JPS62157151U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62157151U JPS62157151U JP4502686U JP4502686U JPS62157151U JP S62157151 U JPS62157151 U JP S62157151U JP 4502686 U JP4502686 U JP 4502686U JP 4502686 U JP4502686 U JP 4502686U JP S62157151 U JPS62157151 U JP S62157151U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pitch conversion
- memory alloy
- transfer machine
- wafer transfer
- shape memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案によるピツチ変換機能付きウエ
ーハ立替機の模式側面図である。 １……標準ピツチ・キヤリヤの位置決め機構部
、２……所要ピツチ・キヤリヤの位置決め機構部
、３……ピツチ変換機構部、３１……形状記憶合
金製ボート、３２……温度制御部、４……ウエー
ハ保持移動機構部、５……ウエーハ。
ーハ立替機の模式側面図である。 １……標準ピツチ・キヤリヤの位置決め機構部
、２……所要ピツチ・キヤリヤの位置決め機構部
、３……ピツチ変換機構部、３１……形状記憶合
金製ボート、３２……温度制御部、４……ウエー
ハ保持移動機構部、５……ウエーハ。
Claims (1)
- ピツチ変換機能を有するウエーハ立替機におい
て形状記憶合金の形状変態によりピツチ変換を行
うことを特徴とするウエーハ立替機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4502686U JPS62157151U (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4502686U JPS62157151U (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62157151U true JPS62157151U (ja) | 1987-10-06 |
Family
ID=30863388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4502686U Pending JPS62157151U (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62157151U (ja) |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP4502686U patent/JPS62157151U/ja active Pending