JPS62186423U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62186423U JPS62186423U JP7541586U JP7541586U JPS62186423U JP S62186423 U JPS62186423 U JP S62186423U JP 7541586 U JP7541586 U JP 7541586U JP 7541586 U JP7541586 U JP 7541586U JP S62186423 U JPS62186423 U JP S62186423U
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- JP
- Japan
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- melt
- spacer
- substrate holder
- pitch
- holder
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 6
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図ａ，ｂ，ｃは本考案の一実施例としての
液相エピタキシヤル成長装置の断面図で、第２図
は前記液相エピタキシヤル成長装置を用いて形成
した半導体レーザの断面図、第３図ａ，ｂ，ｃは
従来例の液相エピタキシヤル成長装置の断面図で
ある。 １：基板ホルダ、２：スペーサ、３：メルトホ
ルダ、４，５：基板、６：凹部、７：メルト溜用
貫通孔、８：上部開口部、９：メルト、１０：メ
ルト収納部、１１：下部開口部。
液相エピタキシヤル成長装置の断面図で、第２図
は前記液相エピタキシヤル成長装置を用いて形成
した半導体レーザの断面図、第３図ａ，ｂ，ｃは
従来例の液相エピタキシヤル成長装置の断面図で
ある。 １：基板ホルダ、２：スペーサ、３：メルトホ
ルダ、４，５：基板、６：凹部、７：メルト溜用
貫通孔、８：上部開口部、９：メルト、１０：メ
ルト収納部、１１：下部開口部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面に基板載置用の凹部が形成された板状の基
板ホルダと、 基板ホルダ上面に相対的に摺動可能に配され、
該基板ホルダの凹部に適合する大きさの複数個の
メルト溜用貫通孔を有したスペーサと、 該スペーサ上に相対的に摺動可能に配され、下
部が前記スペーサのメルト溜用貫通孔と連通可能
に開口したメルト収納部が設けられたメルトホル
ダとよりなる液相エピタキシヤル成長装置におい
て、 前記メルトホルダに設けられたメルト収納部の
下部の開口部のピツチと、スペーサに形成された
メルト溜用貫通孔の上部開口部のピツチとが異な
らせてあることを特徴とする液相エピタキシヤル
成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7541586U JPS62186423U (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7541586U JPS62186423U (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186423U true JPS62186423U (ja) | 1987-11-27 |
Family
ID=30921531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7541586U Pending JPS62186423U (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186423U (ja) |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP7541586U patent/JPS62186423U/ja active Pending