JPS62198723A - 可変波長光源 - Google Patents

可変波長光源

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JPS62198723A
JPS62198723A JP61040772A JP4077286A JPS62198723A JP S62198723 A JPS62198723 A JP S62198723A JP 61040772 A JP61040772 A JP 61040772A JP 4077286 A JP4077286 A JP 4077286A JP S62198723 A JPS62198723 A JP S62198723A
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light source
light
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resonator
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Hideto Iwaoka
秀人 岩岡
Akira Ote
明 大手
Koji Akiyama
浩二 秋山
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明のAT、 mな説明 (産業上の利用分野) 本発明は、光スペクトル・アナライザ等に用いられて精
密な波長測定を可能にする可変波長光源の改良に関する
(従来の技術) 従来、光スベク1〜ル・アナライブや分光器などを用い
て波長特性や分光特性を測定する場合、精反を上げるに
は波長の基準となる光源が必要であった。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、基準波長光源の波長から離れた帯域を測
定する場合に誤差が大きくなるという欠点があった。
また、雄型波長光源として可変波長光源を使用すれば、
波長範囲は広くとれるが、可変波長光源の入力と発振波
長を精度よ(対応づけをするのは容易でない。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
ので、広い帯域にわたって高精度な波長測定を可能とす
る可変波長光源を実現することを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明に係る可変波長光源は入力信号に対応して出力光
の波長が変化する可変波長レーザ光源と、この可変波長
レーザ光源の出力光を入力し所定の波長間隔でピークを
有する光出力を発生する共振器と、前記可変波長レーザ
光源の出ツノ帯域内で一定波長の光出力を発生する基1
vilji長レーナ光源とを備えたことを特徴とする。
(実施例) 以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第1図は本発明に係る可変波長光源の一実施例を示す偶
成ブロック図である。可変波長光源10にJ3いて、1
は波長を制御する入力電気13号)E tが加わる入力
端子、2はこの入力端子1を介して前記電気信号Eiを
入力する可変波長レーザ光源、BSlはこの可変波長レ
ーザ光源2の出力光を入射して2方向に分離Jるビーム
スプリッタ、FPlはこのビームスプリッタBS1の透
過光を入力するファプリ・ベロー・エタロンからなる共
振器で波長選択装置を構成するもの、Eolはこの共振
器FPl内の光軸上に設けられた電気光学素子、Elは
この電気光学素子EOIを駆動する信号源、PDIは前
記共振器FP1の出力光を大割して電気信号に変換する
受光素子、4は一定波長の出力光を発生する高安定、高
精度の基準波長レーザ光源である。
上記のような構成の可変波長光源の動作を次に説明する
。可変波長レーザ光源2は入力端子1を介して加わる(
Fj号「1に34応する波長の出力光をJIEする。こ
の出力光の一部はビームスプリッタBS1で反射されて
可変波長出力光Rυとなり、他の一部は透過して共振器
FPIに入ツノする。共振器「Pllよ光路上にひ在す
