JPS6217871B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6217871B2 JPS6217871B2 JP56031691A JP3169181A JPS6217871B2 JP S6217871 B2 JPS6217871 B2 JP S6217871B2 JP 56031691 A JP56031691 A JP 56031691A JP 3169181 A JP3169181 A JP 3169181A JP S6217871 B2 JPS6217871 B2 JP S6217871B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- multilayer wiring
- wiring board
- chips
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W40/00—Arrangements for thermal protection or thermal control
- H10W40/70—Fillings or auxiliary members in containers or in encapsulations for thermal protection or control
- H10W40/77—Auxiliary members characterised by their shape
- H10W40/774—Pistons, e.g. spring-loaded members
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高密度LSI(Large Scule Integr―
ation)パツケージに関し、特に複数個のIC
(Integrated Circuit)チツプを高密度に搭載可能
で、かつ、放熱特性の良好なマルチチツプLSIパ
ツケージに関する。
ation)パツケージに関し、特に複数個のIC
(Integrated Circuit)チツプを高密度に搭載可能
で、かつ、放熱特性の良好なマルチチツプLSIパ
ツケージに関する。
近年、コンピユータの高性能化および小型化の
要求がますます高まり、このためICチツプの集
積度は、数年前には数百ゲート/チツプであつた
ものが最近では1000ゲート/チツプのものまで実
現されるにいたつている。それとともに、ICチ
ツプのチツプあたり消費電力も向上し、2〜
4W/チツプの電力を消費するものが一般的とな
りつつある。
要求がますます高まり、このためICチツプの集
積度は、数年前には数百ゲート/チツプであつた
ものが最近では1000ゲート/チツプのものまで実
現されるにいたつている。それとともに、ICチ
ツプのチツプあたり消費電力も向上し、2〜
4W/チツプの電力を消費するものが一般的とな
りつつある。
これは、集積度の向上によりゲートあたりの消
費電力は減少しているにもかかわらずチツプあた
りのゲート数が増大することによりチツプあたり
の消費電力はむしろわずかながら増加することに
よるものである。
費電力は減少しているにもかかわらずチツプあた
りのゲート数が増大することによりチツプあたり
の消費電力はむしろわずかながら増加することに
よるものである。
ところで、これらのICチツプを搭載する従来
のLSIパツケージはプリント板上にケース入りの
単独チツプを半田付等の手段により取りつけたカ
ードタイプのものが多く用いられていたが最近で
は小型化および高性能化の要求から複数個のIC
チツプをチツプキヤリアとよぼれる小型のケース
により基板上に搭載しかつ基板内に多層の信号配
線を施したマルチチツプパツケージが使用される
ようになつてきている。
のLSIパツケージはプリント板上にケース入りの
単独チツプを半田付等の手段により取りつけたカ
ードタイプのものが多く用いられていたが最近で
は小型化および高性能化の要求から複数個のIC
チツプをチツプキヤリアとよぼれる小型のケース
により基板上に搭載しかつ基板内に多層の信号配
線を施したマルチチツプパツケージが使用される
ようになつてきている。
このような、マルチチツプパツケージを実現す
るときの課題は、第1にはいかにICチツプをパ
ツケージ上に多数個、すなわち高密度に搭載する
かであり、第2には、これらの高集積度の多端子
のICチツプ間の配線を高密度に形成するかであ
り、第3にはこれらの高集積度かつ高消費電力の
ICチツプの発生する熱をいかにして効率よく放
散させるかにある。
るときの課題は、第1にはいかにICチツプをパ
ツケージ上に多数個、すなわち高密度に搭載する
かであり、第2には、これらの高集積度の多端子
のICチツプ間の配線を高密度に形成するかであ
り、第3にはこれらの高集積度かつ高消費電力の
ICチツプの発生する熱をいかにして効率よく放
散させるかにある。
これらの課題を果すことができればマルチチツ
プパツケージの形状の小型化が可能となり従つて
配線長が短くなることによる動作速度の向上すな
わち高性能化や実現でき同時に回路の高密度化も
実現できる。
プパツケージの形状の小型化が可能となり従つて
配線長が短くなることによる動作速度の向上すな
わち高性能化や実現でき同時に回路の高密度化も
実現できる。
本発明の目的は、上述の欠点を除去した効率的
放熱を可能とし小型化をはかつた高性能および高
