JPS62180785A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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- JPS62180785A JPS62180785A JP2268286A JP2268286A JPS62180785A JP S62180785 A JPS62180785 A JP S62180785A JP 2268286 A JP2268286 A JP 2268286A JP 2268286 A JP2268286 A JP 2268286A JP S62180785 A JPS62180785 A JP S62180785A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は超音波洗浄装置に関し、更に詳細には、搬送
ベルトに整列的に載置した被洗浄物を洗浄液中で超音波
洗浄する際に、この被洗浄物が前記搬送ベルト上の整列
位置からずれるのを有効に防止して、後工程でのメカニ
カルハンド等による被洗浄物の自動取出しその他の自動
供給を円滑に達成し得る超音波洗浄装置に関するもので
ある。
ベルトに整列的に載置した被洗浄物を洗浄液中で超音波
洗浄する際に、この被洗浄物が前記搬送ベルト上の整列
位置からずれるのを有効に防止して、後工程でのメカニ
カルハンド等による被洗浄物の自動取出しその他の自動
供給を円滑に達成し得る超音波洗浄装置に関するもので
ある。
従来技術
生産工場での製造工程中に発生し、製造部品等に付着す
る各種の汚れの除去には、従前は手作業によるブラシ洗
浄、アルカリ液や有機溶剤中での揺動洗浄その他シャワ
ー洗浄等の手段が用いられていた。しかし最近は高度の
精密加工が要求されるため、洗浄も完全になされること
が要請され、この要求に最もよく合致する超音波洗浄が
広く使用されるに至っている。この超音波洗浄は、振動
子からの超音波発生時のキャビテーション、殊に気泡が
消滅する際の圧力および機械的振動により。
る各種の汚れの除去には、従前は手作業によるブラシ洗
浄、アルカリ液や有機溶剤中での揺動洗浄その他シャワ
ー洗浄等の手段が用いられていた。しかし最近は高度の
精密加工が要求されるため、洗浄も完全になされること
が要請され、この要求に最もよく合致する超音波洗浄が
広く使用されるに至っている。この超音波洗浄は、振動
子からの超音波発生時のキャビテーション、殊に気泡が
消滅する際の圧力および機械的振動により。
物品に付着した各種の汚れを除去するものであって、こ
の原理を応用した超音波洗浄装置が種々開発され、製品
化されている。
の原理を応用した超音波洗浄装置が種々開発され、製品
化されている。
そして一連のベルトコンベヤ等による自動化工程の途次
に超音波洗浄を行なう場合は、例えば第4図に示す構造
の超音波洗浄装置を設け、この装置によ−り前工程と後
工程とを連結するよう構成しである。すなわち超音波洗
浄装置は、界面活性剤等の洗浄液10を所定量貯める貯
留槽12と、この貯留槽12中を運行し得るよう配設さ
れ、洗浄液10に浸漬された状態で所定方向に駆動され
る搬送ベルト14(メツシュベルトが多用される)と、
前記貯留槽12中にあって前記搬送ベルト14の下方(
上方配置の場合もある)に配設した超音波振動子16と
から基本的に構成される。前記搬送ベルト14は、その
搬送面に載置した被洗浄物18と共に前記貯留槽12内
の洗浄液10中に潜り、その液中に浸漬された状態で運
行される必要がある。このため該ベルト14は、図示の
如く貯留槽12中の所定位置に配設した案内ローラ20
に向けて急勾配で下降し、更にこのローラ20を経た後
は、“□急勾配で上昇して貯留槽12の上方に現われる
ようになっている。またベルト14は貯留槽・1グめ外
方を、図示しない駆動源により付勢されてエンドレスに
@環され、その下降勾配面および上昇勾配面の下方に夫
々配設し:た超音波振動子によって前記被洗浄物1日の
洗浄がなされるようになら□でいる。洗浄後に貯留槽1
□2の外方に搬送された被洗浄物18は、ヒータ2′2
およびブロワ24により乾燥され、後工程に□配置した
コンベヤ26によって搬出される。
に超音波洗浄を行なう場合は、例えば第4図に示す構造
の超音波洗浄装置を設け、この装置によ−り前工程と後
工程とを連結するよう構成しである。すなわち超音波洗
浄装置は、界面活性剤等の洗浄液10を所定量貯める貯
留槽12と、この貯留槽12中を運行し得るよう配設さ