る電気光学素子EO1の作用により等価的な共振器間隔
を変えることができる。したがって共振器FP1の出力
光RWLは信号源E1の出力(電圧)に対応する波長間
隔でピーク値を有する。受光素子PCIはこの出力光R
mを電気信号に変換してマーカ信@E電を端子3から出
力する。第2図はこのマーカ信号Exを周波数領域で示
したスペクトラム・ヂャートである。基準波長レーザ光
源4は可変波長レーザ光源2の出力帯域の範囲内で一定
波長の出力光R6を発生する。
第1図装置において、可変波長光源2としては半導体レ
ーザの注入電流や温度を変えて波長を変化させるもの、
外部共振器の片りのミラーを回折格子とし、その回転角
を変えて波長を変化させるもの、そのほか各便のものを
使用できる。
第3図は可変波長レー會ア光源2の一実施例を示す構成
ブロック図である。図においてLDlはず導体レーザ、
a、bはこの半導体レーザLD1の両端に設けられた無
反射コート部、LSIはこの無反射コート部aから出射
される光を平行光とするレンズ、BS2はこのレンズ1
81を通過した光が反射されるとともに共振光を外部へ
出力するビームスプリッタ、LS2は無反射コーi・部
すから出射される光を平行光とするレンズ、LIMIは
このレンズLS2を通過する光が入射する第1の超音波
変調器、UM2はこの超音波変調ii1iUM1からの
出力光が入射する第2の超音波変調器、Mlはこの超音
波変調器LJM2から出射した光を反射するミラー、D
I(1は前記超音波変調:褐UMI。
UM2を周波数Fで励振する発振器である。半導体レー
ザLDIの無反射コート部aから出射した光はレンズ1
81で平行光とされた後ビームスプリッタ882で反射
され、反射光は光路を元に戻って再び半導体レーザLD
1に入射する。無反射コート部すから出射した周波数f
oIの光はレンズL S 2で平行光とされ、第1の超
音波変調器UM1に入射する。超音波により生じる回折
格子に対して特定の入射角および出射角を満足するよう
な九の波長は超音波の波長が変われば変化する。
入射光は回折の際に超音波によるドツプラシフトを受け
、+1次回折光(超音波の方向と回折される方向が同じ
)の周波数はfo r +Fとなる。超音波変調器UM
1からの出射光は超音波変調器UM2で再び回折する。
超音波′a′調器LJM2では超音波の進行波と回折光
の関係が超音波変調器UM1におけるJJi合と逆で、
−1次回折光となるので、ドツプラシフI−fflは−
Fとなり、超音波変調nuM2の出力光の周波数は「。
、+F−F==f。lとなる。超音波変調器UM2の出
力光はミラーM1で反射した後超音波変調器UM2でド
ツプラシフトを受けて周波数がfoI  Fとなった後
、超音波変alllLJM1でf’o r −F+F−
fo rとなり、元の周波数f’o+となって半導体レ
ー’J’LD1に戻るので、共振状態が持続する。この
様な構成で超音波の波長(周波数F)を変えれば、共振
する光の波長を掃引することができる。ビームスプリッ
タBS2を介して共振した光が外部に出力される。
第4図は可変波長レーザ光源2の第2の実施例を示す構
成ブロック図である。第3図と同一の部分には同じ記号
を付して説明を省略プる。BS3はレンズLS2からの
出射光を2方向に分離するビームスプリッタ、EO2は
このビームスプリッタ883を透過した光を入tJJ丈
る電気光学素子、vlはこの電気光学素子EO2を制御
する信号源、Mlは前記電気光学素子EO2の出射光を
反射するミラー、EO3は前記ビームスプリッタBS3
で反射した光を入射する電気光学素子、M2はこの電気
光学素子EO3の出射光を反射するミラー、v2はこの
電気光学素子EO3をシ制御する信号源である。電気光
学素子EO2,EO3の光路方向の長さをそれぞれQ+
+92、屈折率をそれぞれnI r n2 、ビームス
プリッタ1382.Ml間の光路に沿ったe、を除く距
離をl−1、ビームスプリツタ882. vF′!離をL2 、Qを整数とすると、この場合の発
振周波数Co2は f’o  2 =q−c  / 2 1   (I−+
   lln+   (V+   >R+   )− 
  (L2   +nz   (V2   )   9
