JPS62169042A - 温度特性の改善された湿度センサ− - Google Patents
温度特性の改善された湿度センサ−Info
- Publication number
- JPS62169042A JPS62169042A JP1271786A JP1271786A JPS62169042A JP S62169042 A JPS62169042 A JP S62169042A JP 1271786 A JP1271786 A JP 1271786A JP 1271786 A JP1271786 A JP 1271786A JP S62169042 A JPS62169042 A JP S62169042A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- sensor
- pair
- humidity sensor
- humidity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔従来技術〕
各種湿度センサーの中で、電気抵抗式湿度センサーは、
湿度を電気信号に変換するのが最も簡単であるという理
由により、その利用が急速に拡大している。しかし、電
気抵抗式湿度センサーは、抵抗の温度係数が大きく、湿
度センサーとして利用するためには、温度特性を補償す
る必要がある。
湿度を電気信号に変換するのが最も簡単であるという理
由により、その利用が急速に拡大している。しかし、電
気抵抗式湿度センサーは、抵抗の温度係数が大きく、湿
度センサーとして利用するためには、温度特性を補償す
る必要がある。
従来,電気抵抗式湿度センサーを使用する場合には、サ
ーミスタ等の温度センサーを付加して、湿度センサーの
温度特性補償を行なっていた,このため、部品点数が増
加し、その上、湿度センサーの温度特性とサーミスタの
温度特性が異なるたられる前記問題点の解決された湿度
センサーを提供することを目的とする。
ーミスタ等の温度センサーを付加して、湿度センサーの
温度特性補償を行なっていた,このため、部品点数が増
加し、その上、湿度センサーの温度特性とサーミスタの
温度特性が異なるたられる前記問題点の解決された湿度
センサーを提供することを目的とする。
本発明によれば、特性のそろった一対の電気抵抗式湿度
センサーからなり、該一対の湿度センサーの一方を、そ
の表面に耐湿処理を施して、他方の湿度センサーの温度
特性補償用素子として用いることを特徴とする温度特性
の改善された湿度センサーが提供される。
センサーからなり、該一対の湿度センサーの一方を、そ
の表面に耐湿処理を施して、他方の湿度センサーの温度
特性補償用素子として用いることを特徴とする温度特性
の改善された湿度センサーが提供される。
本発明においては、一対の電気抵抗式湿度センサー(以
下,頃に湿度センサーとも言う)を用いるが、この場合
、その一対の湿度センサーは、その特性がほぼそろった
ものとし、そして、その一方には、耐湿処理を施し、湿
度の影響を受けないようにする。この場合の耐湿処理は
、従来公知の耐湿処理剤1例えば、フッ素樹脂やシリコ
ーン樹脂。
下,頃に湿度センサーとも言う)を用いるが、この場合
、その一対の湿度センサーは、その特性がほぼそろった
ものとし、そして、その一方には、耐湿処理を施し、湿
度の影響を受けないようにする。この場合の耐湿処理は
、従来公知の耐湿処理剤1例えば、フッ素樹脂やシリコ
ーン樹脂。
ポリ塩化ビニリデン樹脂、ワックス類、その他の樹脂を
用い、表面に耐湿膜を形成することによって行うことが
できる。
用い、表面に耐湿膜を形成することによって行うことが
できる。
本発明の湿度センサーは、前記のように、通常の湿度セ
ンサーと、表面が耐湿処理された湿度センサーとからな
り、その耐湿処理された湿度センサーを、他方の通常の
湿度センサーの温度特性補て直列に接続した実施例を示
し、グランド端子1゜と出力端子11との間に温度特性
の補償された電圧が湿度センサーの出力として得られる
。温度変化による湿度センサーの電気抵抗の変化は、湿
度センサーA、 Bとも同じであるので、温度変化のみ
によっては端子10と11との間の電圧は変化しない。
ンサーと、表面が耐湿処理された湿度センサーとからな
り、その耐湿処理された湿度センサーを、他方の通常の
湿度センサーの温度特性補て直列に接続した実施例を示
し、グランド端子1゜と出力端子11との間に温度特性
の補償された電圧が湿度センサーの出力として得られる
。温度変化による湿度センサーの電気抵抗の変化は、湿
度センサーA、 Bとも同じであるので、温度変化のみ
によっては端子10と11との間の電圧は変化しない。
度センサーAと通常の湿度センサーBとを負荷抵抗3.