れ、洗浄液10に浸漬された状態で所定方向に駆動され
る搬送ベルト14(メツシュベルトが多用される)と、
前記貯留槽12中にあって前記搬送ベルト14の下方(
上方配置の場合もある)に配設した超音波振動子16と
から基本的に構成される。前記搬送ベルト14は、その
搬送面に載置した被洗浄物18と共に前記貯留槽12内
の洗浄液10中に潜り、その液中に浸漬された状態で運
行される必要がある。このため該ベルト14は、図示の
如く貯留槽12中の所定位置に配設した案内ローラ20
に向けて急勾配で下降し、更にこのローラ20を経た後
は、“□急勾配で上昇して貯留槽12の上方に現われる
ようになっている。またベルト14は貯留槽・1グめ外
方を、図示しない駆動源により付勢されてエンドレスに
@環され、その下降勾配面および上昇勾配面の下方に夫
々配設し:た超音波振動子によって前記被洗浄物1日の
洗浄がなされるようになら□でいる。洗浄後に貯留槽1
□2の外方に搬送された被洗浄物18は、ヒータ2′2
およびブロワ24により乾燥され、後工程に□配置した
コンベヤ26によって搬出される。
発明が解決しようとする問題点
従来の超音波洗浄装置では、前述した如く搬送ベルト1
4が貯留槽12の洗浄液10中で急勾配の傾斜が付され
た状態で運行されるものである。
4が貯留槽12の洗浄液10中で急勾配の傾斜が付され
た状態で運行されるものである。
こめため搬送ベルト14に載置した被洗浄物18は、洗
浄液10中で超音波洗浄されつつ搬送される途次におい
て、前記超音波振動子16から受ける超に波振動と、前
記ベルト傾□斜面との相乗的な影響によってその整列状
態が乱されることが多い。
浄液10中で超音波洗浄されつつ搬送される途次におい
て、前記超音波振動子16から受ける超に波振動と、前
記ベルト傾□斜面との相乗的な影響によってその整列状
態が乱されることが多い。
このように超音波洗浄装置を経て搬送される被洗浄物1
8が、搬送ベルト14の搬送面上□において不整列状態
になっていると、その後*−’v被洗浄物18をメカニ
カルハンドにより把持したり、他の搬送手段に移送した
りする場合あ定位置決めが困難になる欠点がある。この
ような場合i±、監視用の人員を別に必要としたり、高
価なパターン認識装置を設ける等の対処′fJi@請さ
れ、占ストの増大を招来する。
8が、搬送ベルト14の搬送面上□において不整列状態
になっていると、その後*−’v被洗浄物18をメカニ
カルハンドにより把持したり、他の搬送手段に移送した
りする場合あ定位置決めが困難になる欠点がある。この
ような場合i±、監視用の人員を別に必要としたり、高
価なパターン認識装置を設ける等の対処′fJi@請さ
れ、占ストの増大を招来する。
また搬送ベルト14は、該ベルトおよび被洗浄物18を
洗浄液10中に浸漬キせる一一があるために、貯留槽1
2中で急勾配で逆「へ」字状に屈曲される構成になって
おり、従っそ当該ベルト14□の駆動機構に過負荷が加
わ□り易くJ故障の原因となる欠点も指摘される。
′:″ □発明の目的 この発明は、従来技術1こ標る搬送ベルトを内蔵した自
動超音波洗浄装置t:′内在している前記欠点に鑑み、
これを好適に解決する畏<′提案されたものであって、
貯留槽中で超音波洗浄しつつ搬送しても、搬送ベルト上
の被洗浄物の整列状態が乱されることがなく、後工程で
の位置決めに支障を来すことのない手段を提供すること
を目的とする。
洗浄液10中に浸漬キせる一一があるために、貯留槽1
2中で急勾配で逆「へ」字状に屈曲される構成になって
おり、従っそ当該ベルト14□の駆動機構に過負荷が加
わ□り易くJ故障の原因となる欠点も指摘される。
′:″ □発明の目的 この発明は、従来技術1こ標る搬送ベルトを内蔵した自
動超音波洗浄装置t:′内在している前記欠点に鑑み、
これを好適に解決する畏<′提案されたものであって、
貯留槽中で超音波洗浄しつつ搬送しても、搬送ベルト上
の被洗浄物の整列状態が乱されることがなく、後工程で
の位置決めに支障を来すことのない手段を提供すること
を目的とする。
問題点を解決するための手段
前記問題点を解決するため本発明は、
洗浄液の貯留槽と、この■↑留槽中に配設され洗浄液に
浸漬した状態で所定方向に運行される被洗浄物搬送ベル
トと、前記貯留槽中にあって前記搬送ベルトに近接して
配設した超音波振動子とからなる超音波洗浄装置におい
て、□ 前記貯留槽を主貯留槽と副貯留槽とから構成し、この主
貯留槽中に前記搬送ベル1〜を配設すると共に、主貯留
槽に位置する搬送ベルトの少なくとも出口側に開口部を