2   )   lとなる。すなわち信号源■1または
v2により電気光学素子EO2またはEO3の電界強1
復を変えて屈折率n,またはn2を変化させることによ
り、発振周波数f02を広範囲にに1引できる。
第5図は基準波長レーザ光源4の1実施例を示す構成ブ
ロック図である。図において、LD2は半導体レーザ、
884はこの半導体レーザL D 2の出力光が入射す
るビームスプリッタ、CLlはこのビームスプリッタB
S4の反射光を入射する標準物質が封入された吸収セル
、PO2はこの吸収セルCL1の出力光が入射する受光
素子、1.、、 A1はこの受光°素子PD2の電気出
力を入力しこれに対応する出力で前記半導体レーザしD
2の電流をυ制御するロックインアンプ、DR2は前記
半導体レーザLD2の電流を周波数変調するとともに前
記ロックインアンプLAIの位相検波周波数を供給する
発振器である。ビームスプリッタ13S4の透過光がこ
の基準波長レーデ光源の出力光となる。標準物質として
はCs 、Rb 、NH3,I−!20など任意の物質
を用いることができる。
半導体レーザLD2の出力光はビームスプリッタ834
で反射されて吸収セルCLIに入IJ’J L、吸収セ
ル内CL1の標準物質による吸収を受ける。
吸収量を受光素子PD2で検出し、ロックインアンプL
Δ1を介して半導体レーデ1−D2の電流に帰還する。
半導体レーザLD2の出力波長は標準物質の吸収スペク
トル線にロックされるので、高安定、高精度の基準波長
光源を実現できる。
なお上記第1図の実施例において、ファブリ・ペロー・
エタロンの共振器間隔を自由に変えることができる場合
には電気光学素子EOIが不要となる。
また共振器FP1として77ノブリ・ベロー・エタロン
の代りに第6図に示すようなマイケルソン干渉「1を用
いてもよい。図においてレーデ光源LD3から入射した
光はビームスプリッタ884で2方向に分離され、ビー
ムスプリッタBS4で反射する光と、ビームスプリッタ
BS4を透過した光がミラーM3で反射した後ビームス
プリッタBS4およびミラー4で反射し、ビームスプリ
ッタ[3S4を透過する光とが干渉する。この結果一定
の波長間隔でピークを有する出力光を発生できる。
また基準波長レーデ光源4の1実施例として示した第5
図の方法は線形吸収法とよばれ、ドツプラシフトにより
吸収スペクトルが比較的太くなるが、飽和吸収法(堀、
開田、北野、藪崎、小用:飽和1汲収分光を用いた半導
体レーザの周波数安定化、信学技報 0QE82−11
6>によりドツプラシフトで隠れている超微細構造の吸
収線を検出して、これに半導体レーザLD2の発振波長
をロックすればざらに高安定とすることができる。
第7図は第1図装置の変形例を示す要部構成ブロック図
である。第1図と同じ部分は同一の記号を付して説明を
省略する。BS5は基準波長レーザ光源4の出力光路に
設けられその反射光をビームスプリッタ881に入射す
るビームスプリッタ、1−△2は受光素子PD1の出力
を入力するロックインアンプ、E2はこのロックインア
ンプの出力と加鐸して電気光学素子EO1に印加される
バイアス信号源である。基準波長レーザ光源4の出力光
の一部はビームスプリッタBS5で反射し、ビームスプ
リッタ881を介して共振器F P 1に入射する。ロ
ックインアンプLA2を含む帰還ループで基準波長成分
が最大となるように共振器F l)1の共j■は隔を制
御づることにより、マーカ光と基準波長とを一致さぜる
ことができる。
第8図は本発明に係る可変波長光源の1応用例である光
スペクトラムアナライザを示す構成ブロック図である。
帯状の矢印は光信号の流れを示し実線の矢印は電気信号
の流れを示す。11は被測定光を入射する…気光学効果
結晶(Y I G、鉛ガラス他〉などを用いた嘔光制御
部、12はこの(偏光制御部11の出力光を入力する光
増幅部、13は1吊引信号発生器、10(ユこの掃引信
号発生器13により可変波長レーザ光源2の周波Ml抑
引をルリ御される可変波長光源、l−1M2はこの可変
波長光源10のに(単波長光Rsおよび可変波長)ヒ1
<υを合成するハーフミラ−1l−IMIはこのハーフ
ミラHM 2 J3にびnO記光増幅部12の出力光を