密度のマルチチツプLSIパツケージを提供するこ
とにある。
放熱を可能とし小型化をはかつた高性能および高
密度のマルチチツプLSIパツケージを提供するこ
とにある。
本発明のパツケージは、少なくとも1つのボン
デイングパツドを有する多層配線基板と、 前記ボンデイングパツドに接続されるICリー
ドをもつ少なくとも1つのICチツプと、 それぞれが良熱伝導性材料により形成され前記
ICチツプを搭載しこの搭載面の四隅に設けられ
前記多層配線基板に固定された少なくとも4つの
突起を有する複数のチツプキヤリアと、 これらのチツプキヤリアのそれぞれに対応して
設けられかつこれらキヤリアのそれぞれのICチ
ツプ搭載面とは反対側の面に設けられた複数のヒ
ートシンクと、 これらヒートシンクのそれぞれを前記チツプキ
ヤリアの前記反対側の面に固定するよう保持する
保持機構とを有する。
デイングパツドを有する多層配線基板と、 前記ボンデイングパツドに接続されるICリー
ドをもつ少なくとも1つのICチツプと、 それぞれが良熱伝導性材料により形成され前記
ICチツプを搭載しこの搭載面の四隅に設けられ
前記多層配線基板に固定された少なくとも4つの
突起を有する複数のチツプキヤリアと、 これらのチツプキヤリアのそれぞれに対応して
設けられかつこれらキヤリアのそれぞれのICチ
ツプ搭載面とは反対側の面に設けられた複数のヒ
ートシンクと、 これらヒートシンクのそれぞれを前記チツプキ
ヤリアの前記反対側の面に固定するよう保持する
保持機構とを有する。
次に本発明について図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第1図を参照すると、本発明の一実施例は多層
配線基板8、この基板8の下面に取り付けられた
入出力端子9、前記多層配線基板8の上面に取り
付けられたICリード3を有する複数のICチツプ
1、これらICチツプ1のICリード3を取り付け
るため前記基板8に設けられたボンデイングパツ
ド4、これらのICチツプ1のそれぞれを取り付
けかつ前記基板8に取り付けられる複数のチツプ
キヤリア2、これらチツプキヤリア2に密着する
ように位置付けられる吸熱体5―2を一端に設け
他端に放熱フイン5―1を設けたヒートシンク
5、このヒートシンク5を保持する保持機構7、
およびこの保持機構7と前記ヒートシンク5の吸
熱体5―2との間に挿入されるバネ6から構成さ
れている。
配線基板8、この基板8の下面に取り付けられた
入出力端子9、前記多層配線基板8の上面に取り
付けられたICリード3を有する複数のICチツプ
1、これらICチツプ1のICリード3を取り付け
るため前記基板8に設けられたボンデイングパツ
ド4、これらのICチツプ1のそれぞれを取り付
けかつ前記基板8に取り付けられる複数のチツプ
キヤリア2、これらチツプキヤリア2に密着する
ように位置付けられる吸熱体5―2を一端に設け
他端に放熱フイン5―1を設けたヒートシンク
5、このヒートシンク5を保持する保持機構7、
およびこの保持機構7と前記ヒートシンク5の吸
熱体5―2との間に挿入されるバネ6から構成さ
れている。
前記多層配線基板8は最近よく用いられて周知
のグリーンシート積層型セラミツク基板を使用す
れば、内層に多層の配線を収容することができる
ので最ものぞましい。しかし、基板8はグリーン
シート積層型セラミツク基板が必要不可欠の条件
ではなく、例えば、セラミツク基板上に厚膜ペー
スト印刷法により配線層および絶縁層を形成した
多層配線基板であつてもよく、また同様にセラミ
ツク基板上に有機絶縁層と多層の配線層を形成し
た有機絶縁多層配線基板であつてもよい。すなわ
ち多層配線基板8がどのような技術で製造された
ものであろうと本発明のマルチチツプLSIパツケ
ージを構成する多層配線基板8として使用するこ
とができる。
のグリーンシート積層型セラミツク基板を使用す
れば、内層に多層の配線を収容することができる
ので最ものぞましい。しかし、基板8はグリーン
シート積層型セラミツク基板が必要不可欠の条件
ではなく、例えば、セラミツク基板上に厚膜ペー
スト印刷法により配線層および絶縁層を形成した
多層配線基板であつてもよく、また同様にセラミ
ツク基板上に有機絶縁層と多層の配線層を形成し
た有機絶縁多層配線基板であつてもよい。すなわ
ち多層配線基板8がどのような技術で製造された
ものであろうと本発明のマルチチツプLSIパツケ
ージを構成する多層配線基板8として使用するこ
とができる。
第2図を参照すると、前記チツプキヤリア2は
ICチツプ1が多層配線基板8に対しICチツプ内
の配線、トランジスタ等が形成されている面を表
すなわちフエースとするときにフエースダウンに
なるようにチツプキヤリア2にダイボンデイング
されている。前記ICチツプ1の周辺に設けられ
たICリード3はチツプキヤリア2との接続はな
く、多層配線基板8上のボンデイングパツド4に
直接ボンデイング接続される。またチツプキヤリ
ア2は四隅に突起2―1を有している。この突起
2―1は、チツプキヤリア2を多層配線基板8に
接着保持するとともに、ICチツプ1の機械的保
護、ICリード3の位置決めおよび機械的保護の
ために必要な空間をチツプキヤリア2と多層配線
基板8の表面との間に確保するために設けられて
いる。
ICチツプ1が多層配線基板8に対しICチツプ内
の配線、トランジスタ等が形成されている面を表
すなわちフエースとするときにフエースダウンに
なるようにチツプキヤリア2にダイボンデイング
