JPS62201335A - 周期性パタ−ンの斑検査方法 - Google Patents
周期性パタ−ンの斑検査方法Info
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- JPS62201335A JPS62201335A JP4306986A JP4306986A JPS62201335A JP S62201335 A JPS62201335 A JP S62201335A JP 4306986 A JP4306986 A JP 4306986A JP 4306986 A JP4306986 A JP 4306986A JP S62201335 A JPS62201335 A JP S62201335A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、カラーテレビ用ブラウン管に用いられるンヤ
ドウマスク、カラー撮像装置用色分解フィルタ、液晶表
示パネル用カラーフィルタ、電子管に用いられるメッン
ユ状電極、ＶＤＴフィルタ、漏逸装置用メツシュフィル
タ、ロータリーエンコーダ、リニアエンコーダ、■Ｃ用
フォトマスク、フンネルレンズ、レンチキュラーレンズ
など一定の光学的性質、形状をもつ単位（以下単位パタ
ーン）が−次元方向、或いは二次元方向に規則的に繰り
返し配列されている工業製品、あるいは単位パターンが
、その光学的性質、形状及び１次元方向、２次元方向の
配列ビ、チが徐々、に変化しながら繰り返し、配列され
ている工業製品の単位パターンの形状、大きさ、又は位
置などに起因する光学的性質の不均一性より生ずる斑を
検査する方法に関する。
ドウマスク、カラー撮像装置用色分解フィルタ、液晶表
示パネル用カラーフィルタ、電子管に用いられるメッン
ユ状電極、ＶＤＴフィルタ、漏逸装置用メツシュフィル
タ、ロータリーエンコーダ、リニアエンコーダ、■Ｃ用
フォトマスク、フンネルレンズ、レンチキュラーレンズ
など一定の光学的性質、形状をもつ単位（以下単位パタ
ーン）が−次元方向、或いは二次元方向に規則的に繰り
返し配列されている工業製品、あるいは単位パターンが
、その光学的性質、形状及び１次元方向、２次元方向の
配列ビ、チが徐々、に変化しながら繰り返し、配列され
ている工業製品の単位パターンの形状、大きさ、又は位
置などに起因する光学的性質の不均一性より生ずる斑を
検査する方法に関する。
（従来技術）
従来、上記した周期性パターンを有する工業製品の検査
は、一般にその周期性パターンを構成する単位パターン
の形状、大きさ、配列ピッチ、又は色などの要素を専用
の測定器で測定するが、その測定結果が所定の品質規格
を満足するものであっても、前記単位パターンが多数配
列されている製品全体を眺めたときの光学的性質の不均
一性が著しい場合はその製品を不良品として取り除く必
要が生ずる。
は、一般にその周期性パターンを構成する単位パターン
の形状、大きさ、配列ピッチ、又は色などの要素を専用
の測定器で測定するが、その測定結果が所定の品質規格
を満足するものであっても、前記単位パターンが多数配
列されている製品全体を眺めたときの光学的性質の不均
一性が著しい場合はその製品を不良品として取り除く必
要が生ずる。
例えば、カラーテレビ用ブラウン管に用いられるンヤド
ウマスクやカラー撮像装置用色分解フィルターの検査を
行なう場合、専用の測定器により単位パターン毎に前記
した要素の検査を行ない、さらに最終製品において人為
的な手段（発明が解決しようとする問題点） 従来の方法によれば、単位パターンの操り返し配列から
成る周期性パターンにおいて、前記単位パターンを有す
る工業製品の斑を検査する工程は、裸眼又は顕微鏡を用
いて行なわれるのが通例であるが、多数の製品を検査す
るためには、多大な人手を必要とすることや、さらに官