設けて、この開口部から洗浄液を面記副貯留槽中に溢流
させ、 ・この副貯留槽中に溢流して貯留された洗浄液を主貯留
槽に汲み上げ供給する手段を設けるよう構成したことを
特徴とする。
浸漬した状態で所定方向に運行される被洗浄物搬送ベル
トと、前記貯留槽中にあって前記搬送ベルトに近接して
配設した超音波振動子とからなる超音波洗浄装置におい
て、□ 前記貯留槽を主貯留槽と副貯留槽とから構成し、この主
貯留槽中に前記搬送ベル1〜を配設すると共に、主貯留
槽に位置する搬送ベルトの少なくとも出口側に開口部を
設けて、この開口部から洗浄液を面記副貯留槽中に溢流
させ、 ・この副貯留槽中に溢流して貯留された洗浄液を主貯留
槽に汲み上げ供給する手段を設けるよう構成したことを
特徴とする。
実施例
次に本発明に係る超音波洗浄装置につき、好適な実施例
を挙げて、添付図面を参照しながら以下説明する。なお
第4図に関連して説明した部材と同一の部材については
、同一の符号で指示するものとする。
を挙げて、添付図面を参照しながら以下説明する。なお
第4図に関連して説明した部材と同一の部材については
、同一の符号で指示するものとする。
第1図および第2図に示す実施例において、貯留槽12
は、搬送ベルト14および超音波振動子16が配設され
る主貯留槽28と、この主貯留槽28をその下部におい
てそっくり収納可能な副貯留槽3oとから構成される。
は、搬送ベルト14および超音波振動子16が配設され
る主貯留槽28と、この主貯留槽28をその下部におい
てそっくり収納可能な副貯留槽3oとから構成される。
この2重構造に係る主貯留槽28の高さは、副貯留槽3
0の高さよりも充分大きくなるよう寸法設定され、但し
平面における縦寸法および横寸法は、逆に副貯留槽30
の方が主貯留槽28よりも大きくなるよう設定されてい
る。従って副貯留槽30内には、その内壁面と主貯留槽
28との間に、矩形状の洗浄液貯留空間が画成される。
0の高さよりも充分大きくなるよう寸法設定され、但し
平面における縦寸法および横寸法は、逆に副貯留槽30
の方が主貯留槽28よりも大きくなるよう設定されてい
る。従って副貯留槽30内には、その内壁面と主貯留槽
28との間に、矩形状の洗浄液貯留空間が画成される。
主貯留槽28のベルト搬送方向における前後の対向し合
う垂直壁面には、メツシュベルトからなる搬送ベルト1
4の自由な通過を許容する開口部32.34が夫々開設
きれている。そして前方開口部(ペル1〜出口側)32
および後方開口部(ベルト入ば側)34を介して、搬送
ベルト14の被洗浄物搬送面が水平に延在するようにな
っている。この主貯留槽28中における搬送ベルト14
の下方には、適宜数の超音波振動子16が配設されてい
る(上方配置される場合もある)。なおこのベルト14
の配設レベルは、前工程における搬入コンベヤ36およ
び後工程の搬出コンベヤ26の水平レベルに一致させで
ある。そして搬送ベルト14は、副貯留槽30の下方を
ローラ群39に巻掛けられ、図示しない駆動機構により
エンドレスに運行される。
う垂直壁面には、メツシュベルトからなる搬送ベルト1
4の自由な通過を許容する開口部32.34が夫々開設
きれている。そして前方開口部(ペル1〜出口側)32
および後方開口部(ベルト入ば側)34を介して、搬送
ベルト14の被洗浄物搬送面が水平に延在するようにな
っている。この主貯留槽28中における搬送ベルト14
の下方には、適宜数の超音波振動子16が配設されてい
る(上方配置される場合もある)。なおこのベルト14
の配設レベルは、前工程における搬入コンベヤ36およ
び後工程の搬出コンベヤ26の水平レベルに一致させで
ある。そして搬送ベルト14は、副貯留槽30の下方を
ローラ群39に巻掛けられ、図示しない駆動機構により
エンドレスに運行される。
副貯留槽30には適宜の液体圧送ポンプ38が浸漬配置
され、このポンプ38の吐出管40は上方に延在して、
その開口部を主貯留槽28の開口部□に臨ませている。
され、このポンプ38の吐出管40は上方に延在して、
その開口部を主貯留槽28の開口部□に臨ませている。
そして前記ポンプ38を駆動することにより、副貯留槽
30中に貯留された洗浄液10を吸入管42を介して吐
出管40に圧送し、主貯留槽28中に戻すようになって
いる。また主貯留槽28中には、前記搬送ベルト14の
入口側開口部34および出口側開口部32よりも上方で
かつ搬送ベルト14および被洗浄物18よりも上方のレ
ベルまで、洗浄液10が供給貯留される。従って主貯留
槽28中の洗浄液10は、前記・2つの開口部32.3
