JPS621822A - 熱安定性、超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法 - Google Patents

熱安定性、超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法

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JPS621822A
JPS621822A JP4539686A JP4539686A JPS621822A JP S621822 A JPS621822 A JP S621822A JP 4539686 A JP4539686 A JP 4539686A JP 4539686 A JP4539686 A JP 4539686A JP S621822 A JPS621822 A JP S621822A
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0254Physical treatment to alter the texture of the surface, e.g. scratching or polishing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 一方向性珪素鋼板の電気・磁気的特性の改善、なかでも
、鉄損の低減に係わる極限的な要請を満たそうとする近
年来の目覚ましい開発努力は、逐次その実を挙げつつあ
るが、その実施に伴う重大な弊害として、一方向性珪素
鋼板の使用に当たっての加工、組立てを経たのちいわゆ
るひ1み取り焼鈍がほどこされた場合に、特性劣化の随
伴を不可避に生じて、使途についての制限を受ける不利
が指摘される。
この明細書では、ひずみ取り焼鈍のような高温の熱雁歴
を経ると否とに拘わらず、上記要請を有利に充足し得る
新たな方途を招くことについての開発研究の成果に関連
して以下に述べる。
さて一方向性珪素鋼板は、よく知られているとおり製品
の2次再結晶粒を(110)  〔001) 、すなわ
ちゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変圧
器その他の電気機器の鉄心として使用され電気・磁気的
特性として製品の磁束密度(B r o値で代表される
)が高く、鉄損(Nu/S。値で代表される)のとくに
低いことが要求される。
この一方向性珪素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て製
造されるが、今までにおびただしい発明改善が加えられ
、今日では板厚0.30mmの製品の磁気特性がBto
l、90T以上、W + 7ys o 1.05W/ 
kg以下、また板厚0.23111!I+の製品の磁気
特性がBtol、89T以上、VB−ry5aO,90
11!/kg以下の超低鉄損一方向性珪素鋼板が製造さ
れるようになって来ている。
特に最近では省エネの見地から電力損失の低減を特徴と
する請が著しく強まり、欧米では損失の少ない変圧器を
作る場合に鉄損の減少分を金額に換算して変圧器価格に
上積みする「ロス・エバリユエーション」 (鉄損評価
)制度が普及している。
(従来の技術) このような状況下において最近、一方向性珪素鋼板の仕
上焼鈍後の鋼板表面に圧延方向にほぼ直角方向でのレー
ザー照射により局部微少ひずみを導入して磁区を細分化
し、もって鉄損を低下させることが提案された(特公昭
57−2252号、特公昭57−53419号、特公昭
58−26405号及び特公昭58−26406号公報
参照)。
この磁区細分化技術はひずみ取り焼鈍を施さない、積鉄
心向はトランス材料として効果的であるが、ひずみ取り
焼鈍を施す、主として巻鉄心トランス材料にあっては、
レーザー照射によって折角に導入された局部微少ひずみ
が焼鈍処理により開放されて磁区幅が広くなるため、レ
ーザー照射効果が失われるという欠点がある。
一方これより先に特公昭52−24499号公報におい
ては、一方向性珪素鋼板の仕上げ焼鈍後の鋼板表面を鏡
面仕上げするか又はその鏡面仕上げ面上に金属薄めっき
やさらにその上に絶縁被膜を塗布焼付けすることによる
、8低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法が提案されてい
る。
しかしながらこの鏡面仕上げによる鉄損向上手法は、工
程的に採用するには、著しいコストアップになる割りに
鉄損低減への寄与が充分でない上、とくに鏡面仕上後に
不可欠な絶縁被膜を塗布焼付し、さらに600℃以上の
高温で長時間の歪み取り焼鈍を経る間に鋼板との密着性
