JPS62165138A - 光電センサ−検査装置 - Google Patents
光電センサ−検査装置Info
- Publication number
- JPS62165138A JPS62165138A JP61006731A JP673186A JPS62165138A JP S62165138 A JPS62165138 A JP S62165138A JP 61006731 A JP61006731 A JP 61006731A JP 673186 A JP673186 A JP 673186A JP S62165138 A JPS62165138 A JP S62165138A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- photoelectric sensor
- measurement
- photoelectric
- area
- Prior art date
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- Granted
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光電センサーの特性を測定する光電センサー
検査装置に関するものである。
検査装置に関するものである。
従来の技術
近年、密着型イメージセンサ−と呼ばれる、光電素子を
アレイ状（直線状）あるいはマトリックス状（面状）に
なっ念光電センサーが数多く作られるようになシ、その
特性検査が重要視されるようになってきた。
アレイ状（直線状）あるいはマトリックス状（面状）に
なっ念光電センサーが数多く作られるようになシ、その
特性検査が重要視されるようになってきた。
従来の光電センサー検査装置では光電センサー全域を照
らす事のできる面積を持つ光源を使用して特性の測定を
行なっていた。
らす事のできる面積を持つ光源を使用して特性の測定を
行なっていた。
以下図面を参照しながら、従来の光電センサー検査装置
について説明する。
について説明する。
一般に光電センサーの特性を測定するためには、照度を
一定にして行なわなければならない。従来は、第２図で
示すように、光源駆動回路７によって照度が均一になる
ように調節された、光電センサーとほぼ同じ大きさの光
源８を用いて、光電セン丈−に光を照射し、プローブ４
を通して、各素子の特性を計測器９で測定していた。
一定にして行なわなければならない。従来は、第２図で
示すように、光源駆動回路７によって照度が均一になる
ように調節された、光電センサーとほぼ同じ大きさの光
源８を用いて、光電セン丈−に光を照射し、プローブ４
を通して、各素子の特性を計測器９で測定していた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、光電センサーの形
状が大きくなればなるほど大きな面積の光源が必要とな
るため、光源の全面積において明るさのばらつきをおさ
える事が技術的にむっがしい。発光ダイオードを多数な
らべてその電流値を個々に調整するなどの方法も調整が
めんどうで、製作コストが高い。光電センサーの形状に
合せて各種の形状の光源が必要となる。また、どうして
も光源の明るさのばらつきがでるため、測定精度が悪い
などの問題点を有していた。
状が大きくなればなるほど大きな面積の光源が必要とな
るため、光源の全面積において明るさのばらつきをおさ
える事が技術的にむっがしい。発光ダイオードを多数な
らべてその電流値を個々に調整するなどの方法も調整が
めんどうで、製作コストが高い。光電センサーの形状に
合せて各種の形状の光源が必要となる。また、どうして
も光源の明るさのばらつきがでるため、測定精度が悪い
などの問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、比較的簡単にばらつきを小
さくおさえる事ができ、コストも安い面積の小さい光源
を用いて光電センサーの特性を測定する、光電センサー
検査装置を提供するものである。
さくおさえる事ができ、コストも安い面積の小さい光源
を用いて光電センサーの特性を測定する、光電センサー
検査装置を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の光電センサー検査
装置は、面積の小さい光源を光電センサーと平行に移動
させる移動テーブルを備えたものである。
装置は、面積の小さい光源を光電センサーと平行に移動
させる移動テーブルを備えたものである。
作 用
本発明は上記した構成をとる事によって、明るさのばら
つきを小さく調整し易い小さい面積の光源を光電センサ
ーと平行に測定速度に合せて移動する事によシ、面積の
大きな光電センサーを同一照度の下で測定・検査できる
ようにしたものである。
つきを小さく調整し易い小さい面積の光源を光電センサ
ーと平行に測定速度に合せて移動する事によシ、面積の
大きな光電センサーを同一照度の下で測定・検査できる
ようにしたものである。
実施例
以下本発明の一実施例の光電センサー検査装置について
、図面を参照しながら説明する。
、図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の実施例における光電センサー検査装置
の構成図である。１は光源、２は光電センサーを固定す
るテーブル、３は光電センサー、４はプローブ、５は光
源を載せ光電センサーと平行方向に動く移動テーブル、
６は前記移動テーブルを制御するとともに光電センサー
の特性を測定する計測制御装置、７は光源を一定の明る
さにたもつ光源駆動回路である。
の構成図である。１は光源、２は光電センサーを固定す
るテーブル、３は光電センサー、４はプローブ、５は光
源を載せ光電センサーと平行方向に動く移動テーブル、
６は前記移動テーブルを制御するとともに光電センサー
の特性を測定する計測制御装置、７は光源を一定の明る
さにたもつ光源駆動回路である。
以上のように構成された光電センサー検査装置について
、その動作を説明する。
、その動作を説明する。
第３図に光電センサーの一例を示す。円内は、その拡大
図である。１１が光電素子であシ、本例ではアレイ状に
配列され、光電センサーを形成している。各光電素子に
は導体１２が接続しておシ、マトリックスを形成して、
グローブランド１ｏにつながっている。そして、特性の
測定は、プローブを切り換えて各光電素子を順に計測回
路と結んで行なう。
図である。１１が光電素子であシ、本例ではアレイ状に
配列され、光電センサーを形成している。各光電素子に
は導体１２が接続しておシ、マトリックスを形成して、
グローブランド１ｏにつながっている。そして、特性の
測定は、プローブを切り換えて各光電素子を順に計測回
