JPS62184340A - ゴニオメ−タ - Google Patents
ゴニオメ−タInfo
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- JPS62184340A JPS62184340A JP61264914A JP26491486A JPS62184340A JP S62184340 A JPS62184340 A JP S62184340A JP 61264914 A JP61264914 A JP 61264914A JP 26491486 A JP26491486 A JP 26491486A JP S62184340 A JPS62184340 A JP S62184340A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- screw
- goniometer
- present
- cantilever
- Prior art date
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- Pending
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C1/00—Measuring angles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20016—Goniometers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Immunology (AREA)
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- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はサンプルをX線ビームに対し変位が生ずること
なく 0.001°以上の精度で指向させると共に、こ
の指向を調整可能で且つ安定させ得る新規及び独特なゴ
ニオメータヘッドに関するものである。
なく 0.001°以上の精度で指向させると共に、こ
の指向を調整可能で且つ安定させ得る新規及び独特なゴ
ニオメータヘッドに関するものである。
例えばX線回折計において水晶等のサンプルを位置決め
するよう特に設計された種々の市販のゴニオメータが永
年実用されてきた。かかる従来のゴニオメータは典型的
な位置決めに対して0.01゜の十分な精度を持ってい
た。
するよう特に設計された種々の市販のゴニオメータが永
年実用されてきた。かかる従来のゴニオメータは典型的
な位置決めに対して0.01゜の十分な精度を持ってい
た。
しかし、今日の新型の2軸式X線回折計においては、令
名の10倍の位置決め精度が要求される。
名の10倍の位置決め精度が要求される。
典型的には、この新型の2軸式X線回折計の場合、0.
001°の位置決め精度が必要であり、従来の市販され
ているゴニオメータではサンプルの位置決めに当りこの
要求を満たし得ないことを確かめた。
001°の位置決め精度が必要であり、従来の市販され
ているゴニオメータではサンプルの位置決めに当りこの
要求を満たし得ないことを確かめた。
又、セットを所定位置に鎖錠する時、ゴニオメータの角
度位置が通常は十分に安定しない。事実、従来の成るも
のにおいては角度調整時サンプルがどうしても変位する
ことがあった。これは、サンプルが小さい場合X線ビー
ムから外れるため、不都合となる。更に、典型的なゴニ
オメータはベアリングやリニヤスライドの如きスライド
メンバと関連して用いるが、この場合容認できないクリ
アランスが発生すると共にプリロードを与えることが困
難となる。かかる機構では長時間の良好な安定を望み得
ない。
度位置が通常は十分に安定しない。事実、従来の成るも
のにおいては角度調整時サンプルがどうしても変位する
ことがあった。これは、サンプルが小さい場合X線ビー
ムから外れるため、不都合となる。更に、典型的なゴニ
オメータはベアリングやリニヤスライドの如きスライド
メンバと関連して用いるが、この場合容認できないクリ
アランスが発生すると共にプリロードを与えることが困
難となる。かかる機構では長時間の良好な安定を望み得
ない。
本発明はこれらの困難を全て解消した新規且つ独特なゴ
ニオメークを提供しようとするものである。
ニオメークを提供しようとするものである。
本発明は、片持ロッドを角度変化させるようになすこと
で、全てのクリアランスやベアリング構造等を除去する
ものである。又片持ロッドの正確な位置に力を加えるこ
とにより、サンプルの変位を零にし得るようになす。
で、全てのクリアランスやベアリング構造等を除去する
ものである。又片持ロッドの正確な位置に力を加えるこ
とにより、サンプルの変位を零にし得るようになす。
かかる新規なゴニオメータの構成によれば、角度調整を
機械的に安定させ得て、高度な問題解決が可能であり、
広範囲に適用可能となる。つまり、本発明ゴニオメータ
−ヘッドは光学系のミラー調整やその他あらゆる調整に
用いることができる利点を持つ。
機械的に安定させ得て、高度な問題解決が可能であり、
広範囲に適用可能となる。つまり、本発明ゴニオメータ