能検査であるために信頼性や検査精度に欠けるなどの問
題点があった。
ウマスクやカラー撮像装置用色分解フィルターの検査を
行なう場合、専用の測定器により単位パターン毎に前記
した要素の検査を行ない、さらに最終製品において人為
的な手段（発明が解決しようとする問題点） 従来の方法によれば、単位パターンの操り返し配列から
成る周期性パターンにおいて、前記単位パターンを有す
る工業製品の斑を検査する工程は、裸眼又は顕微鏡を用
いて行なわれるのが通例であるが、多数の製品を検査す
るためには、多大な人手を必要とすることや、さらに官
能検査であるために信頼性や検査精度に欠けるなどの問
題点があった。
そこで本発明は前記工業製品の斑を能率良く高精度に検
査することを可能とする方法を提供することを目的とす
る。
査することを可能とする方法を提供することを目的とす
る。
〔発明の４１°４成〕
（問題点を解決するための手段）
本発明は単位パターンの繰り返し配列から成る周期性パ
ターンの該単位パターンの形状、大きさ、配列ピッチ、
又は色などの不均一性により生ずる斑を自動的に検査す
る方法において、前記周期１生パターンを画像入力装置
により複数の画素に分割して、各画素ごとのディジタル
データとしてフレーム単位に画酸メモリに格納し、フレ
ーム１′１道位の画像データを得る手段と、前記画像デ
ータを得る段階で生じたランダムノイズ成分や光源の輝
度分布に起因するンエーディング成分および光学系又は
製品に付着した汚れに起因するパルス性のノイズ（以下
固定ノイズと呼ぶ）などを抑圧して前記周期性パターン
の斑成分を抽出することによって認識し易くする手段と
、以上のようにして得られた画像データにもとづいて製
品の良、不良の判定を行なう手段とを設け、上記した目
的を達成したものである。
ターンの該単位パターンの形状、大きさ、配列ピッチ、
又は色などの不均一性により生ずる斑を自動的に検査す
る方法において、前記周期１生パターンを画像入力装置
により複数の画素に分割して、各画素ごとのディジタル
データとしてフレーム単位に画酸メモリに格納し、フレ
ーム１′１道位の画像データを得る手段と、前記画像デ
ータを得る段階で生じたランダムノイズ成分や光源の輝
度分布に起因するンエーディング成分および光学系又は
製品に付着した汚れに起因するパルス性のノイズ（以下
固定ノイズと呼ぶ）などを抑圧して前記周期性パターン
の斑成分を抽出することによって認識し易くする手段と
、以上のようにして得られた画像データにもとづいて製
品の良、不良の判定を行なう手段とを設け、上記した目
的を達成したものである。
（作 用）
上記の本発明によれば、ディジタル的な画像処理の手法
を応用して周期性パターンの斑成分の抽出を行なうこと
により、斑成分を強調して表示することができ目視検査
の工程において、目視認識の補助手段として用いれば従
来の方法では捕えｆｆＬい斑を容易に認識できるという
作用がある。
を応用して周期性パターンの斑成分の抽出を行なうこと
により、斑成分を強調して表示することができ目視検査
の工程において、目視認識の補助手段として用いれば従
来の方法では捕えｆｆＬい斑を容易に認識できるという
作用がある。
さらに、また、抽出された前記斑成分と判定規準とを電
気的な手段で比佼することにより斑検査の自動化が図れ
るため、多大な人手を必要とせず、製造工程の流れに合
わせて迅速に精度のよい検査が行なえるという作用もあ
る。
気的な手段で比佼することにより斑検査の自動化が図れ
るため、多大な人手を必要とせず、製造工程の流れに合
わせて迅速に精度のよい検査が行なえるという作用もあ
る。
（実施例）
以下、本発明を図示する実施例にもとづいて、さらに詳
しく説明する。
しく説明する。
第１図は本発明に係る方法を実施する装置の一例を示す
ブロック図で、図中１はＴＶカメラ。
ブロック図で、図中１はＴＶカメラ。