入力Jるハーフミラ−114はPINフ第1・ダイオー
ドやアバランシェフォトダイオードなどからなり前記ハ
ーフミラ−]」M1の出力光を入カリ−る光へテロダイ
ン検波部、15はこの光ヘテロ検波部検波部14の電気
IIj力を入力して増幅するとともにバンドパス特性を
有するフィルタ部、16はこのフィルタ部15の電気出
力を入力する検波部、17はこの検波部16の電気出力
を入力する信号処理・表示部である。光増幅部12はG
 aA I A sレーザ(780nm帯)や1uGa
AsPレーザ(1500nm帯)などで構成され、下記
の3方式のものを用いることができる。
(イ)共振器形半導体レーザ増幅器と呼ばれ、発振閾値
近傍のバイアス′Ijl流を流し、レーザダイオードに
信号光を入射して誘導放出により線形光増幅を行うもの
([1)光注入同期増幅器とげばれ、発J辰しているレ
ーザダイオードに信号光を入射して発振光の光周波aお
よび位相を制御するもの。
(ハ)進行波形レーザ増幅器と呼ばれ、レーザ”ダイオ
ード・チップの両端面を無反射ツー1−シ、信号光の通
過のみで光増幅するもの。
上記のような構成の光スペク1−ラム7ナライゾの動作
を次に詳しく説明する。偏光制御部11に周波数ω(の
被測定光が入射すると、磁気光学効果結晶の旋光性を利
用して印加磁界を制御することにより、入射光の偏光面
をハーフミラ−1−1M2の出力光と同じ偏光面となる
ように制御IIする。偏光制御部11の光出力は光増幅
部12で増幅された後ハーフミラ−1」Mlで可変波長
光源10の周波数ω。の出力光と合成され、光ヘテロダ
イン検波部14で画周波数の差ω0−ω1′(ただしこ
の場合はω、′−ω、)の周波数をもつ電気信号に変換
される。光ヘテロダイン検波部14の電気出力はフィル
タ15のバンドパス特性を一部が通過し検波部16でパ
ワーとして取出される。信号処理・表示部17はh3引
信号発生器13からのThe引に関連した信号を周波数
軸信号として入力し、検波部16の電気出力をパワー信
号として入力して被測定光18および基準光19をスペ
クトル表示するとともに、可変波長光IfA10から出
力されるンー力信号を入力して、マーカ20を表示する
本応用例における光周波数の動作例を次に示す。
基準波長光Rsの波長: 780nm (レーザダイオ
ードの波長をRbの吸収線にOツクする)可変波長光R
oの波1: 780nm+50nmω1の波長: 78
0nm±5Qnm 第8図ではパルス光を被測定光としてそのスペクトルを
測定する場合を示すために、挿引信号発生器13にパル
ス同期信号を加えている。被測定パルス光に同期したト
リが信号を掃引信号発生器13に入力し、これに同期し
て可変波長光源10の可変波長光Rυの周波数をステッ
プ状に掃引する。、同時に信@@理・表示部17にステ
ップ周波数に対応した信号を送る。その結果、1つのパ
ルス光ごとに1点の周波数のパワースペクトルを測定す
ることになり、掃引後はパルス光の全スペクトルを出力
できる。
第8図の実施例に述べたような構成によれば、光スペク
トラムアナライザの周波数分解能は可変波長光f110
の可変波長出力光Rυのスペクトル幅とフィルタ部15
の帯域幅で決まる。可変波長出力Rυのスペクトル幅は
可変波長レーず光源2で決まるので、これに前述(第3
図、第4図)のような外部共振器形レーザダイオードを
使用することにより、浸れた周波数分解能を10にとが
できる。
なお上記の応用例ではフィルタ部15としてバンドパス
フィルタを用いたが、これに限らず、ローパスフィルタ
を用いてもよい。
第9図は本発明に係る可変波長光源の第2の応用例で、
従来の光スペクトラム・アナライプ(または分光器、以
下同様〉の光源として使用したものを示す構成ブロック
図である。可変波長光源10のマーカ光出力Rmはミラ
ーM3で反射され基準波長光出力Rsとと5にビームス
プリッタBS6で加え合され、ビームスプリッタ887
で被測定光と加え合されて光スペクトル・アナライザ2
1に入力する。光スペクトル・アナライtア21からの
月明信号は可変波長光源10の波長可変人力E、となる
。このような構成で、光スペクトル・アナライザ21の
画面上にはモの作用に月明して画面上に被測定光22.
