JPS62201080U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62201080U JPS62201080U JP8932986U JP8932986U JPS62201080U JP S62201080 U JPS62201080 U JP S62201080U JP 8932986 U JP8932986 U JP 8932986U JP 8932986 U JP8932986 U JP 8932986U JP S62201080 U JPS62201080 U JP S62201080U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burn
- door
- chamber
- nozzles
- rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案であるバーンイン装置の斜視図
である。第２図は本考案であるバーンイン装置の
扉を開放した時の部分拡大図である。第３図は、
本考案であるバーンイン装置のラツク部の詳細拡
大図である。第４図は本考案であるバーンイン装
置に用いたガス管のノズル部の拡大図である。 １…チヤンバー、２…扉、３…ラツク、４，４
…ガス管、５…ダンパー、６…温度コントローラ
ー、７…ちようつがい、８…バーンインボード、
９…溝、１０…コネクタ、１１…バルブ、１２…
フレキシブルチユーブ、１３…ドアスイツチ、１
４…ノズル、１５…ＩＣ装置、１６…コネクタ部
。
である。第２図は本考案であるバーンイン装置の
扉を開放した時の部分拡大図である。第３図は、
本考案であるバーンイン装置のラツク部の詳細拡
大図である。第４図は本考案であるバーンイン装
置に用いたガス管のノズル部の拡大図である。 １…チヤンバー、２…扉、３…ラツク、４，４
…ガス管、５…ダンパー、６…温度コントローラ
ー、７…ちようつがい、８…バーンインボード、
９…溝、１０…コネクタ、１１…バルブ、１２…
フレキシブルチユーブ、１３…ドアスイツチ、１
４…ノズル、１５…ＩＣ装置、１６…コネクタ部
。
補正 昭６２．７．１０
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第８頁第３行目から第４行目に「４，４
…ガス管」とあるのを「４，４′…ガス管」と補
正する。
…ガス管」とあるのを「４，４′…ガス管」と補
正する。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) ＩＣ装置を加熱するチヤンバーと (b) 前記チヤンバーの扉と (c) 前記扉に固定され、ＩＣ装置を装着したバ
ーンインボードを収納するラツクと (d) 前記ラツク内に配置され、複数のノズルを
有し、前記ノズルよりドライエアを噴出するガス
管から構成される事を特徴とするバーンイン装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8932986U JPS62201080U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8932986U JPS62201080U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201080U true JPS62201080U (ja) | 1987-12-22 |
Family
ID=30948222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8932986U Pending JPS62201080U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62201080U (ja) |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP8932986U patent/JPS62201080U/ja active Pending
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