に問題があるため、現在の製造工程において採用される
に至ってはいない。
また特公昭56−4150号公報においても鋼板表面を
鏡面仕上げした後、酸化物系セラミックス薄膜を蒸着す
る方法が提案されている。しかしながらこの方法も60
0℃以上の高温焼鈍を施すと鋼板とセラミックス層とが
はく離するため、実際の製造工程では採用できない。
(発明が解決しようとする問題点) 発明者らは上記した鏡面仕上による鉄損向上の実効をよ
り有利に引き出すこと、とくに今日の省エネ材料開発の
観点では上記のごときコストアップの不利を凌駕する特
性、とくに高温処理でも特性劣化を伴うことなくして絶
縁層の密着性、耐久性の問題を克服することこそが肝要
と考え、この基本認識に立脚して、鏡面仕上後の鋼板処
理方法に根本的な再検討を加えてこの発明に到達した。
ここに最終仕上焼鈍法の一方向性珪素鋼板には、先行行
程の脱炭・1次再結晶焼鈍を経た時点で通常MgOを主
成分とする焼鈍分離剤を塗布し、通常最終仕上焼鈍の初
期に鋼板表面で脱炭・1次再結晶焼鈍の際に生じた主と
してSi酸化物とMgOの間の反応に由来した、いわゆ
るフォルステライト質下地被膜が形成されているところ
、このフォルステライト質被膜は、上記鏡面仕上による
鉄損向上を目指すとき、酸洗での除去がかなりに厄介で
あるために板面鉄素地面を荒らす結果となって、鏡面仕
上げ操作を困難にする不利の著しいことが明らかになっ
たのである。
(問題点を解決するための手段) 上記検討の結果フォルステライト質被膜の簡便な除去に
ついて検討を進める間に、むしろ、その生成を抑制する
方途がより有利に適合することに着目し実験を重ね、鏡
面仕上を前提とする、熱安定性、超低鉄損一方向性珪素
鋼板の有利な製造方法を、以下の手順にて確立したもの
である。
含珪素鋼スラブを熱間圧延して得られた熱延板に1回又
は中間焼鈍を挟む2回の冷間圧延を施して最終板厚にし
てから、脱炭・1次再結晶焼鈍を施したのち、引続く2
次再結晶および純化焼鈍を含む最終仕上げ焼鈍の際に主
としてSi酸化物よりなる鋼板表層との間におけるフォ
ルステライト生成反応を抑制する成分組成になる焼鈍分
離剤を適用すること、 仕上焼鈍済みの一方向性けい素鋼板表面上の非金属物質
層を除去した後、研磨処理により中心線平均粗さ0.4
μm以下の鏡面状態に仕上げること、この鏡面仕上表面
上に、CVD法、イオンプレーティング法またはイオン
インプランテーション法により、Ti、Nb、Si、V
、Cr、Al、B、Ni、Co、Mo、 W、 Zr。
Hf、Mn、及びTaの窒化物及び/又は炭化物並びに
AI。
Si、Zn、Ti、 Zr、 Sn、 Fe、 Ni、
 Cu、 W及びMgの酸化物のうちから選ばれる少な
くとも1種からなる、膜厚0.005〜5μmの極薄の
張力被膜を被着させること の結合になることを特徴とする、熱安定性、超低鉄損一
方向性珪素鋼板の製造方法(第1発明)。
含珪素鋼スラブを熱間圧延して得られた熱延板に1回又
は中間焼鈍を挟む2回の冷間圧延を施して最終板厚にし
てから、脱炭・1次再結晶焼鈍を施したのち、引続く2
次再結晶および純化焼鈍を含む最終仕上げ焼鈍の際に主
としてS1酸化物よりなる鋼板表層との間における、フ
ォルステライト生成反応を抑制する成分組成になる焼鈍
分離剤を適用すること、 仕上焼鈍済みの方向性けい素鋼板表面上の非金属物質層
を除去した後、研磨処理により中心線平均粗さ0.4μ
m以下の鏡面状態に仕上げること、この鏡面仕上表面上
に、CVD法、イオンプレーティング法またはイオンイ
ンプランテーション法により、Ti、 Nb、 Si、
 V、 Cr、 Al、 B、 Ni、 Co、 Mo
、 W、 Zr、 Hf。
Mn及びTaの窒化物及び/又は炭化物並びにAl、S
i。
Zn、 Ti、 Zr、 Sn、 Fe、 及びMgの
酸化物のうちから選ばれる少なくとも1種からなる、膜
厚0.005〜5μmの極薄の張力被膜を被着させるこ
と、およびこの張力被膜上に、絶縁性塗布焼付層を重ね
て被着すること、 の結合になることを特徴とする、高絶縁性、熱安定性超
低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法。(第2発明)。
ここにフォルステライト生成反応を抑制すべき焼鈍分離
剤の成分組成については、Al2O3、2rO7゜Ti
O□等のうちから選んだ少なくとも1種を、少なくとも
50%、MgOに配合することがのぞましく、この場合
純化焼鈍の際にふけるインヒビターの焼鈍分離剤への移
行吸収の機能が保持される限りにおいて、MgOなども
また適合する。
上記各発明の成功が導かれた具体的な実験に従って説明
を進める。
C0,048%重量%(以下単に%で示す)、Si3.