されている。前記ICチツプ1の周辺に設けられ
たICリード3はチツプキヤリア2との接続はな
く、多層配線基板8上のボンデイングパツド4に
直接ボンデイング接続される。またチツプキヤリ
ア2は四隅に突起2―1を有している。この突起
2―1は、チツプキヤリア2を多層配線基板8に
接着保持するとともに、ICチツプ1の機械的保
護、ICリード3の位置決めおよび機械的保護の
ために必要な空間をチツプキヤリア2と多層配線
基板8の表面との間に確保するために設けられて
いる。
第3図を参照すると、ヒートシンク5は放熱フ
イン5―1、これを取りつけた支柱5―3および
吸熱体5―2からなり、放熱フイン5―1と吸熱
体5―2は支柱5―3を介してネジ止め接続され
ている。ネジ止め接続の際、放熱フイン5―1が
取りつけられた支柱5―3は保持機構7に設けら
れたヒートシンク取付穴7―1にさし込まれ下側
からバネ6をはさみ込まれて吸熱体5―2がネジ
止めされる。この組み立て後の断面は第1図に示
すとおりでありバネ6の弾力により吸熱体5―2
が確実にチツプキヤリア2に接触するように工夫
されている。前記保持機構7は第1図に示すよう
に、複数個のヒートシンク5を保持しそれぞれの
ヒートシンク5に取りつけられたバネ6の弾力で
多層配線基板8上の全てのチツプキヤリア2にそ
れぞれヒートシンクの吸熱体が均一に接触するよ
うに基板8に対して取りつけられている。本発明
の一実施例では以上の説明のように吸熱体5―2
をチツプキヤリア2に確実に接触させるためにバ
ネ6を用いた例を説明したが、他の実施例として
ヒートシンク取付穴7―1の内壁に雌ネジタップ
を設けかつ放熱フイン5―1の取りつけられた支
柱5―3の周囲にも雄ネジタツプを設けて支柱5
―3をねじ込むことによりネジの圧力で吸熱体5
―2をチツプキヤリア2に接触させてもよい。も
ちろんこの場合支柱5―3をねじ込むときには吸
熱体5―2はすでに5―3にねじ止めされている
必要がある。
イン5―1、これを取りつけた支柱5―3および
吸熱体5―2からなり、放熱フイン5―1と吸熱
体5―2は支柱5―3を介してネジ止め接続され
ている。ネジ止め接続の際、放熱フイン5―1が
取りつけられた支柱5―3は保持機構7に設けら
れたヒートシンク取付穴7―1にさし込まれ下側
からバネ6をはさみ込まれて吸熱体5―2がネジ
止めされる。この組み立て後の断面は第1図に示
すとおりでありバネ6の弾力により吸熱体5―2
が確実にチツプキヤリア2に接触するように工夫
されている。前記保持機構7は第1図に示すよう
に、複数個のヒートシンク5を保持しそれぞれの
ヒートシンク5に取りつけられたバネ6の弾力で
多層配線基板8上の全てのチツプキヤリア2にそ
れぞれヒートシンクの吸熱体が均一に接触するよ
うに基板8に対して取りつけられている。本発明
の一実施例では以上の説明のように吸熱体5―2
をチツプキヤリア2に確実に接触させるためにバ
ネ6を用いた例を説明したが、他の実施例として
ヒートシンク取付穴7―1の内壁に雌ネジタップ
を設けかつ放熱フイン5―1の取りつけられた支
柱5―3の周囲にも雄ネジタツプを設けて支柱5
―3をねじ込むことによりネジの圧力で吸熱体5
―2をチツプキヤリア2に接触させてもよい。も
ちろんこの場合支柱5―3をねじ込むときには吸
熱体5―2はすでに5―3にねじ止めされている
必要がある。
以上の説明により本発明によるマルチチツプ
LSIパツケージは次のような効果をもたらす。
LSIパツケージは次のような効果をもたらす。
第1に、チツプキヤリアに接着されたICチツ
プのリードは直接多層配線基板にボンデイング接
続されるためチツプキヤリア内に配線を施す必要
がなく従つてチツプキヤリアの材料に熱伝導性の
良好な金属材料を用いることができ効果的な放熱
が可能である。
プのリードは直接多層配線基板にボンデイング接
続されるためチツプキヤリア内に配線を施す必要
がなく従つてチツプキヤリアの材料に熱伝導性の
良好な金属材料を用いることができ効果的な放熱
が可能である。
第2に、さらに前記第1と同じ理由によりチツ
プキヤリアの小型化が可能となり基板上高密度実
装が実現できる。
プキヤリアの小型化が可能となり基板上高密度実
装が実現できる。
第3に、チツプキヤリアは突起によつてチツプ
を覆いこみ機械的保護の役目も果すので、吸熱体
の接触圧力に対して十分にチツプを機械的に保護
することができる。
を覆いこみ機械的保護の役目も果すので、吸熱体
の接触圧力に対して十分にチツプを機械的に保護
することができる。
第4に、第1から第3の特徴により多数個の
ICチツプを基板上に高密度に実装できることに
なるが、この場合、ICチツプ間を接続する配線
数が増大するが基板に多層配線基板を使用するこ
とにより配線の高密度化が可能であり、総合的に
高密度のLSIパツケージを実現することができ
る。
ICチツプを基板上に高密度に実装できることに
なるが、この場合、ICチツプ間を接続する配線
数が増大するが基板に多層配線基板を使用するこ
とにより配線の高密度化が可能であり、総合的に
高密度のLSIパツケージを実現することができ
る。
第5に第2の特徴によりICチツプを高密度に
実装できることからLSIパツケージの小型化が可
能となり従つてICチツプ間接続配線長も短くな
るので高速化、すなわち、高性能化が実現でき
る。
実装できることからLSIパツケージの小型化が可
能となり従つてICチツプ間接続配線長も短くな
