JPS62199802U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62199802U JPS62199802U JP8630286U JP8630286U JPS62199802U JP S62199802 U JPS62199802 U JP S62199802U JP 8630286 U JP8630286 U JP 8630286U JP 8630286 U JP8630286 U JP 8630286U JP S62199802 U JPS62199802 U JP S62199802U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- system sequence
- exhaust system
- control program
- sequence control
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の真空排気装置の制御系の１実
施例構成を示す図、第２図は第１図に示す制御系
の動作を説明するための図、第３図は質量分折装
置に設けられるイオン源排気系の構成例を示す図
である。 １……ＣＰＵ、２……ＲＡＭ、３……ＲＯＭ、
４……アドレスデコーダ、５……リセツト回路、
６……入力信号インターフエイス、７……出力信
号インターフエイス、８……再トリガ単安定マル
チ、９……ナンドゲート、１０と１１……アンド
ゲート回路、１２……反転回路、１３と１４……
遅延回路、１５……矛盾検出回路。
施例構成を示す図、第２図は第１図に示す制御系
の動作を説明するための図、第３図は質量分折装
置に設けられるイオン源排気系の構成例を示す図
である。 １……ＣＰＵ、２……ＲＡＭ、３……ＲＯＭ、
４……アドレスデコーダ、５……リセツト回路、
６……入力信号インターフエイス、７……出力信
号インターフエイス、８……再トリガ単安定マル
チ、９……ナンドゲート、１０と１１……アンド
ゲート回路、１２……反転回路、１３と１４……
遅延回路、１５……矛盾検出回路。
Claims (1)
- 排気系シーケンス制御プログラムを実行するこ
とによりポンプやバルブの動作を制御して真空室
を高真空に排気する真空排気装置であつて、パル
スが所定の時間間隔内で発生しているか否かを監
視するパルス監視手段、排気系シーケンスの手順
上で矛盾する制御信号を検出する矛盾検出手段、
及び排気系シーケンス制御プログラムをリセツト
し再起動するリセツト手段を備え、排気系シーケ
ンス制御プログラムに所定の時間間隔内で前記パ
ルスを発生するステツプを持たせると共に、パル
ス監視手段及び矛盾検出手段の出力信号によりリ
セツト手段を制御することを特徴とする真空排気
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8630286U JPS62199802U (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8630286U JPS62199802U (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199802U true JPS62199802U (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=30942481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8630286U Pending JPS62199802U (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62199802U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608901A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Tokai Rika Co Ltd | 負荷制御装置の誤動作防止方法 |
-
1986
- 1986-06-06 JP JP8630286U patent/JPS62199802U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608901A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Tokai Rika Co Ltd | 負荷制御装置の誤動作防止方法 |
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