−ヘッドは光学系のミラー調整やその他あらゆる調整に
用いることができる利点を持つ。
以下、図示の実施例に基づき本発明の詳細な説明する。
第1図に示す本発明ゴニオメータ1は片持ロッド2をリ
ードスクリ5−3の頂部に片持梁型式に取付けて具える
。片持ロッド2の頂部にはサンプルマウント15を設け
る。リードスクリュー3により片持ロッド2の垂直方向
高さを調整する。ロッド2の頂部には更に剛性筒体4を
固着し、これによりロッド2をその長手方向主要箇所に
亘り包囲する。典型的にはロッド2は直径を0.062
インチ(1,57mm)、長さを1.06インチ(26
,92mm )とし、ロッド2の頂部からその長さの約
三分の2の箇所で剛性筒体4に力Pを作用させる。これ
により片持ロッド2は角度変化θを生ずる。
ードスクリ5−3の頂部に片持梁型式に取付けて具える
。片持ロッド2の頂部にはサンプルマウント15を設け
る。リードスクリュー3により片持ロッド2の垂直方向
高さを調整する。ロッド2の頂部には更に剛性筒体4を
固着し、これによりロッド2をその長手方向主要箇所に
亘り包囲する。典型的にはロッド2は直径を0.062
インチ(1,57mm)、長さを1.06インチ(26
,92mm )とし、ロッド2の頂部からその長さの約
三分の2の箇所で剛性筒体4に力Pを作用させる。これ
により片持ロッド2は角度変化θを生ずる。
片持ロッド2の頂部から距離りの箇所で剛性筒体4に力
Pを作用させることで、ロッド2の端部に曲げモーメン
トPXLが加わる。この曲げモーメントはロッド2を第
2B図に示す如く、ロッド端部5の変位が生じない方向
に撓曲する。従って、ロッド端部5は角度変化θを生ず
るのみである。
Pを作用させることで、ロッド2の端部に曲げモーメン
トPXLが加わる。この曲げモーメントはロッド2を第
2B図に示す如く、ロッド端部5の変位が生じない方向
に撓曲する。従って、ロッド端部5は角度変化θを生ず
るのみである。
これは、第2A図の如くロッド端部5′に負荷Pを作用
させる通常の片持ロッド2′が変位するのと異なってい
る。ロッド端部5′は距離δだけ変位すると共に、ロッ
ドの中心位置から遠去かるよう角度θだけ回動する。変
位δはロッド2′の端部5′をロッド中心軸線からずら
せる。
させる通常の片持ロッド2′が変位するのと異なってい
る。ロッド端部5′は距離δだけ変位すると共に、ロッ
ドの中心位置から遠去かるよう角度θだけ回動する。変
位δはロッド2′の端部5′をロッド中心軸線からずら
せる。
他方、本発明の構成によればロッド2の端部5は角度変
化するのみである。なお、距離りをロッド2の長さの約
三分の2にする場合、ロッド端部の変位が0であり、ロ
ッド端部は変位なしに角度変化するのみであることを確
めた。
化するのみである。なお、距離りをロッド2の長さの約
三分の2にする場合、ロッド端部の変位が0であり、ロ
ッド端部は変位なしに角度変化するのみであることを確
めた。
変位部分をなくすことは、取付構造の長期安定を達成す
る上で特に有利である。又、ロッド2を適切に寸法決定
する場合、その応力レベルが低下すると共に、長期安定
を確保することができる。
る上で特に有利である。又、ロッド2を適切に寸法決定
する場合、その応力レベルが低下すると共に、長期安定
を確保することができる。
本発明ゴニオメータ1の調整は第1図、第1B図及び第
3図に示すようなアクチュエータにより行う。4個のア
クチュエータ6を剛性筒体4の周囲に90°間隔に配置
する。第3図につき後述するようなこれらアクチュエー
タの適切な調整により、対向する対のクチユニータロは
剛性筒体を調整後の位置に鎖錠する用をなす。この目的
のためアクチュエータ6の端部に丸味付先端7を設ける
。これら丸味付先端7で剛性筒体4の硬化平坦区域を押
すようにし、これにより相互に直交する2方向へ確実に
調整し得るようになす。
3図に示すようなアクチュエータにより行う。4個のア
クチュエータ6を剛性筒体4の周囲に90°間隔に配置
する。第3図につき後述するようなこれらアクチュエー
タの適切な調整により、対向する対のクチユニータロは
剛性筒体を調整後の位置に鎖錠する用をなす。この目的
のためアクチュエータ6の端部に丸味付先端7を設ける
。これら丸味付先端7で剛性筒体4の硬化平坦区域を押
すようにし、これにより相互に直交する2方向へ確実に
調整し得るようになす。
第3図はアクチュエータ6の構造を示し、これには標準
的なメートルネジを形成した中心スクリュー8を設ける
。この中心スクリュー8をインチネジ付の外周スクリュ
ー9内に螺合する。外周スクリュー9はアクチュエータ
6の外匣1o内に螺合し、外周スクリュー9の1回転で
中心スクリュー8がネジピッチの差だけ進出するように
なす。かかる僅かな中心スクリューの進出は通常のマイ
クロメータよりも微妙な調整を可能にする。
的なメートルネジを形成した中心スクリュー8を設ける
。この中心スクリュー8をインチネジ付の外周スクリュ
ー9内に螺合する。外周スクリュー9はアクチュエータ
6の外匣1o内に螺合し、外周スクリュー9の1回転で
中心スクリュー8がネジピッチの差だけ進出するように
なす。かかる僅かな中心スクリューの進出は通常のマイ
クロメータよりも微妙な調整を可能にする。
例えば、中心スクリュー8のメートルネジピッチを0.
