JPS6217607A - 光学式傾き検出装置 - Google Patents
光学式傾き検出装置Info
- Publication number
- JPS6217607A JPS6217607A JP15745285A JP15745285A JPS6217607A JP S6217607 A JPS6217607 A JP S6217607A JP 15745285 A JP15745285 A JP 15745285A JP 15745285 A JP15745285 A JP 15745285A JP S6217607 A JPS6217607 A JP S6217607A
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- JP
- Japan
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- reflected
- light
- optical
- condenser lens
- beam splitter
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学式傾き検出装置に関するものである。
従来高速で回転又は移動する物体等の微小範囲の微小な
傾きを遠距離から非接触で測定する簡単な方法は無かっ
た。
傾きを遠距離から非接触で測定する簡単な方法は無かっ
た。
もっとも、静止物体の微小範囲の傾きを測定する場合に
はマイクロセンサ等を用いて測定する事はできたが、物
体が高速で回転又は移動している場合には物体にセンサ
を接触させる事はできず、従ってその傾きを測定する事
はできなかった。
はマイクロセンサ等を用いて測定する事はできたが、物
体が高速で回転又は移動している場合には物体にセンサ
を接触させる事はできず、従ってその傾きを測定する事
はできなかった。
本発明の光学式傾き検出装置はレーザから出射されたレ
ーザビームの光軸上に、コリメートレンズ、偏光ビーム
スプリッタ、１／４波長板、被検面の順に配置された光
学系と、被検面により反射され、さらに偏光ビームスシ
リツタによって反射された反射光の光軸上に配置された
集光レンズと、集光レンズによって集光されたレーザビ
ームの焦点付近に配置された２分割以上の光検出センサ
とを有している。
ーザビームの光軸上に、コリメートレンズ、偏光ビーム
スプリッタ、１／４波長板、被検面の順に配置された光
学系と、被検面により反射され、さらに偏光ビームスシ
リツタによって反射された反射光の光軸上に配置された
集光レンズと、集光レンズによって集光されたレーザビ
ームの焦点付近に配置された２分割以上の光検出センサ
とを有している。
以下に本発明の実施例を図によって説明する。
第１図において、被傾き測定面１と、該測定面１に向け
られたレーザ７との間に、レーザ７の光軸に沿って順に
コリメートレンズ６、グレーティング１１、偏光ビーム
スｆ ＩＪフッタ、１／４波長板２が設置されている。
られたレーザ７との間に、レーザ７の光軸に沿って順に
コリメートレンズ６、グレーティング１１、偏光ビーム
スｆ ＩＪフッタ、１／４波長板２が設置されている。
この偏光ビームスプリッタ４の反射面よシ出射する反射
光の光軸に集光レンズ３と、その焦点位置に光検出セン
サ（ＰＳＤ）２とを配置する。８は光検出センサ２の出
力端子に接続した差動増幅器である。
光の光軸に集光レンズ３と、その焦点位置に光検出セン
サ（ＰＳＤ）２とを配置する。８は光検出センサ２の出
力端子に接続した差動増幅器である。
実施例において、レーザ７から出射された光はコリメー
トレンズ６により平行光になジグレーティング１１、偏
光ビームスプリッタ４及び１／４波長板２を通過し、被
傾き測定面１に照射され、被傾き測定面１より反射した
光は再び１／４波長板２を通過し偏光ビームスグリツタ
４で反射され、さらに集光レンズ３で集光されて光検出
センサ５に到達する。第２図において、被測定面１が１
′のように傾いた場合反射光は、光路９を通シまた１“
のように傾いた場合は、光路１０を通り、光位置検出セ
ンサ５に到達する光スポットの位置はＸ１＋１２のよう
に移動するからこの光位置検出センサ５の出力を差動増
幅器８を通して差動出力として取り出す事によって被測
定面１の傾きを測定する事ができる。例えば光学式情報
記録装置等に適用すれば、光ヘッドに対するディスクの
傾きを瞬時に知る事ができ、光学ヘッドにとって大きな
問題である光軸の傾きを知る事ができるから、光軸の傾
きに応じて光学ヘッド全体を傾ける等、対処する事がで
きる。
トレンズ６により平行光になジグレーティング１１、偏
光ビームスプリッタ４及び１／４波長板２を通過し、被
傾き測定面１に照射され、被傾き測定面１より反射した
光は再び１／４波長板２を通過し偏光ビームスグリツタ
４で反射され、さらに集光レンズ３で集光されて光検出
センサ５に到達する。第２図において、被測定面１が１
′のように傾いた場合反射光は、光路９を通シまた１“
のように傾いた場合は、光路１０を通り、光位置検出セ
ンサ５に到達する光スポットの位置はＸ１＋１２のよう
に移動するからこの光位置検出センサ５の出力を差動増
