JPS6216946A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体ウェハを半導体製造における測定装置、
検査装置または露光装置などに載置する際半導体ウェハ
を常に所定の向きに配置して載置点に搬送する搬送装置
に関するものである。

［従来の技術］ 従来の搬送装置は半導体キャリヤからベルト搬送によっ
て半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という）を取り出し
、位置決めビンにウェハを突き当て載置点のチャック上
にウェハを落してのせてからチャック上でウェハのオリ
エンテーションフラットを合せるプリアライメントを、
そして更にウェハの上の専用マークを光学的手段により
合せる精アライメントを行っていた。

このようにアライメントをチャックを取付けているθ２
ステージで行なっているためθＺステージの重量はアラ
イメントをとるための装置の重量だ【プ余分に増大し、
結局θＺステージを搭載するＸＹステージの荷重を増大
するという不都合があった。

［目的］ 本発明はウェハ搬送装置においてθＺステージを搭載す
るＸＹステージの荷重を軽減することを目的としており
、この目的は本発明に従って、キャリヤからウェハを取
り出した位置でプリアライメントを行ない、そしてその
プリアライメントを行なったウェハをθＺステージのウ
ェハ載置点まで搬送するように搬送装置を構成すること
により達成される。

［実施例］ 第１図は本発明のウェハ搬送装置の一実施例の平面図で
あり、第２図は側面図である。第ｔａ、　１ｂは本体装
置の堅固な部分に固定されているフレーム材で、３ａ、
　３ｂはこのフレーム材に支持されるガイド棒である。

２ａ、　２ｂ、　２ｃ、　２ｄはガイド棒３ａ、　３ｂ
をフレーム材１ａ、　１ｂに固定する止めビスであり、
５はウェハ、６はウェハ取出しハンドである。８はウェ
ハキャリヤ、９はチャックである。ウェハ取出しハンド
６はウェハキャリ’（ｙ　１３とウェハ受渡し位置との
間で伸縮し、そして受渡し位置で回転することができる
。ウェハ取出しハンドの駆動部は、図には示していない
。７は静電客船センサで、ウェハ５のオリエンテーショ
ンフラットを検出する。

１４ａ　、　１４ｂ　、　１４ｃ　、　１４ｄ　、　１
４ｅ　、　１４ｆはウェハの裏面をホールドする爪部材
、１０は爪部材の駆動部で、エアシリンダー（図示せず
）を内蔵しており、爪部材をチャック９に対して伸縮さ
せる。

１３ａは爪部材１４ａ　、　１４ｂ　、　１４ｃを、１
３ｂハ爪部材１４ｄ　、　１４ｅ　、　１４ｆをそれぞ
れ連結している連結部材である。１１ａ　、　１１ｂは
爪部材の支持棒、１２ａ。

１２ｂは爪部材のガイド棒である。１５は支持部材で、
この支持部材に駆動部１０を搭載している。支持部材１
５にはパルスモータと偏心カムが内蔵されており、パル
スモータの回転によって爪部材の駆動部１０をチャック
９に対し上下に運動せしめる。ずなわち第１図において
支持部材１５に対し駆動部１０は紙面に垂直方向に動い
てウェハを懸架状態で上下できる。

この動作と駆動部のエアシリンダーの動作とを組合わせ
るとチャック９上にウェハを載置したり、取除いたりす
ることができる。爪部材はウェハの円弧に合せて配置さ
れており、相互に近づいてウェハを挾むと自動的にウェ
ハの中心合せを行うことができる。このように部材１０
〜１４はウェハの受取りハンドを構成すると同時にレン
タリング手段ともなっている。

支持部材１５はベアリング部材４ａ、　４ｂを介してガ
イド棒３ａ、　３ｂに係合してＪ′３つ、ウェハの受取
りハンドは載置位置２１と受取り位置（プリアライメン
ト位Ｂ）２０との間を往復動する。

このプリアライメント位＠２０にウェハ取出しハンド６
が縮退すると第３図に示すように略ウェハ５の中心はウ
ェハ取出しハンド６の中心に位置するようになっている
。ウェハ取出しハンド６はプリアライメント位置２０の
中心で回転し任意位置に止まることができる。

爪部４４１４ａ〜１４ｅがプリアライメント位置２０か
ら最大に広がる半径Ｒより内側でウェハ５を載置する取
出しハンド６の面より上に障害となるような構成物があ
ってはならない。１７はチャック９を載せて回転（θ）
と上下（Ｚ）方向の位置決めを行うθＺステージである
。１８はθＺステージをのせてＸとＹ方向の位置決めを
行うＸＹステージである。