２は画像処理装置δ、３は制御部、４は画像表示用ディ
スプレイ、５は駆動機構、６は被検査体。
スプレイ、５は駆動機構、６は被検査体。
７は拡散板、８は白熱ランプ、９は直流電源。
１０はＸＹステージを示す。しかして１本発明の動作内
容を説明すると、まず、直流電源９で点灯される白熱ラ
ンプ８と拡散板７から成る透過照明部により被検査体６
を照明し、ＴＶ左カメラで彼検冴体６の中の検査領域を
撮影して得られたビデオ信号を画像処理装置２に入力し
、該画像処理装置の中で、該ビデオ信号をＡ／Ｄ変換し
、フレームメモリに格納し、後述の処理を行なうと」１
に、制御装置３の制御に従って駆動ａ ４’ｆ／ｉ ５
とＸＹステージ１０から成る被検査体移動機構により前
記検査領域を移動し、被検査体６の斑検査を行なう。
容を説明すると、まず、直流電源９で点灯される白熱ラ
ンプ８と拡散板７から成る透過照明部により被検査体６
を照明し、ＴＶ左カメラで彼検冴体６の中の検査領域を
撮影して得られたビデオ信号を画像処理装置２に入力し
、該画像処理装置の中で、該ビデオ信号をＡ／Ｄ変換し
、フレームメモリに格納し、後述の処理を行なうと」１
に、制御装置３の制御に従って駆動ａ ４’ｆ／ｉ ５
とＸＹステージ１０から成る被検査体移動機構により前
記検査領域を移動し、被検査体６の斑検査を行なう。
第２図は被検査体６の一例を示しており、周期的な開口
を単位パターン１１として有する周期性パターンである
。
を単位パターン１１として有する周期性パターンである
。
第３図は画像処理装置２の処理内容およびその効果を説
明するために各処理工程に対応するデータをアカログ波
形として模式的に示したものである。
明するために各処理工程に対応するデータをアカログ波
形として模式的に示したものである。
第３図（ａｌは被検査体６の開口率分布の一例で、゛単
位パターン１１の形状がＴＶ左カメラのビデオ信号波形
において無視されるような撮像条件、例えば画像処理装
置２のフレームメモリの１画素に対応する被検査体６上
の単位パターン１１が１０個程度となるような撮像条件
とした場合について示しており、図中Ａは開口率の変化
が緩やかな部分、Ｂは開口率が周期的に変化している部
分、Ｃは開口率の変化が大きく、しかも孤立している部
分を示している。
位パターン１１の形状がＴＶ左カメラのビデオ信号波形
において無視されるような撮像条件、例えば画像処理装
置２のフレームメモリの１画素に対応する被検査体６上
の単位パターン１１が１０個程度となるような撮像条件
とした場合について示しており、図中Ａは開口率の変化
が緩やかな部分、Ｂは開口率が周期的に変化している部
分、Ｃは開口率の変化が大きく、しかも孤立している部
分を示している。
第３図（ｂ）は画像処理装置２に入力されたＴＶ左カメ
ラの走査線１木分のビデオ信号波形で。
ラの走査線１木分のビデオ信号波形で。
第３図（ａｌに示した開口率分布に対応しており、前記
透過照明部の照度分布の不均一性、撮像面の感度分布の
不均一性などによる緩やかな変化を示す信号成分（ンエ
ーディング成分）とビデオ信号の処理回路で発生するラ
ンダムノイズ成分、および光学系の汚れなどによるビデ
オ信号の局部的な変化成分（固定ノイズ成分）Ｄが示さ
れている。
透過照明部の照度分布の不均一性、撮像面の感度分布の
不均一性などによる緩やかな変化を示す信号成分（ンエ
ーディング成分）とビデオ信号の処理回路で発生するラ
ンダムノイズ成分、および光学系の汚れなどによるビデ
オ信号の局部的な変化成分（固定ノイズ成分）Ｄが示さ
れている。
□ 第３図（Ｃ１は画像処理装置２により前記ランダム
ノイズ成分を抑圧した結果の画像データを示しており、
前記ビデオ信号をフレームメモリに記憶し、Ｎ枚のフレ
ームを加算することによって、フレーム間に変化のない
信号成分は増加するのに対して、ランダムノイズ成分は