44%、MnQ、060%、Se o、 022%、S
b O,025%及びM。
O,035%を含有する珪素鋼連鋳スラブを、1330
℃で4時間加熱後熱間圧延して2.Omm厚の熱延板と
した。
その後900℃で3分間の均−化焼鈍後、950℃で3
分間の中間焼鈍をはさむ2回の冷間圧延を施して0.2
3+nm厚の最終冷延板とした。
その後820℃の湿水素雰囲気中で脱炭・−次回結晶焼
鈍を施した後、鋼板表面に ■MgOを主成分とする焼鈍分離剤を塗布、■A120
3(70%)とMgO(30%)とから成る焼鈍分離剤
を塗布した後、ついで850℃で50時間の2次再結晶
焼鈍と、1200℃で飽水素中5時間の純化焼鈍とを施
した。
その後■の焼鈍分離剤ではフォルステライト被膜が形成
されているため50〜100%H2SO4液中酸洗処理
によりフォルステライ被膜を除去した後、化学研磨及び
電解研磨を行って鏡面に仕上げた。
一方■の焼鈍分離剤ではフォルステライト被膜が形成さ
れていないため10%H2SO,液中で軽酸洗処理後化
学研磨及び電解研磨に供することができた。
その後イオンプレーティング装置を使用して膜厚0゜5
μmでTiNのイオンプレーティングを行った。
上記のイオンプレーティングについで、りん酸塩とコロ
イダルシリカとを主成分とするコーテイング液でコーテ
ィング処理(絶縁性塗布焼付層の形成)を行った。
このときの製品の磁気特性及び密着性の実験結果をまと
めて表1に示す。
表1から明らかなように、■の通常のM g O塗布に
より最終仕上焼鈍を行ってフォルステライト被膜をいっ
たん形成し、さらに強酸洗処理によりフォルステライト
被膜を除去をした後化学研磨及び電解研磨したときの製
品板の磁気特性は、■の焼鈍分離剤を用いて同様の処理
したものにくらべて鉄損が約0.04W/kgも劣って
いる。
フォルステライト被膜を形成させない■の場合、鋼板の
素子面が軽酸洗のため肌荒れが少なく、同一の研磨条件
の下で、■の場合よりも鉄損の低下が顕著であると考え
られる。
すなわち最終仕上焼鈍中におけるフォルステライトの生
成を抑制することによって、それ以後の超鉄損化の処理
行程が著しく容易になると同時に磁気特性の大幅な向上
が期待できるわけである。
(作 用) 上記した磁気特性の向上は仕上焼鈍後に鋼板表面の鏡面
化がなされた状況下で密着性を高めた極薄の張力被膜を
生成させることによって従来比類のない超低鉄損が実現
される。
ここに塑性的な微少ひずみの働きを利用するわけではな
いので、熱安定性に何らの問題なく、ひずみ取り焼鈍の
如き高温の熱雁歴の下に電気・磁気的特性に影響される
ところがない。
仕上表面の中心線平均粗さは、Ra≦0.4 μmの鏡
面状態とすることが必要で、Ra>0.4μmのとき、
表面が粗いため、充分な鉄損低減が期待できない。
次に張力絶縁被膜の膜厚は、0.005〜5μmの範囲
で適合し、0.005μmに満たないときは、必要な張
力付与に寄与し得ない一方、5μmをこえると、コスト
アップになると共に占積率および密着性において不利が
生じる。
この張力被膜の混合相を介した、鏡面状態の仕上表面上
における強固な被着は、cvD、イオンプレーティング
、イオンインプランテーションの何れによっても有利に
もたらされる。
次に一方向性珪素鋼板の一般的な製造工程も含めてより
詳しく説明する。
出発素材は従来公知の一方向性珪素鋼素材成分、例えば ■C:0.旧〜0.060%、Si:2.50〜4.5
%、Mn:0.04〜0.2%、Mo+0.003〜0
.1%、sb:o、 005〜0.2%、SあるいはS
eの1種あるいは2種合計で、0.005〜0.05%
を含有する組成 ■C:0.01〜0.08%、Si :2.0〜4.0
%、Sol Al:0.005〜0.06%、 S:0
.005〜0.05%、N:0.001〜0.01%、
Sn:0.01〜0.5%、Cu:0.01〜0.3%
、Mn:0.01〜0.2%を含有する組成■C:0.