るので高速化、すなわち、高性能化が実現でき
る。
本発明には熱伝導性の良好な小型チツプキヤリ
アとこれに接触して放熱できるヒートシンクと小
型チツプキヤリアを高密度に搭載できる多層配線
基板とにより構成することにより高密度および高
速度のマルチチツプLSIパツケージを実現できる
という効果がある。
アとこれに接触して放熱できるヒートシンクと小
型チツプキヤリアを高密度に搭載できる多層配線
基板とにより構成することにより高密度および高
速度のマルチチツプLSIパツケージを実現できる
という効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す図、第2図は
第1図のチツプキヤリア2の詳細な構成を示す図
および第3図は第1図のヒートシンク5の詳細な
構成を示す図である。 第1図から第3図において、1……ICチツ
プ、2……チツプキヤリア、3……ICリード、
4……ボンデイングパツド、5……ヒートシン
ク、6……バネ、7……保持機構、8……多層配
線基板。
第1図のチツプキヤリア2の詳細な構成を示す図
および第3図は第1図のヒートシンク5の詳細な
構成を示す図である。 第1図から第3図において、1……ICチツ
プ、2……チツプキヤリア、3……ICリード、
4……ボンデイングパツド、5……ヒートシン
ク、6……バネ、7……保持機構、8……多層配
線基板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 少なくとも1つのボンデイングパツドを有す
る多層配線基板と、 前記ボンデイングパツドに接続されるICリー
ドをもつ少なくとも1つのICチツプと、 それぞれが良熱伝導性材料により形成され前記
ICチツプを搭載しこの搭載面の四隅に設けられ
前記多層配線基板に固定された少なくとも4つの
突起を有する複数のチツプキヤリアと、 これらチツプキヤリアの各々に対応して設けら
れかつこれらキヤリアのそれぞれのICチツプ搭
載面とは反対側の面に設けられた複数のヒートシ
ンクと、 これらヒートシンクのそれぞれを前記チツプキ
ヤリアの前記反対側の面に固定するよう保持する
保持機構とを有することを特徴とするマルチチツ
プLSIパツケージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56031691A JPS57147255A (en) | 1981-03-05 | 1981-03-05 | Multichip lsi package |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56031691A JPS57147255A (en) | 1981-03-05 | 1981-03-05 | Multichip lsi package |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57147255A JPS57147255A (en) | 1982-09-11 |
| JPS6217871B2 true JPS6217871B2 (ja) | 1987-04-20 |
Family
ID=12338093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56031691A Granted JPS57147255A (en) | 1981-03-05 | 1981-03-05 | Multichip lsi package |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57147255A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02143395U (ja) * | 1989-05-02 | 1990-12-05 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6381844B1 (en) | 1999-12-15 | 2002-05-07 | Sun Microsystems, Inc. | Method for thermally connecting a heat sink to a cabinet |
| FR2967763B1 (fr) * | 2010-11-19 | 2014-07-04 | Thales Sa | Dispositif de dissipation de chaleur et carte electronique correspondante |
| CN109920755B (zh) * | 2019-02-25 | 2021-01-05 | 天津大学 | 一种纳米银焊膏低压辅助烧结夹具及方法 |
-
1981
- 1981-03-05 JP JP56031691A patent/JPS57147255A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02143395U (ja) * | 1989-05-02 | 1990-12-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57147255A (en) | 1982-09-11 |
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