フレーム間に相関がないため平均振幅で１／何に減衰す
ることを利用してランダムノイズ成分を抑圧したもので
ある。なお、フレームメモリはＮ枚用いてもよいが、１
枚のフレームメモリを巡回型構成で用いることにより同
様の効果が得られる。
ノイズ成分を抑圧した結果の画像データを示しており、
前記ビデオ信号をフレームメモリに記憶し、Ｎ枚のフレ
ームを加算することによって、フレーム間に変化のない
信号成分は増加するのに対して、ランダムノイズ成分は
フレーム間に相関がないため平均振幅で１／何に減衰す
ることを利用してランダムノイズ成分を抑圧したもので
ある。なお、フレームメモリはＮ枚用いてもよいが、１
枚のフレームメモリを巡回型構成で用いることにより同
様の効果が得られる。
さらに第３図（ｄｌは被検査体６を微小移動させた後、
上記したランダムノイズ成分の抑圧を行なった結果を示
している。
上記したランダムノイズ成分の抑圧を行なった結果を示
している。
そして第３図ｔｅｌは第３図（Ｃｌに示した画像データ
から第３図（（１）に示した画像データを減算した結果
の画像データを示したもので、第３図（Ｃ）。
から第３図（（１）に示した画像データを減算した結果
の画像データを示したもので、第３図（Ｃ）。
（ｄｌの画像データに含まれるンエーディング成分や固
定ノイズ成分で代表される被検査体６の微小移動によっ
て変化しない成分が消去さ九て、被検査体６の開口率の
変化による成分が１山出されたことを示している。なお
、被検査体６の微小移動の移動可は、検出しようとする
斑の状態により異なるが、斑の変化する周期の増大に伴
って被検査体６の移動量も増加し、本実施例ではフレー
ムメモリの画素数に換算して２画素から２００画素範囲
が適値である。
定ノイズ成分で代表される被検査体６の微小移動によっ
て変化しない成分が消去さ九て、被検査体６の開口率の
変化による成分が１山出されたことを示している。なお
、被検査体６の微小移動の移動可は、検出しようとする
斑の状態により異なるが、斑の変化する周期の増大に伴
って被検査体６の移動量も増加し、本実施例ではフレー
ムメモリの画素数に換算して２画素から２００画素範囲
が適値である。
以上は、被検査体６を一次元方向に１回微小移動し、そ
の前後で撮像して得た画像データにもとづいて処理し、
斑成分を抽出する方法を示したものである。
の前後で撮像して得た画像データにもとづいて処理し、
斑成分を抽出する方法を示したものである。
第４図は被検査体６を微小移動させる際の移動方法を説
明するために移動位置を模式的に示したものであり、図
中ＰｏからＰｓは被検査体６の撮像位置に対応している
。例えば上記した移動によって撮像した位置は同図のＰ
。とＰｌに相当する。しかし、この２箇所から得られる
画像データのみで処理を行なった場合、同図のＨ方向に
開１］率が変化することによって生じた斑は検出される
が、他の方向、例えばＶ方向に変化が大きく、Ｈ方向に
変化が小さい斑は検出されないという検出感度の異方性
を生ずる欠点があるが、例えば同図のＰＯＨ”１＋
”２＋ ＰＫ＊ Ｐ４ テ撮像して得た画像データ
をもとに、ＰｏとＰｌ、ＰｏとＩ’２． ＰＧ、、！：
Ｐｓ、 ＰＱとＰ４の粗合せで各々について第３図（
ｅｌで説明した処理を行なうことによって前記異方性が
解消される。また第４図のＰｌからＰｓのように円周上
に配列した各位置での画像データの合計を中心位置Ｐｏ
の画像データから減算して得られる画像データにもとづ
いて検出処理を行なっても、上記した異方性が回避でき
、しかも視覚的に反応し易い明るさ分布の曲率を近似し
た値が得られ、目視検査に近い検査結果となる特徴を有
する。
明するために移動位置を模式的に示したものであり、図
中ＰｏからＰｓは被検査体６の撮像位置に対応している
。例えば上記した移動によって撮像した位置は同図のＰ
。とＰｌに相当する。しかし、この２箇所から得られる
