JPS62192248U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62192248U JPS62192248U JP7951486U JP7951486U JPS62192248U JP S62192248 U JPS62192248 U JP S62192248U JP 7951486 U JP7951486 U JP 7951486U JP 7951486 U JP7951486 U JP 7951486U JP S62192248 U JPS62192248 U JP S62192248U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- titanium oxide
- pair
- oxygen sensor
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す概略構成図、
第２図は第１図の―断面図、第３図は第１図
の―断面図、第４図は従来例を示す概略構成
図、第５図は第４図の―断面図である。 １……基板、４……酸化チタン層、５……電源
、１０，１１……電極（負電極）、１２……電極
（正電極）。
第２図は第１図の―断面図、第３図は第１図
の―断面図、第４図は従来例を示す概略構成
図、第５図は第４図の―断面図である。 １……基板、４……酸化チタン層、５……電源
、１０，１１……電極（負電極）、１２……電極
（正電極）。
Claims (1)
- 基板の一側に、相対する一対の電極及び酸化チ
タンを順次積層し、前記電極間に介在する酸化チ
タンの電気抵抗変化に基づいて酸素濃度を検出す
る酸素センサにおいて、前記一対の電極の相対面
積を負電極が正電極に比べ大きくなるように形成
したことを特徴する酸素センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7951486U JPS62192248U (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7951486U JPS62192248U (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62192248U true JPS62192248U (ja) | 1987-12-07 |
Family
ID=30929443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7951486U Pending JPS62192248U (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62192248U (ja) |
-
1986
- 1986-05-28 JP JP7951486U patent/JPS62192248U/ja active Pending