路と結んで行なう。
光源１は、光電センサーに比して小さいが、光電素子に
比べて十分に大きな面積のものであシ、光電駆動回路７
によって一定の明るさに調節されている。テーブル２に
固定された光電センサー３は、グローブ４を介して計測
制御装置６の計測回路に接続される。はじめ、光源を載
せた移動テーブル６は、測定開始素子（たとえば左端）
上にあり、測定をしようとする素子を中心に照らす。計
測制御装置６は、プローブを切り換えながら順次、右の
素子を測定するとともに、移動テーブルを右へ移動させ
光源をつねに測定対象の光電素子の上にくるように制御
する。ただし、光源の面積は光電素子に対して十分に大
きくとっであるため、移動テーブルの動きが完全に測定
速度と一致する必要もなく、また、移動テーブルが、各
測定点で停止している必要もない。
比べて十分に大きな面積のものであシ、光電駆動回路７
によって一定の明るさに調節されている。テーブル２に
固定された光電センサー３は、グローブ４を介して計測
制御装置６の計測回路に接続される。はじめ、光源を載
せた移動テーブル６は、測定開始素子（たとえば左端）
上にあり、測定をしようとする素子を中心に照らす。計
測制御装置６は、プローブを切り換えながら順次、右の
素子を測定するとともに、移動テーブルを右へ移動させ
光源をつねに測定対象の光電素子の上にくるように制御
する。ただし、光源の面積は光電素子に対して十分に大
きくとっであるため、移動テーブルの動きが完全に測定
速度と一致する必要もなく、また、移動テーブルが、各
測定点で停止している必要もない。
このようにして順次測定を繰り返し、すべての素子の測
定を行なう。
定を行なう。
以上のように本実施例によれば、光電センサーと平行に
移動するテーブルを設けることにより、面積の小さな光
源が使用でき、照度のばらつきを小さくできるため、測
定精度の向上をはかることができる。
移動するテーブルを設けることにより、面積の小さな光
源が使用でき、照度のばらつきを小さくできるため、測
定精度の向上をはかることができる。
なお、本実施例ではアレイ状に配列された光電センサー
の特性検査について述べたが、マトリックス状になった
ものに関しては、移動テーブルとしてＸ−Ｙテーブルを
用いれば、同様の効果が得られることはいうまでもない
。
の特性検査について述べたが、マトリックス状になった
ものに関しては、移動テーブルとしてＸ−Ｙテーブルを
用いれば、同様の効果が得られることはいうまでもない
。
発明の効果
以上のように本発明は、面積の小さな光源を移動させる
テーブルを説ける事により、安いコストで、精度の高い
測定を行なう事ができる。
テーブルを説ける事により、安いコストで、精度の高い
測定を行なう事ができる。
第１図は本発明の一実施例における光電センサー検査装
置の概略構成図、第２図は従来の光電センサー検査装置
の概略図、第３図は光電センサーの−例を示した図であ
る。 １・・・・・・光源、６・・・・・・移動テーブル、６
・・・・・・計測制御装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｊ−
丸４９ブ ４−−−フ・υ−ブ ドー−掃１カテーゲル
置の概略構成図、第２図は従来の光電センサー検査装置
の概略図、第３図は光電センサーの−例を示した図であ
る。 １・・・・・・光源、６・・・・・・移動テーブル、６
・・・・・・計測制御装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｊ−
丸４９ブ ４−−−フ・υ−ブ ドー−掃１カテーゲル
Claims (1)
- 多数の光電素子を一定間隔で配列した光電センサーを固
定するテーブルと、光電センサーから信号をとり出すプ
ローブと、前記光電センサーの光電素子を照明するため
の光源と、前記光源の明るさを制御する光源駆動回路と
、前記光源を搭載し光電センサーと平行に移動する移動
テーブルと、前記移動テーブルの位置制御と光電センサ
ーの特性測定を行なう計測制御装置とを備えた光電セン
サー検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61006731A JPS62165138A (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 光電センサ−検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61006731A JPS62165138A (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 光電センサ−検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62165138A true JPS62165138A (ja) | 1987-07-21 |
| JPH048735B2 JPH048735B2 (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=11646380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61006731A Granted JPS62165138A (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 光電センサ−検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62165138A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003083807A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-19 | Chiyoda Kohan Co Ltd | 照度標準器 |
-
1986
- 1986-01-16 JP JP61006731A patent/JPS62165138A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003083807A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-19 | Chiyoda Kohan Co Ltd | 照度標準器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048735B2 (ja) | 1992-02-18 |
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