JPS62197854U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第
２図は第１図のＡＡ断面図である。 １：フレーム、２：アーム、３，４：爪、５：
材料、６：保持枠、７，８：ガイド棒、９ａ，９
ｂ：棒体、１０ａ，１０ｂ：長溝、１１：ネジ棒
、１２：軸受、１３：雄ネジ、１４：ナツト、１
５：縦溝、１６，３１：圧縮コイルバネ、１７：
モータ、１８：支持板、１９：減速機構、２０：
カツプリング、２１：第１の検出手段、２２，２
７，２８，３０：発光素子、２３：受光素子、２
５，２６：第２の検出手段、２９：第３の検出手
段。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フレームと、材料を保持した保持枠を挟持する
   ための２つの爪と、前記フレームに該２つの爪を
   対向させた状態で互いに移動可能に取り付けるた
   めのガイド棒と、前記２つの爪のいずれか一方に
   支持され、かつ該２つの爪を互いに接近させたり
   あるいは遠ざけたりするための駆動手段と、該駆
   動手段に基づいて前記爪が保持枠を挟持した状態
   を検出する第１の検出手段と、前記駆動手段に基
   づいて爪が保持枠から切り離された状態を検出す
   る第２の検出手段と、前記フレームを材料供給位
   置から交換室内まで運ぶためのアームと、該アー
   ムの移動により前記保持枠を挟持した２つの爪の
   位置が前記フレームの略中央部に位置したことを
   検出するための第３の検出手段とを備えたことを
   特徴とする荷電粒子線描画装置における材料搬送
   機構。