JPS62162255U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62162255U JPS62162255U JP5075386U JP5075386U JPS62162255U JP S62162255 U JPS62162255 U JP S62162255U JP 5075386 U JP5075386 U JP 5075386U JP 5075386 U JP5075386 U JP 5075386U JP S62162255 U JPS62162255 U JP S62162255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering
- opening
- film thickness
- shutter
- control plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す背面図、第
２図ａ，ｂは膜厚制御板の無い場合と有る場合の
膜厚分布図、第３図は膜厚制御板装着状態の正面
図、第４図は従来例を示す概略斜視図、第５図は
その一部の縦断側面図、第６図ａ〜ｃは特性図で
ある。 １１……スパツタ室、１２……シヤツタ、１２
ａ……開口部、１３，１４……ブレード板（ブレ
ード部材）、１６……調整部材。
２図ａ，ｂは膜厚制御板の無い場合と有る場合の
膜厚分布図、第３図は膜厚制御板装着状態の正面
図、第４図は従来例を示す概略斜視図、第５図は
その一部の縦断側面図、第６図ａ〜ｃは特性図で
ある。 １１……スパツタ室、１２……シヤツタ、１２
ａ……開口部、１３，１４……ブレード板（ブレ
ード部材）、１６……調整部材。
Claims (1)
- スパツタ室内に対向配置される基板とスパツタ
材料からなるターゲツトとの間に開口部を有する
シヤツターを介在させ、このシヤツターの開口部
に対して所定形状の膜厚制御板をセツトした状態
で前記基板上へのスパツタリングを行なうスパツ
タ装置において、前記シヤツターの開口部部分に
おける開口幅を変化させてこの変化によるスパツ
タレートの変化を測定し前記ターゲツトの各部位
に対向する前記膜厚制御板の各部の形状を決定す
るために開口幅の可変なブレード部材を前記シヤ
ツターに対する前記膜厚制御板のセツト位置に着
脱自在に取付け、このブレード部材の開口幅調整
を前記スパツタ室を閉じた真空状態で外部から行
なう調整部材を設けたことを特徴とするスパツタ
装置の膜厚制御板形状決定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075386U JPS62162255U (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075386U JPS62162255U (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62162255U true JPS62162255U (ja) | 1987-10-15 |
Family
ID=30874397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5075386U Pending JPS62162255U (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62162255U (ja) |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP5075386U patent/JPS62162255U/ja active Pending
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