基準光23およびマーカ光24のスペクトルが現れる。
第10図は本発明に係る可変波長光源の第3の応用例で
ある光ネットワーク・アナライザを示す構成ブロック図
である。可変波長光源10の可変波長出力光Rυを被測
定物22に入射してその出力光を受光素子PD3で検出
し、出力をXYし=1−ダ25の第1のY軸入力Y1と
する。可変波長光源10からのマーカ光出力Rmおよび
基準波長光出力RsもミラーM3およびビームスプリッ
タBS6を介して受光素子PD4に入射し、電気信号に
変換されてXYレコーダ25の第2のY軸入力Y2とな
る。ランプジェネレータ29の出力は可変波長光源10
の波長可変人力EえおよびXYレコーダ25のX軸入力
となる。この結果XYレコーダ25上には分光特性26
とともに基準光27およびマーカ光28が記録される。
上記の各応用例によれば、測定データとともに基準光と
マーカ光が表示または記録されるので、基準光の波長か
らマーカ光の間隔数を数えるとともに、内挿を行えば波
長を容易に知ることができる。
(発明の効果) 以上述べたように本発明によれば、基準波長とともに一
定間隔のマーカ信号が出力されるので、広い帯域にわた
って高精度な波長測定を可能とする可変波長光源を実現
することができる。また可変波長レー+r光源の入力信
号と発振波長の間の関係に精度が要求されないので、可
変波長レーザ光源の構成がI!!!中である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る可変波長光源の1実施例を示す構
成ブロック図、第2図は第1図装置の動作を説明するた
めのタイムチャート、第3図〜第6図は第1図装置の各
構成要素の実施例を示す構成ブロック図、第7図は第1
図装置の変形例を示す原理説明図、第8図は本発明に係
る可変波長光源の1応用例を示す構成ブロック図、第9
図は本発明に係る可変波長光源の第2の応用例を示す構
成ブロック図、第10図は本発明に係る可変波長光源の
第3の応用例を示す構成ブロック図である。 2・・・可変波長レーザ光源、4・・・基準波長レーザ
光源、10・・・可変波長光源、E+・・・入力信号、
「Pl・・・波長選択装置。 ′=   ミ     a ν    − 第4図 第5図 ム箔 第り図 第7図 A2

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)入力信号に対応して出力光の波長が変化する可変
    波長レーザ光源と、この可変波長レーザ光源の出力光を
    入力し所定の波長間隔で光出力を発生する波長選択装置
    とを備えたことを特徴とする可変波長光源。
  2. (2)可変波長レーザ光源の出力帯域内で一定波長の光
    出力を発生する基準波長レーザ光源を備えたことを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の可変波長光源。
  3. (3)波長選択装置としてファブリ・ペロー・エタロン
    を用いた特許請求の範囲第1項記載の可変波長光源。
  4. (4)波長選択装置としてファブリ・ペロー・エタロン
    を用いた特許請求の範囲第2項記載の可変波長光源。
  5. (5)波長選択装置として所定の波長間隔の光のみを通
    過する干渉計を用いた特許請求の範囲第1項記載の可変
    波長光源。
  6. (6)波長選択装置の透過光を入力して電気信号に変換
    する受光素子を備え、前記受光素子の出力をマーカ信号
    出力とする特許請求の範囲第1項記載の可変波長光源。
  7. (7)ファブリ・ペロー・エタロンの共振器間隔を変化
    させることでマーカ光の波長間隔を変えるように構成し
    た特許請求の範囲第3項記載の可変波長光源。
  8. (8)ファブリ・ペロー・エタロン内に電気光学素子を
    備え、電気信号により等価的な共振器間隔を変えるよう
    に構成した特許請求の範囲第3項記載の可変波長光源。
  9. (9)ファブリ・ペロー・エタロン内に電気光学素子を
    備え、電気信号により等価的な共振器間隔を変えるよう
    に構成した特許請求の範囲第4項記載の可変波長光源。
  10. (10)ファブリ・ペロー・エタロンに基準波長レーザ
    光源の出力光の一部を入射し、基準波長成分の透過光が
    最大となるように電気光学素子を制御することにより、
    マーカ光の1つが基準波長と一致するように構成した特
    許請求の範囲第9項記載の可変波長光源。
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US06/943,670 US4856899A (en) 1985-12-20 1986-12-18 Optical frequency analyzer using a local oscillator heterodyne detection of incident light
DE3643569A DE3643569C2 (de) 1985-12-20 1986-12-19 Analysator für optische Frequenzen
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GB8630374A GB2185619B (en) 1985-12-20 1986-12-19 Optical frequency synthesizer/sweeper
DE3643553A DE3643553C2 (de) 1985-12-20 1986-12-19 Vorrichtung zum Erzeugen und Wobbeln optischer Frequenzen
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JPH0319933U (ja) * 1989-03-30 1991-02-27

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