4′から溢流して、副貯留槽30中に落下貯留されるも
のである。この場合において、入口側開口部34および
出口側開口部32か、ら溢流する洗浄戒め量を、前記ポ
ンプ38により汲み上げられて主貯留槽28中に戻され
る洗浄液の量よりも少なくなるよう設定する二とによっ
て、ポンプ38が*転されている限りは、主貯留槽28
中の洗浄液のレベルは、第2図に示すように搬送ベルト
14′オよび被搬送物18より上方に常に位置すること
になる。しかも洗浄層は両開口部32,34を介して1
.副貯留槽3o中に常時溢流するものである。□ ・ 第3図は本発明に係る装置の別実施−を示すものであっ
て、主貯留槽28中を運行される搬送ベルト14には緩
い傾斜が付きれている。すなわち副貯留槽30は、主貯
留槽28の物品搬送方向における下流側に隣接配瞳され
、緩傾斜を付された搬送ベルト14が、出口側開口部3
2を介して延在している。このため主貯留槽28中の洗
浄液は、この出口側開口部32を介して隣接の副は留槽
30中に溢流する。
30中に貯留された洗浄液10を吸入管42を介して吐
出管40に圧送し、主貯留槽28中に戻すようになって
いる。また主貯留槽28中には、前記搬送ベルト14の
入口側開口部34および出口側開口部32よりも上方で
かつ搬送ベルト14および被洗浄物18よりも上方のレ
ベルまで、洗浄液10が供給貯留される。従って主貯留
槽28中の洗浄液10は、前記・2つの開口部32.3
4′から溢流して、副貯留槽30中に落下貯留されるも
のである。この場合において、入口側開口部34および
出口側開口部32か、ら溢流する洗浄戒め量を、前記ポ
ンプ38により汲み上げられて主貯留槽28中に戻され
る洗浄液の量よりも少なくなるよう設定する二とによっ
て、ポンプ38が*転されている限りは、主貯留槽28
中の洗浄液のレベルは、第2図に示すように搬送ベルト
14′オよび被搬送物18より上方に常に位置すること
になる。しかも洗浄層は両開口部32,34を介して1
.副貯留槽3o中に常時溢流するものである。□ ・ 第3図は本発明に係る装置の別実施−を示すものであっ
て、主貯留槽28中を運行される搬送ベルト14には緩
い傾斜が付きれている。すなわち副貯留槽30は、主貯
留槽28の物品搬送方向における下流側に隣接配瞳され
、緩傾斜を付された搬送ベルト14が、出口側開口部3
2を介して延在している。このため主貯留槽28中の洗
浄液は、この出口側開口部32を介して隣接の副は留槽
30中に溢流する。
実施例の作用
次に、このように構成した本発明に係る装置の実施例に
おけ゛る作用につき説明する。第1図および第2図に示
すように、搬送ベルト14の被洗浄゛物搬送面は水平に
延在し、副貯留槽30の上方でかつ主貯留槽28の内部
に1前後の開口部32.34を介、して臨んでいる。主
貯留槽28に貯留される洗浄液10のレベルは、前述し
た如く、前記開口部32.34および搬送ベルト14並
びにこれに載置される被洗浄物18よりも上方にあり、
このため洗浄液の一部は、前後の開口部32.34から
外方に配置した副貯留槽3oに落下して貯留される。
おけ゛る作用につき説明する。第1図および第2図に示
すように、搬送ベルト14の被洗浄゛物搬送面は水平に
延在し、副貯留槽30の上方でかつ主貯留槽28の内部
に1前後の開口部32.34を介、して臨んでいる。主
貯留槽28に貯留される洗浄液10のレベルは、前述し
た如く、前記開口部32.34および搬送ベルト14並
びにこれに載置される被洗浄物18よりも上方にあり、
このため洗浄液の一部は、前後の開口部32.34から
外方に配置した副貯留槽3oに落下して貯留される。
しかも副貯留槽30中の洗浄液はポンプ38により汲み
上げられて主貯留槽28中に戻され、かつ開口部32,
34から溢流する洗浄液の量はポンプ38、により吐出
される洗浄液の常よりも少なくなるよう設定しであるか
ら、主貯留槽28中の洗浄液10の液位は、常にオーバ
ーフロー状態に保持される。
上げられて主貯留槽28中に戻され、かつ開口部32,
34から溢流する洗浄液の量はポンプ38、により吐出
される洗浄液の常よりも少なくなるよう設定しであるか
ら、主貯留槽28中の洗浄液10の液位は、常にオーバ
ーフロー状態に保持される。
この状態で被洗浄物18が搬入コンベヤ36から搬送ベ
ルト14上に移載され、水平状態を保持したまま搬送さ
れると、この被洗浄物18は入口側の開口部34を介し
て主貯留槽28中のオーバーフロー状態にある洗浄液1
0中に入り、その搬送途次において超音波振動子16に