50mmとし、外周スクリュー9のインチネジを1イン
チ当り48条のピッチ(0,53mmピッチ)とすると
、外周スクリュー9の1回転で中心スクリュー8は0.
3 mm (0,0012インチ即ち1.2 ミル)
だけ進出する。かかる外周スフ!J:L−9の1回転当
り1.2ミルの進出は通常のマイクロメータの25倍の
感度である。スクリューの約5°の回転で0.0旧°の
角度変化が得られる。
50mmとし、外周スクリュー9のインチネジを1イン
チ当り48条のピッチ(0,53mmピッチ)とすると
、外周スクリュー9の1回転で中心スクリュー8は0.
3 mm (0,0012インチ即ち1.2 ミル)
だけ進出する。かかる外周スフ!J:L−9の1回転当
り1.2ミルの進出は通常のマイクロメータの25倍の
感度である。スクリューの約5°の回転で0.0旧°の
角度変化が得られる。
かくして本発明によれば作業者の良好な操作フィーリン
グを容易に達成することができる。−回転当り小さな中
心スクリューは1.2ミル進出するだけであるが、大き
な外周スクリュー9は20.8ミルも進む。従って、ア
クチュエータ外匣10はかかる外周スクリューのストロ
ークを可能とするに十分な長さとする必要がある。
グを容易に達成することができる。−回転当り小さな中
心スクリューは1.2ミル進出するだけであるが、大き
な外周スクリュー9は20.8ミルも進む。従って、ア
クチュエータ外匣10はかかる外周スクリューのストロ
ークを可能とするに十分な長さとする必要がある。
中心スクリュー8には回転防止のため第3A図に示すキ
ー11.12を取着する。これらキーは外匣10内のス
ロットに1〜3ミルのクリアランスを持って係合し、中
心スクリュー8の回転を防止する。
ー11.12を取着する。これらキーは外匣10内のス
ロットに1〜3ミルのクリアランスを持って係合し、中
心スクリュー8の回転を防止する。
平坦ワッシャ及び波形ワッシャよりなるワラシャ組13
により圧嵌ベアリング16を介して両スクリュー8,9
にプリロードを付与し、これによりバックラッシュを除
去すると共に、安定した調整を可能にする。
により圧嵌ベアリング16を介して両スクリュー8,9
にプリロードを付与し、これによりバックラッシュを除
去すると共に、安定した調整を可能にする。
アクチュエータ6は、外周スフ’J:L−9の端部にお
けるスロットに係合する特殊な工具(図示せず)を用い
て外周スクリュー9を回転することにより調整する。な
お、この工具は中心スクリュー8が入り込めるような中
空とする。
けるスロットに係合する特殊な工具(図示せず)を用い
て外周スクリュー9を回転することにより調整する。な
お、この工具は中心スクリュー8が入り込めるような中
空とする。
図示のゴニオメータの構成では更に、ロッド2の垂直方
向の調整を第1図のリードスクリュー3によって行う。
向の調整を第1図のリードスクリュー3によって行う。
この調整に当ってはローレットナツト15を用い、これ
を第1A図に示すように少なくとも一側において露出さ
せる。ナツト15はリードスクリュー3に係合させる。
を第1A図に示すように少なくとも一側において露出さ
せる。ナツト15はリードスクリュー3に係合させる。
キー用具18はセットスクリュー(図示せず)で所定位
置に鎮錠する。
置に鎮錠する。
第1図は本発明ゴニオメータの側面図、第1A図は第1
図のI八−1へ断面図、第18図は第1図のIB−IB
断面図、第2A図は従来における片持ロッドの作用説明
図、第2B図は本発明における片持ロッドの作用説明図
、 第3図は本発明装置のアクチュエータを示す断面図、 第3A図は第3図の3A −3A断面図である。 l・・・本発明ゴニオメーク 2・・・片持ロッド 3・・・リードスクリュー
4・・・剛性筒体 5・・・ロッド端部6・・
・アクチュエータ 7・・・丸味付先端訃・・中心ス
クリュー 9・・・外周スクリュー10・・・外匣
11.12・・・キー13・・・ワッシャ
組 15・・・サンプルマウント16・・・圧嵌
ベアリング 特許出願人 ノース・アメリカン・フィリップス・コ
ーポレーション
図のI八−1へ断面図、第18図は第1図のIB−IB
断面図、第2A図は従来における片持ロッドの作用説明
図、第2B図は本発明における片持ロッドの作用説明図
、 第3図は本発明装置のアクチュエータを示す断面図、 第3A図は第3図の3A −3A断面図である。 l・・・本発明ゴニオメーク 2・・・片持ロッド 3・・・リードスクリュー
4・・・剛性筒体 5・・・ロッド端部6・・
・アクチュエータ 7・・・丸味付先端訃・・中心ス
クリュー 9・・・外周スクリュー10・・・外匣
11.12・・・キー13・・・ワッシャ
組 15・・・サンプルマウント16・・・圧嵌
ベアリング 特許出願人 ノース・アメリカン・フィリップス・コ
ーポレーション
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、片持ロッドと、この片持ロッドに取付けられてこれ
を包囲する剛性筒体と、この剛性筒体の所定位置に力を
