JPS62169462U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62169462U JPS62169462U JP5743586U JP5743586U JPS62169462U JP S62169462 U JPS62169462 U JP S62169462U JP 5743586 U JP5743586 U JP 5743586U JP 5743586 U JP5743586 U JP 5743586U JP S62169462 U JPS62169462 U JP S62169462U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- detector
- electron microscope
- characteristic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は分析電子顕微鏡の原理説明図、第２図
は対物レンズ部拡大断面図、第３図は本考案の説
明図である。 ５……試料、１１……特性Ｘ線、１２……Ｘ線
検出器、１６……対物レンズ上部磁極、１７……
対物レンズ下部磁極、１８……コリメータ、２０
……Ｘ線通過穴、２１……検出器素子、２２……
Ｂｅ薄膜、２４……極薄膜、２５……膜おさえ。
は対物レンズ部拡大断面図、第３図は本考案の説
明図である。 ５……試料、１１……特性Ｘ線、１２……Ｘ線
検出器、１６……対物レンズ上部磁極、１７……
対物レンズ下部磁極、１８……コリメータ、２０
……Ｘ線通過穴、２１……検出器素子、２２……
Ｂｅ薄膜、２４……極薄膜、２５……膜おさえ。
Claims (1)
- 対物レンズに挿入された試料に電子線を照射し
、前記試料より発生する特性Ｘ線を検出するＸ線
分析装置と前記Ｘ線分析装置の検出器と試料の間
に設けたＸ線コリメータからなる電子顕微鏡にお
いて、前記Ｘ線検出器先端の極薄膜をＸ線検出器
より分離し、前記Ｘ線コリメータの特性Ｘ線通過
穴部に交換可能に取付けたことを特徴とするＸ線
分析装置を具備した電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5743586U JPS62169462U (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5743586U JPS62169462U (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169462U true JPS62169462U (ja) | 1987-10-27 |
Family
ID=30887132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5743586U Pending JPS62169462U (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62169462U (ja) |
-
1986
- 1986-04-18 JP JP5743586U patent/JPS62169462U/ja active Pending