01〜0.06%、Si:2.0〜4.0%、S:0.
005〜0、05% 、Boo、 0003〜0.00
40%、N:0.001〜0.01%、Mn:0.01
〜0.2%を含有する組成の如きにおいて適用可能であ
る。
次に熱延板は800〜1100℃の均一化焼鈍を経て1
回の冷間圧延で最終板厚とする1回冷延法か又は、通常
850℃から1050tの中間焼鈍をはさんでさらに冷
延する2回冷延法にて、後者の場合最初の圧下率は50
%から80%程度、最終の圧下率は50%から85%程
度で0.15mmから0.35mm厚の最終冷延板厚と
する。
最終冷延を終わり製品板厚に仕上げた鋼板は・表面脱脂
後750℃から850℃の湿水素中で脱炭・1次再結晶
焼鈍処理を施す。
その後鋼板表面に、すでに述べたところに従い焼鈍分離
剤を塗布する。
その後2次再結晶焼鈍を行うが、この工程は(100)
<001>方位の2次再結晶粒を充分発達させるために
施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに1000℃
以上に昇温し、その温度に保持することによって行われ
る。
この場合(100)<001>方位に、高度に揃った2
次再結晶粒組織を発達させるためには820℃から90
0℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、そのほか例
えば0.5〜b 熱焼鈍でもよい。
2次再結晶焼鈍後の純化焼鈍は、水氷素中で1100℃
以上で1〜20時間焼鈍を行って鋼板の純化を達成する
ことかた必要である。
次にこの純化焼鈍後表面上の非金属物質を公知の酸洗な
どの化学除去法や切削、研削などの機械的除去法または
それらの組み合せにより除去する。
この除去処理の後、化学研磨、電解研磨などの化学研磨
や、バフ研摩等の機械的研磨あるいはそれらの組合せな
ど従来の手法により鋼板表面を鏡面状態つまり中心線平
均粗さ0.4μm以下に容易に仕上げることができる。
その後に、CVD、イオンプレーティング若しくはイオ
ンインプランテーションにより、鏡面状態の鋼板表面に
0.005〜5μmの極薄の張力被膜を形成することが
必要である。。
コノトキの、使用するCVD、イオンプレーティングあ
るいはイオンインプランテーションに使用する装置は従
来公知の方法を用いて良い。
これらの方法による極薄の張力被膜としては、例えばT
iN、 TiC,VN、 VC,NbN、 NbC,S
i、N、、 SiC。
(:r2N、 Cr3C,、AIN、 A14C,BN
、 NiC,CoC,CoN。
Mo2C,WC,iす2N、 ZrN、 ZrC,Hf
N、 HfC,Mn2C,TaC。
TaN、 Al2O3,Sin。、 ZnO,Tin。
、ZrO2,5n02゜Fe2O3,Nip、 Cub
、 MgOなどが適当である。
さらに、CVD、イオンプレーティングあるいはイオン
インプランテーションにより極薄の張力被膜を形成した
あと、これに重ねて、りん酸塩とコロイダルシリカとを
主成分とする絶縁被膜の塗布焼付を行うことが、100
万KVAにも上る大容量トランスの使途において当然に
必要であり、この絶縁性塗布焼付層の形成の如きは、従
来公知の手法を用いて良い。
上記のように処理された珪素鋼板は平たん化熱処理を行
うことができる。
(実施例) 実施例1 (::Q、 046%、Si:3.42%、Mn:0.