作用させて前記ロッドを変位0で角度変化のみが生ずる
ようになすアクチュエータ手段とを設けてなることを特
徴とするゴニオメータ。 2、前記片持ロッドが垂直方向に調整可能なものである
特許請求の範囲第1項記載のゴニオメータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US79710585A | 1985-11-12 | 1985-11-12 | |
| US797105 | 1985-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184340A true JPS62184340A (ja) | 1987-08-12 |
Family
ID=25169919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61264914A Pending JPS62184340A (ja) | 1985-11-12 | 1986-11-08 | ゴニオメ−タ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0223297A3 (ja) |
| JP (1) | JPS62184340A (ja) |
| KR (1) | KR870005236A (ja) |
| CN (1) | CN1007836B (ja) |
| AU (1) | AU6496786A (ja) |
| CA (1) | CA1257714A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5519234A (en) * | 1991-02-25 | 1996-05-21 | Symetrix Corporation | Ferroelectric dielectric memory cell can switch at least giga cycles and has low fatigue - has high dielectric constant and low leakage current |
| DE19900346A1 (de) | 1999-01-07 | 2000-07-13 | Europ Lab Molekularbiolog | Präzisions-Probendrehvorrichtung |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1179237A (en) * | 1966-03-30 | 1970-01-28 | Ass Elect Ind | Improvements relating to X-Ray Analysers. |
| NL6908565A (ja) * | 1968-06-27 | 1969-12-30 | ||
| GB8325544D0 (en) * | 1983-09-23 | 1983-10-26 | Howe S H | Orienting crystals |
| EP0137078B1 (en) * | 1983-10-12 | 1989-01-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray examination apparatus |
-
1986
- 1986-11-06 CA CA000522389A patent/CA1257714A/en not_active Expired
- 1986-11-08 CN CN86107651A patent/CN1007836B/zh not_active Expired
- 1986-11-08 JP JP61264914A patent/JPS62184340A/ja active Pending
- 1986-11-08 KR KR860009422A patent/KR870005236A/ko not_active Withdrawn
- 1986-11-10 AU AU64967/86A patent/AU6496786A/en not_active Abandoned
- 1986-11-10 EP EP86201962A patent/EP0223297A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1007836B (zh) | 1990-05-02 |
| CN86107651A (zh) | 1987-05-20 |
| EP0223297A3 (en) | 1988-07-27 |
| EP0223297A2 (en) | 1987-05-27 |
| KR870005236A (ko) | 1987-06-05 |
| CA1257714A (en) | 1989-07-18 |
| AU6496786A (en) | 1987-05-14 |
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