より超音波洗浄される。このとき搬送ベル1−14は水
平になっているため、被洗浄物18はベルト14上に安
定的に位置しており、その整列状態が乱されることはな
い。そして洗浄を終えた被洗浄物18は、出口側の開口
部32を介して主貯留槽28から外方に到来し、搬出コ
ンベヤ26に移載される。
ルト14上に移載され、水平状態を保持したまま搬送さ
れると、この被洗浄物18は入口側の開口部34を介し
て主貯留槽28中のオーバーフロー状態にある洗浄液1
0中に入り、その搬送途次において超音波振動子16に
より超音波洗浄される。このとき搬送ベル1−14は水
平になっているため、被洗浄物18はベルト14上に安
定的に位置しており、その整列状態が乱されることはな
い。そして洗浄を終えた被洗浄物18は、出口側の開口
部32を介して主貯留槽28から外方に到来し、搬出コ
ンベヤ26に移載される。
第3図に示す実施例に係る装置では、搬送ベルト14は
水平配置にはなっていないが、緩い傾斜となっているの
で、主貯留槽28中で超音波洗浄を施しても、被洗浄物
18がベルト14上の整列位置からずれることがない。
水平配置にはなっていないが、緩い傾斜となっているの
で、主貯留槽28中で超音波洗浄を施しても、被洗浄物
18がベルト14上の整列位置からずれることがない。
このとき主貯留槽28中の洗浄液10は、出口側開口部
32から溢流して副貯留槽30中に落下し、この副貯留
槽30に貯留された洗浄液がポンプ38により汲み上げ
られて、再び主貯留槽28に供給される点は同じである
。
32から溢流して副貯留槽30中に落下し、この副貯留
槽30に貯留された洗浄液がポンプ38により汲み上げ
られて、再び主貯留槽28に供給される点は同じである
。
発明の詳細
な説明した如く本発明に係る超音波洗浄装置によれば、
貯留槽中を運行する搬送ベルトを水平状態または緩い傾
斜状態での運行姿勢となし得るので、超音波洗浄時に被
洗浄物がベルト上の整列位置からずれることがない。こ
のため例えばメカニカルハンド等による被洗浄物の自動
取出しゃ、定位置への自動供給が円滑になされ、しかも
監視者歩高価、なパターン認識装置等、を必要としない
。
貯留槽中を運行する搬送ベルトを水平状態または緩い傾
斜状態での運行姿勢となし得るので、超音波洗浄時に被
洗浄物がベルト上の整列位置からずれることがない。こ
のため例えばメカニカルハンド等による被洗浄物の自動
取出しゃ、定位置への自動供給が円滑になされ、しかも
監視者歩高価、なパターン認識装置等、を必要としない
。
また搬送ベルトに急激な角度を与えていないので、ベル
ト駆動、系に過負荷が加わる二とがなく、故障の原因を
減少させることができる。
ト駆動、系に過負荷が加わる二とがなく、故障の原因を
減少させることができる。
図面4≠本発明に係る超音波洗浄装置の好適実施例を示
すものであって、第1図は実施例装置の一部切欠斜視図
、第2図は第1図に示す装置の概略縦断面図、第3図は
本発明装置の別実施例を示す概略縦断面図、第4図は従
来技術に係る一例とし。 ての超音波洗浄装置の概略構成を示す縦断面図である。 12・・・貯留槽 14・・・搬送ベルト1
6・・・超音波振動子 18・・・被洗浄物28・
・・主貯留槽 3.0・・・副貯留槽32・・
・出口側開口部 34・・・入口側開口部38・・
・ポンプ
すものであって、第1図は実施例装置の一部切欠斜視図
、第2図は第1図に示す装置の概略縦断面図、第3図は
本発明装置の別実施例を示す概略縦断面図、第4図は従
来技術に係る一例とし。 ての超音波洗浄装置の概略構成を示す縦断面図である。 12・・・貯留槽 14・・・搬送ベルト1
6・・・超音波振動子 18・・・被洗浄物28・
・・主貯留槽 3.0・・・副貯留槽32・・
・出口側開口部 34・・・入口側開口部38・・
・ポンプ
Claims (4)
- (1)洗浄液の貯留槽と、この貯留槽中に配設され洗浄
液に浸漬した状態で所定方向に運行される被洗浄物搬送
ベルトと、前記貯留槽中にあって前記搬送ベルトに近接
して配設した超音波振動子とからなる超音波洗浄装置に
おいて、 前記貯留槽を主貯留槽と副貯留槽とから構成し、この主
貯留槽中に前記搬送ベルトを配設すると共に、主貯留槽
に位置する搬送ベルトの少なくとも出口側に開口部を設
けて、この開口部から洗浄液を前記副貯留槽中に溢流さ
せ、 この副貯留槽中に溢流して貯留された洗浄液を主貯留槽
に汲み上げ供給する手段を設ける よう構成したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - (2)貯留槽は主貯留槽を副貯留槽中に配設した二重構