064%、Mo:0.025%、Se:0.021%、
Sb:0.025%を含有する熱延板を、900℃で3
分間の均一化焼鈍後、950℃の中間焼鈍をはさんで2
回の冷間圧延を行って0.23+nm厚の最終冷延板と
した。
その後820℃の湿水素中で脱炭焼鈍後鋼板表面にA1
203(75%)、 MgO(25%)から成る焼鈍分
離剤を塗布した後850℃で50時間の2次再結晶焼鈍
し、1200℃で8時間乾水素中で純化焼鈍を行なった
その後軽酸洗し、ついで3%HFと820□液中で化学
研磨してRag、 05μmの中心線平均粗さに鏡面仕
上げした。
その後10KVのイオン化電圧で3分間イオンプレーテ
ィングし膜厚0.5μmのTiN張力被膜を形成させた
次にりん酸塩とコロイダルシリカとを主成分とする絶縁
性塗布焼付層を形成し、その後80゛0℃で2時間のひ
ずみ取り焼鈍を行った。
そのときの製品の磁気特性及び密着性は次のとおりであ
った。
磁気特性 ILo=1.90T、Wuzso=0.68
W/ kg密着性  曲げ直径30+n+nで180°
曲げてもはく離せず密着性は良好であった。
実施例2 coo、 061%、Si:3.38%、Mn:0.0
80%、A1:0.025%、S:0.029%、N:
0.0068%を含有する熱延板を、1150℃で3分
間の均−化焼鈍後急冷処理を行い、その後300℃の温
間圧延を施して0.23mm厚の最終冷延板とした。
その後850℃の湿水素中で脱炭焼鈍後、表面にAl2
O3(40%)とZrO2(30%)、Mg0(30%
)から成る焼鈍分離剤を塗布した後850℃から115
0℃まで8℃/hrで昇温しで2次再結晶させた後、1
200℃で8時間乾水素中で純化焼鈍を行った。
その後軽酸洗し、ついで3%HFと820□液中で化学
研磨してRag、 3μmの中心線平均粗さに鏡面仕上
げした。
その後イオンインプランテーション法によりイオン加速
電圧60KVで250分間窒素イオンを注入して膜厚1
.2μmにてSi3N、よりなる極薄の張力被膜を形成
させ、次にりん酸塩とコロイダルシリカとを主成分とす
る絶縁性塗布焼付層を形成させた後、800℃で2時間
のひずみ取り焼鈍を行った。
そのときの製品の磁気特性及び密着性は次のとおりであ
った。
磁気特性 B、o=1,947.W+7.=so=0.
65111/ kg密着性  曲げ直径30mmで18
0°曲げてもはく離せず密着性は良好であった。
実施例3 C:0.043%、Si:3.46%、Mn:0.06
0%、Mo:0.026%、Se:0.023%、Sb
:0.025%を含有する熱延板を、900℃で3分間
の均一化焼鈍後、950℃の中間焼鈍をはさんで2回の
冷間圧延を行って0.20mj厚の最終冷延板とした。
その後800℃の湿水素中で脱炭焼鈍後、鋼板表面にA
l2O3(70%)とMgO(30%)から成る焼鈍分
離剤を塗布した後850℃で50時間の2次再結晶焼鈍
し、1180℃で100時間乾水素中純化焼鈍を行った
その後軽酸洗し、ついで3%HF、、!:H20□液中
で化学研磨してRag、 05μmの中心線平均粗さの
鏡面に仕上げた。
その後CVD法により膜厚0.4μmにてTiCの極薄
の張力被膜を形成させた。
そのときの製品の磁気特性及び密着性は次のとおりであ
った。
磁気特性 B+o=1.9LT、Wu7so=0.69
W/ kg密着性  曲げ直径30mmで1&0°曲げ
てもはく離せず密着性は良好であった。
実施例4 c:o、 044%、Si:3.36%、Mn:0.0
66%、Mo:0.027%、Se:0.021%、s
b:(1,025%を含有する熱延板(2,2mff1
厚)を900℃で3分間の均一化焼鈍後、950℃の中
間焼鈍をはさんで2回の冷間圧延を行って0.23mm
厚の最終冷延板とした。
その後820℃の湿水素中で脱炭焼鈍後、鋼板表面にA
120z (75%)とMgO(20%)、 Zr0z
 (5%)を主成分とする焼鈍分離剤を塗布した後85
0℃で50時間の2次再結晶焼鈍及び1200℃で8時
間乾水素中で純化焼鈍を行った。
その後軽酸洗により鋼板表面上の酸化被膜を除去し、次
いで電解研磨により鏡面に仕上げた。その後CVD (
表4中無印)、イオンプレーティング(表4中の○印)
及びイオンインプランテーション(表4中のΔ印)によ
り種々の窒化物、炭化物及び酸化物の薄膜を形成した(
1.0〜1.5μm厚)。
その後これらの処理をした試料は表面にりん酸塩とコロ
イダルシリカを主成分とする絶縁被膜処理した後、80
0℃で3時間の歪み取り焼鈍を行った。そのときの製品
の磁気特性を表2にまとめて示す。
実施例5 coo、 039%、Si:3.26%、Mn:0.0