幅器８を通して差動出力として取り出す事によって被測
定面１の傾きを測定する事ができる。例えば光学式情報
記録装置等に適用すれば、光ヘッドに対するディスクの
傾きを瞬時に知る事ができ、光学ヘッドにとって大きな
問題である光軸の傾きを知る事ができるから、光軸の傾
きに応じて光学ヘッド全体を傾ける等、対処する事がで
きる。
なお、本実施例においてはコリメートレンズと偏光ビー
ムスプリッタとの間にグレーティングを配置しているが
これが無くても同様の効果が得られる事は言うまでもな
い。また、光検出センサは光電流を２端子の電流に分割
する１次元ＰＳＤの使用に限らず２次元以上のＰＳＤも
全く同様に適用できる。
ムスプリッタとの間にグレーティングを配置しているが
これが無くても同様の効果が得られる事は言うまでもな
い。また、光検出センサは光電流を２端子の電流に分割
する１次元ＰＳＤの使用に限らず２次元以上のＰＳＤも
全く同様に適用できる。
以上説明したように本発明によれば高速で回転又は移動
する物体でも、その傾きを非接触でしかも瞬時に測定す
る事ができる効果を有するものである。
する物体でも、その傾きを非接触でしかも瞬時に測定す
る事ができる効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明の動作要領を示す説明図である。 １・・・被傾き測定面、２・・・１７４波長板、３・・
・集光レンズ、４・・・偏光ビームスプリッタ、５・・
・光検出センサ、６・・・コリメートレンズ、７・・・
レーザ、８・・・差動増幅器、９，１０・・・光路、１
１・・・グレーティング。 代理人弁理士菅野 中（ｊ＝−゛つ、、、。 大玉シ 第２図
明の動作要領を示す説明図である。 １・・・被傾き測定面、２・・・１７４波長板、３・・
・集光レンズ、４・・・偏光ビームスプリッタ、５・・
・光検出センサ、６・・・コリメートレンズ、７・・・
レーザ、８・・・差動増幅器、９，１０・・・光路、１
１・・・グレーティング。 代理人弁理士菅野 中（ｊ＝−゛つ、、、。 大玉シ 第２図
Claims (1)
- （１）レーザから出射されたレーザ光の光軸上に、コリ
メートレンズ、偏光ビームスプリッタ、１／４波長板、
被検面の順に配置された光学系と、被検面より反射され
、さらに偏光ビームスプリッタによって反射された反射
光の光軸上に配置された集光レンズと、集光レンズによ
って集光された光の焦点付近に配置された２分割以上の
光検出センサとを有する光学式傾き検出装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15745285A JPS6217607A (ja) | 1985-07-17 | 1985-07-17 | 光学式傾き検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15745285A JPS6217607A (ja) | 1985-07-17 | 1985-07-17 | 光学式傾き検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217607A true JPS6217607A (ja) | 1987-01-26 |
Family
ID=15649966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15745285A Pending JPS6217607A (ja) | 1985-07-17 | 1985-07-17 | 光学式傾き検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6217607A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0287007A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傾き検出ヘッド |
| EP1610089A2 (de) | 2004-06-21 | 2005-12-28 | Trioptics GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Winkeln optischer Oberflächen |
-
1985
- 1985-07-17 JP JP15745285A patent/JPS6217607A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0287007A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傾き検出ヘッド |
| EP1610089A2 (de) | 2004-06-21 | 2005-12-28 | Trioptics GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Winkeln optischer Oberflächen |
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