造として構成され、 当該主貯留槽に更に搬送ベルトの入口側となる開口部が
開設されて、この入口側開口部および前記出口側開口部
を介して搬送ベルトが水平に配設され、 前記入口側の開口部からも洗浄液を副貯留槽中に溢流さ
せる ようになっている特許請求の範囲第1項記載の超音波洗
浄装置。 - (3)貯留槽は主貯留槽とこの主貯留槽の下流側に隣接
配置した副貯留槽とから構成され、 主貯留槽中に配設した搬送ベルトには前記出口側の開口
部に向けて緩く下降する傾斜が付されると共に、当該搬
送ベルトはこの出口側開口部を介して外方に延在する ようになっている特許請求の範囲第1項記載の超音波洗
浄装置。 - (4)前記開口部を介して主貯留槽から副貯留槽中に溢
流する洗浄液の量は、副貯留槽から主貯留槽に汲み上げ
供給される洗浄液の量よりも少なくなるよう設定される
特許請求の範囲第1項〜第3項の何れかに記載の超音波
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2268286A JPS62180785A (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2268286A JPS62180785A (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | 超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180785A true JPS62180785A (ja) | 1987-08-08 |
Family
ID=12089630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2268286A Pending JPS62180785A (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62180785A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04176379A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Kyushu Sumitoku Denshi Kk | 連続超音波洗浄装置 |
| JPH05220459A (ja) * | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Kyushu Sumitoku Denshi Kk | 連続超音波洗浄装置 |
| JPH05293451A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Kyushu Sumitoku Denshi Kk | 連続超音波洗浄装置 |
| JP2015123435A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 日立金属株式会社 | 洗浄装置およびこの装置を用いた被洗浄物の洗浄方法 |
-
1986
- 1986-02-03 JP JP2268286A patent/JPS62180785A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04176379A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Kyushu Sumitoku Denshi Kk | 連続超音波洗浄装置 |
| JPH05220459A (ja) * | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Kyushu Sumitoku Denshi Kk | 連続超音波洗浄装置 |
| JPH05293451A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Kyushu Sumitoku Denshi Kk | 連続超音波洗浄装置 |
| JP2015123435A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 日立金属株式会社 | 洗浄装置およびこの装置を用いた被洗浄物の洗浄方法 |
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