4をそれぞれ介して並列に接続する。端子11と12と
の間の差電圧が温度特性の補償された湿度センサーの出
力となる。
4をそれぞれ介して並列に接続する。端子11と12と
の間の差電圧が温度特性の補償された湿度センサーの出
力となる。
第3図は、第2図において、その抵抗3,4をそれぞれ
ダイオード5,6で置換した実施例で、ダイオードによ
り非線形の信号処理を行った例を示す。
ダイオード5,6で置換した実施例で、ダイオードによ
り非線形の信号処理を行った例を示す。
第4図は、特性のそろった一対の湿度センサーを一体化
し、一方に耐湿処理を施した湿度センサーの構造を示す
実施例である。基板2oの上に湿度センサーA、Bを固
定し、リード線21,22,23を接続した後、湿度セ
ンサーAに耐湿処理を施す。第5図は、その一体化をさ
らに進め、同一基板上に3端子湿度センサーとして、2
つの湿度センサーを併合形成した例である。感湿材料基
板2oの表面に電極焼付けにより一対の感湿センサ一部
A、Bを作り、一方の感湿センサ一部Aに耐湿処理を施
す。
し、一方に耐湿処理を施した湿度センサーの構造を示す
実施例である。基板2oの上に湿度センサーA、Bを固
定し、リード線21,22,23を接続した後、湿度セ
ンサーAに耐湿処理を施す。第5図は、その一体化をさ
らに進め、同一基板上に3端子湿度センサーとして、2
つの湿度センサーを併合形成した例である。感湿材料基
板2oの表面に電極焼付けにより一対の感湿センサ一部
A、Bを作り、一方の感湿センサ一部Aに耐湿処理を施
す。
以上の構成により、湿度センサーの温度特性を大幅に改
善することができる。これに伴い、湿度センサ一応用回
路の部品点数を減らし、かつ無調整化も容易になる。
善することができる。これに伴い、湿度センサ一応用回
路の部品点数を減らし、かつ無調整化も容易になる。
第1図〜第3図は本発明の湿度センサーの応用について
の実施例を示し、第1図は直列接続法にょ例を示し、第
5図は3端子湿度センサーを一体に形成した例を示す。 1・・・電源 2・・・耐湿膜、10・・・グランド端
子、1、1 、12・・・出力端子、20・・・基板、
21〜23・・・リード線、A・・・it湿処理された
湿度センサー、B・・・湿度センサー。
の実施例を示し、第1図は直列接続法にょ例を示し、第
5図は3端子湿度センサーを一体に形成した例を示す。 1・・・電源 2・・・耐湿膜、10・・・グランド端
子、1、1 、12・・・出力端子、20・・・基板、
21〜23・・・リード線、A・・・it湿処理された
湿度センサー、B・・・湿度センサー。
Claims (1)
- (1) 特性のそろった一対の電気抵抗式湿度センサー
からなり、該一対の湿度センサーの一方を、その表面に
耐湿処理を施して、他方の湿度センサーの温度特性補償
用素子として用いることを特徴とする温度特性の改善さ
れた湿度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1271786A JPS62169042A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 温度特性の改善された湿度センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1271786A JPS62169042A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 温度特性の改善された湿度センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169042A true JPS62169042A (ja) | 1987-07-25 |
Family
ID=11813183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1271786A Pending JPS62169042A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 温度特性の改善された湿度センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62169042A (ja) |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP1271786A patent/JPS62169042A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4333349A (en) | Binary balancing apparatus for semiconductor transducer structures | |
| US4825079A (en) | Pyroelectric infrared detector | |
| KR870009495A (ko) | 반도체 변형게이지 브리지회로 | |
| US9709452B2 (en) | Systems and methods for compensating a sensor | |
| JPS597234A (ja) | 圧力センサ | |
| US4500838A (en) | Current sensor | |
| GB2136649A (en) | Integrated circuit | |
| JPH05501308A (ja) | 内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するための圧力センサ | |
| JP2582160B2 (ja) | センサ装置 | |
| US5812047A (en) | Offset-free resistor geometry for use in piezo-resistive pressure sensor | |
| US20020109577A1 (en) | Electrical resistor with platinum metal or a platinum metal compound and sensor arrangement with the resistor | |
| US6490926B2 (en) | Acceleration sensor module | |
| JPS60122336A (ja) | トランスデユ−サ | |
| US3759093A (en) | Linear load cell bridge including a non-linear strain sensitive element | |
| JPH0252972B2 (ja) | ||
| JP2553622Y2 (ja) | 湿度検知装置 | |
| JP2612100B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JP3002276B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6122766B2 (ja) | ||
| JP3419409B2 (ja) | 歪検出装置 | |
| JP3419408B2 (ja) | 歪検出装置 | |
| JPS61112953A (ja) | 外部雰囲気検知装置 | |
| JP2527610Y2 (ja) | ロ―ドセル | |
| JPH0566537B2 (ja) | ||
| JPH0533017Y2 (ja) |