JPS62197254U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62197254U JPS62197254U JP12385386U JP12385386U JPS62197254U JP S62197254 U JPS62197254 U JP S62197254U JP 12385386 U JP12385386 U JP 12385386U JP 12385386 U JP12385386 U JP 12385386U JP S62197254 U JPS62197254 U JP S62197254U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- mass spectrometer
- side walls
- analysis
- liner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る質量分析
器を用いたイオン処理装置の例を部分的に切り欠
いて示す平面図である。第２図は、この考案の他
の実施例に係る質量分析器の分析管部分を示す断
面図である。第３図ないし第５図は、それぞれ、
第２図の線―に沿う部分断面図の例を示す。
第６図は、従来の質量分析器を用いたイオン処理
装置の例を部分的に切り欠いて示す平面図である
。第７図は、第６図の線―に沿う部分断面図
である。 ２……イオンビーム、２６……質量分析器、２
７……分析管、２７１，２７２……側壁、２８，
２８ａ〜２８ｇ……ライナー。
器を用いたイオン処理装置の例を部分的に切り欠
いて示す平面図である。第２図は、この考案の他
の実施例に係る質量分析器の分析管部分を示す断
面図である。第３図ないし第５図は、それぞれ、
第２図の線―に沿う部分断面図の例を示す。
第６図は、従来の質量分析器を用いたイオン処理
装置の例を部分的に切り欠いて示す平面図である
。第７図は、第６図の線―に沿う部分断面図
である。 ２……イオンビーム、２６……質量分析器、２
７……分析管、２７１，２７２……側壁、２８，
２８ａ〜２８ｇ……ライナー。
Claims (1)
- 磁界によつてイオンビームを質量分析する質量
分析器において、イオンビーム通過経路用の真空
配管である分析管の内周側および外周側の側壁を
多角形状に曲げ、両側壁の内側に複数の直線状の
ライナーをそれぞれ設けていることを特徴とする
質量分析器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12385386U JPS62197254U (ja) | 1986-01-13 | 1986-08-12 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61003625A JPH083733B2 (ja) | 1986-01-13 | 1986-01-13 | 数値制御装置の原点復帰方式 |
| JP12385386U JPS62197254U (ja) | 1986-01-13 | 1986-08-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197254U true JPS62197254U (ja) | 1987-12-15 |
Family
ID=31189655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12385386U Pending JPS62197254U (ja) | 1986-01-13 | 1986-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197254U (ja) |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP12385386U patent/JPS62197254U/ja active Pending