JPS62184192U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62184192U JPS62184192U JP7256686U JP7256686U JPS62184192U JP S62184192 U JPS62184192 U JP S62184192U JP 7256686 U JP7256686 U JP 7256686U JP 7256686 U JP7256686 U JP 7256686U JP S62184192 U JPS62184192 U JP S62184192U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor blades
- rotating body
- ceramics
- turbo
- bearings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一
実施例を示す縦断側面図、第２図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図である。 １……セラミツクス製回転体、１ａ……セラミ
ツクス製駆動軸、１ｃ……セラミツクス製動翼。
実施例を示す縦断側面図、第２図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図である。 １……セラミツクス製回転体、１ａ……セラミ
ツクス製駆動軸、１ｃ……セラミツクス製動翼。
Claims (1)
- 多段の動翼を有する回転体をベアリングにより
回転可能に支持したターボ分子ポンプにおいて、
前記回転体及び前記各動翼をセラミツクスにより
形成するとともに、同各動翼を同回転体に埋め込
んで互いを接合したことを特徴とするターボ分子
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7256686U JPS62184192U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7256686U JPS62184192U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184192U true JPS62184192U (ja) | 1987-11-21 |
Family
ID=30916125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7256686U Pending JPS62184192U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184192U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57143196A (en) * | 1981-02-26 | 1982-09-04 | Asahi Glass Co Ltd | Fan for high temperature use |
| JPS60234777A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-21 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 |
| JPS6172896A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-14 | Japan Atom Energy Res Inst | 高速回転ポンプ |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP7256686U patent/JPS62184192U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57143196A (en) * | 1981-02-26 | 1982-09-04 | Asahi Glass Co Ltd | Fan for high temperature use |
| JPS60234777A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-21 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプのロ−タの製作方法 |
| JPS6172896A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-14 | Japan Atom Energy Res Inst | 高速回転ポンプ |