62%、B:0.029%、S :0.032%、Cu
:0.12%を含有するけい素鋼スラブを1320℃で
6時間加熱後熱延して2.2mm厚の熱延板とした。そ
の後950℃で2分間の均一化焼鈍を施した後、950
℃の中間焼鈍をはさんで2回の冷間圧延を行って0.2
3+n+n厚の最終冷延板とした。
その後840℃の湿水素中で脱炭を兼ねた1次再結晶焼
鈍後、鋼板表面にAl2O,(60%)とZrO□(3
%)。
Mg0(37%)を主成分とする焼鈍分離剤を塗布した
後、850℃から1050℃まで5℃/hrで昇温しで
2次再結晶させた後、1200℃で10時間乾水素中で
純化焼鈍を行った。
その後酸洗により鋼板表面上の酸化被膜を除去し、つい
で電解研磨により鏡面状態に仕上げた。
その後イオンプレーティングによりTiN(3,5μm
厚)の張力被膜を形成させた後、りん酸塩とコロイダル
シリカとを主成分とする絶縁性塗布焼付層を形成させた
後、800℃で3時間のひずみ取り焼鈍を行った。
そのときの製品の磁気特性及び密着性は次のとおりであ
った。
磁気特性 B 1o=1.93T、 II + t7s
 o=0゜691’i/ kg密着性  曲げ直径30
+nmで180°曲げてもはく離せず密着性は良好であ
った。
(発明の効果) 第1発明により、歪み取り焼鈍が施される使途でも有利
に適合する超極低鉄損の一方向性けい素鋼板の適切な製
造方法が確立され、また第2発明により、絶縁性の増強
がさらに加わる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、含珪素鋼スラブを熱間圧延して得られた熱延板に1
    回又は中間焼鈍を挟む2回の冷間圧延を施して最終板厚
    にしてから、脱炭・1次再結晶焼鈍を施したのち引続く
    2次再結晶および純化焼鈍を含む最終仕上げ焼鈍の際に
    主としてSiおよびFe酸化物よりなる鋼板表層との間
    における、フォルステライト生成反応を抑制する成分組
    成になる焼鈍分離剤を適用すすこと、 仕上焼鈍済みの方向性けい素鋼板にその鋼板表面上の非
    金属層を除去した後研磨処理により中心線平均粗さ0.
    4μm以下の鏡面状態に仕上げること、 この鏡面仕上表面上に、CVD法、イオンプレーティン
    グ法またはイオンインプランテーション法により、Ti
    、Nb、Si、V、Cr、Al、B、Ni、Co、Mo
    、W、Zr、Hf、Mn及びTaの窒化物及び/又は炭
    化物並びにAl、Si、Zn、Ti、Zr、Sn、Fe
    、Ni、Cu、W及びMgの酸化物のうちから選ばれる
    少なくとも1種からなる、膜厚0.005〜5μmの極
    薄の張力被膜を被着させること の結合になることを特徴とする、熱安定性、超低鉄損一
    方向性珪素鋼板の製造方法。 2、含珪素鋼スラブを熱間圧延して得られた熱延板に1
    回又は中間焼鈍を挟む2回の冷間圧延を施して最終板厚
    にしてから、脱炭・1次再結晶焼鈍を施したのち、引続
    く2次再結晶および純化焼鈍を含む最終仕上げ焼鈍の際
    に主としてSiおよびFe酸化物よりなる鋼板表層との
    間における、フォルステライト生成反応を抑制する成分
    組成になる焼鈍分離剤を適用すること、 仕上焼鈍済みの方向性珪素鋼板にその鋼板表面上の非金
    属物質層を除去した後研磨処理により中心線平均粗さ0
    .4μm以下の鏡面状態に仕上げること、 この鏡面仕上表面上に、CVD法、イオンプレーティン
    グ法またはイオンインプランテーション法により、Ti
    、Nb、Si、V、Cr、Al、B、Ni、Co、Mo
    、W、Zr、Hf、Mn及びTaの窒化物及び/又は炭
    化物並びにAl、Si、Zn、Ti、Zr、Sn、Fe
    、Ni、Cu、W及びMgの酸化物のうちから選ばれる
    少なくとも1種からなる、膜厚0.005〜5μmの極
    薄の張力被膜を被着させること、および この張力被膜上に、絶縁性塗布焼付層を重ねて被着する
    こと、 の結合になることを特徴とする、高絶縁性、熱安定性超
    低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法。
JP4539686A 1985-03-05 1986-03-04 熱安定性、超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法 Granted JPS621822A (ja)

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