次に実施例の動作を説明する。キャリヤ８からウェハ取
出しハンド６によって受渡し位置２０につエバ５を取り
出して、この位置でプリアライメントを行なう。

ウェハ取出しハンド６はウェハ５の略中心を回転中心に
して回転し、オリエンテーションフラットの位置を静電
容量センサ７によって検出する。

静電各歯センサ７からの検出信号に応じてウェハ取出し
ハンド６の回転を停止させ、ウェハを所定の方向に配置
する。

ウェハ受取りハンドは載置位置２１から受渡し、または
プリアライメント位置２０に既に移動している。そこで
爪１４ａ〜１４ｆのウェハに対する平面内の伸縮及びウ
ェハに対する垂直方向の上下動作によって取出しハンド
６から受取りハンドの爪１４ａ〜１４ｆにウェハが移さ
れる。その後ウェハは受渡し位１２０から載置位置２１
へ移送される。載置位置で爪１４ａ〜１４ｆは再び伸縮
、上下運動を行なってウェハをチャックの突出ビン（図
示せず）に移し、そしてビンが降下することによってウ
ェハをチャック９に載せる。チャック９に載置されたウ
ェハはθＺステージ１７とＸＹステージ１８によって精
アライメント位置へ搬送される。

この間に２枚目のウェハが１枚目のウェハと同一過程を
辿ってウェハ載置位置２１に運ばれ最上段位置で待機し
ている。

処理の済んだウェハは載置位置２１に戻され取出しハン
ドにより回収され、ギヤリヤ８に戻される。

次に２枚目のウェハが最上段位置から降下してきてチャ
ック９に載置される。

３枚目以下のウェハについても同一のシーケンスが繰返
される。実施例では取り出しハンドでキャリヤからウェ
ハを取り出しプリアライメントを行なってからウェハを
受取りハンドに渡し、受取りハンドが載置位置にウェハ
を運んでいるが、キャリヤから取り出されたウェハの中
心は取り出しハンドの回転中心と精確に一致していない
こともある。両方中心を精確に一致させるにはキャリヤ
からウェハをいったん取り出してから受は取りハンドで
ウェハを掴み直して受は取りハンドのセンタリング手段
で中心出しを行ない、その襖に取り出しハンドに渡して
回転させプリアライメントを行なってもよい。

爪部材の移動をニジリンダ−を用いて行っているがモー
タを用いて行ってもよい。

［発明の効果］ 本発明によりプリアライメントをチャック上で行なわな
くてもよくなり、それだけθ２ステージを小型１ｔ！ｆ
ｆｉとすることができ、ＸＹステージの駆動力を減少す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるウェハ搬送装置の平面図であり、
第２図は側面図である。第３図はプリアライメント位置
における取り出しハンドとウェハとを示す略図である。 図中： ３ａ　：　３ｂ　ニガイド棒、５：ウェハ、６：取り出
しハンド、７：静電容量センサー、８：キャリヤ、９：
チャック、 １０：エアシリンダー駆動部、 １４ａ　〜１４ｆ　：ウエハ支持爪、１７：θＺステー
ジ、１８：ＸＹステージ、 ２０：受渡しまたはプリアライメント位置、２１：載置
位置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、キャリヤとウェハ受渡し位置との間で伸縮し、そし
   て受渡し位置で回転するウェハ取出しハンド； このウェハ取出しハンドの回転中心からウェハの半径に
   相当する位置に配置したエッジセンサ；ウェハのオリエ
   ンテーションフラットを前記のエッジセンサが検出する
   と前記のウェハ取出しハンドの回転を停止する手段；及
   び前記のウェハ受渡し位置とウェハ載置位置との間を往
   復動するウェハ受取りハンドを備えたことを特徴とする
   ウェハ搬送装置。 ２、前記のウェハ取出しハンドはウェハの中心と一致す
   る点で回転するように配置されている特許請求の範囲１
   項に記載のウェハ搬送装置。 ３、前記のウェハ受取りハンドはウェハのセンタリング
   手段を含んでいる特許請求の範囲第１項または第２項に
   記載のウェハ搬送装置。 ４、前記のエッジセンサが静電容量センサである特許請
   求の範囲第１、２項または３項に記載のウェハ搬送装置
   。 ５、ウェハを掴むため、前記の受取りハンドが広がる最
   大円内には構成部材が存在しないような高さに前記の取
   出しハンドより上方に前記の受取りハンドを配置し、そ
   して前記のエッジセンサを前記の受取りハンドが前記の
   受渡し位置から前記の載置位置へ向う方向と対向する位
   置に配置した特許請求の範囲第１、２、３または４項に
   記載のウェハ搬送装置。