の正面図、第７
図は従来の半導体ウェハの移替え装置のウェハ駆動部の
断面図である。 図において、１は半導体ウェハ、２はカセット、３はボ
ート、４はガイドレール、５は揺動アーム、８はスライ
ダ、２ｏはウェハ支持部材。 ２４はＶ溝、２５は回転ローラ、２９は揺動アームある
いはスライダが取り付けられる取付用溝である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 （他２名）第１図 第２図 第３図 第６図 第７図 手続補正書（自発） 昭和６１年１２ イ２ 日 會へ
Claims (2)
- （１）カセットとボートとの間に半導体ウェハのガイド
レールを配設するとともに、前記半導体ウェハを前記カ
セットからボートへ前記ガイドレールを介して転動させ
るための揺動アームと、前記半導体ウェハが前記ガイド
レールを転動途中に支持し、前記ボート上へ案内するス
ライダとを備え、前記半導体ウェハを１枚ずつ移し替え
る装置において、前記揺動アームまたはスライダが取り
付けられるウェハ支持部材を分割体または一体成形によ
って形成し、前記ウェハ支持部材の先端に前記半導体ウ
ェハの案内となるＶ溝を形成し、このＶ溝に案内された
半導体ウェハを転動する回転ローラを前記ウェハ支持部
材の先端部内部に回動自在に軸支して組み込み、さらに
前記Ｖ溝と反対側の前記ウェハ支持部材の他端部に取付
用溝を形成し、この取付用溝に前記揺動アームまたはス
ライダを着脱自在に取り付けたことを特徴とする半導体
ウェハの移替え装置。 - （２）ウェハ支持部材の内部に組み込まれる回転ローラ
の軸と係合する軸穴をメガネ穴としたことを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載の半導体ウェハの移替え
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29623685A JPS62155531A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 半導体ウエハの移替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29623685A JPS62155531A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 半導体ウエハの移替え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62155531A true JPS62155531A (ja) | 1987-07-10 |
| JPH0334213B2 JPH0334213B2 (ja) | 1991-05-21 |
Family
ID=17830940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29623685A Granted JPS62155531A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 半導体ウエハの移替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62155531A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479425U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-10 | ||
| US6467827B1 (en) * | 1999-10-30 | 2002-10-22 | Frank J. Ardezzone | IC wafer handling apparatus incorporating edge-gripping and pressure or vacuum driven end-effectors |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29623685A patent/JPS62155531A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479425U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-10 | ||
| US6467827B1 (en) * | 1999-10-30 | 2002-10-22 | Frank J. Ardezzone | IC wafer handling apparatus incorporating edge-gripping and pressure or vacuum driven end-effectors |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0334213B2 (ja) | 1991-05-21 |
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