画像データのみで処理を行なった場合、同図のＨ方向に
開１］率が変化することによって生じた斑は検出される
が、他の方向、例えばＶ方向に変化が大きく、Ｈ方向に
変化が小さい斑は検出されないという検出感度の異方性
を生ずる欠点があるが、例えば同図のＰＯＨ”１＋
”２＋ ＰＫ＊ Ｐ４ テ撮像して得た画像データ
をもとに、ＰｏとＰｌ、ＰｏとＩ’２． ＰＧ、、！：
Ｐｓ、 ＰＱとＰ４の粗合せで各々について第３図（
ｅｌで説明した処理を行なうことによって前記異方性が
解消される。また第４図のＰｌからＰｓのように円周上
に配列した各位置での画像データの合計を中心位置Ｐｏ
の画像データから減算して得られる画像データにもとづ
いて検出処理を行なっても、上記した異方性が回避でき
、しかも視覚的に反応し易い明るさ分布の曲率を近似し
た値が得られ、目視検査に近い検査結果となる特徴を有
する。
ところで以上は被検ｎ体６の移動方法を中心に説明した
ものであるが、各位置で撮ｊ象して得られる画像データ
には前記したランダムノイズ成分とンエーディング成分
さらに固定ノイズ成分などが含まれており、これらの不
要な成分を低減させる方法を次に述べる。まずランダム
ノイズ成分は前述した方法と同様にして第４図に示した
各移動位置において、複数フレーム分を加算することで
抑圧できる。またンエーディング成分や固定ノイズ成分
は画像データのフレーム数の総和が「０」となるように
画像データの演算を行なうことによって消去できる。例
えば第４図のＰｏの位置で３２フレ一ム分、Ｐｌで８フ
レ一ム分の加′ｌ、１シを行ない、Ｐｌでの画像データ
を４倍した画像データからＰ。での画１゛タデータを減
算すれば両画像データが３２フレ一ム分相当）画像デー
タを加算したことになるため、７咳両画像データのフレ
ーム数の総和は「０」となりンエーディング成分や固定
ノイズ成分が消去される。さらに別の例を示すと、第４
図のＰｌからＰｓの各位置において、それぞれ４フレ一
ム分の画面加席な行なった場合、Ｐ、からＰｓの画像デ
ータの加算結果は３２フレ一ム分の画像データの加算結
果に相当するから、Ｐｏの位置で３２フレ一ム分の画像
データを加算した結果から減算すれば上記の例と同様に
ンエーディング成分や固定ノイズ成分が消去されると共
に明るさ分布の２次微分値が得られる。
ものであるが、各位置で撮ｊ象して得られる画像データ
には前記したランダムノイズ成分とンエーディング成分
さらに固定ノイズ成分などが含まれており、これらの不
要な成分を低減させる方法を次に述べる。まずランダム
ノイズ成分は前述した方法と同様にして第４図に示した
各移動位置において、複数フレーム分を加算することで
抑圧できる。またンエーディング成分や固定ノイズ成分
は画像データのフレーム数の総和が「０」となるように
画像データの演算を行なうことによって消去できる。例
えば第４図のＰｏの位置で３２フレ一ム分、Ｐｌで８フ
レ一ム分の加′ｌ、１シを行ない、Ｐｌでの画像データ
を４倍した画像データからＰ。での画１゛タデータを減
算すれば両画像データが３２フレ一ム分相当）画像デー
タを加算したことになるため、７咳両画像データのフレ
ーム数の総和は「０」となりンエーディング成分や固定
ノイズ成分が消去される。さらに別の例を示すと、第４
図のＰｌからＰｓの各位置において、それぞれ４フレ一
ム分の画面加席な行なった場合、Ｐ、からＰｓの画像デ
ータの加算結果は３２フレ一ム分の画像データの加算結
果に相当するから、Ｐｏの位置で３２フレ一ム分の画像
データを加算した結果から減算すれば上記の例と同様に
ンエーディング成分や固定ノイズ成分が消去されると共
に明るさ分布の２次微分値が得られる。
さらに、また１以上のような処理によりンエーディング
成分や固定ノイズ成分の低減された画像データに対して
、平滑処理を加えると、ランダムノイズ成分がさらに減
少し極めて軽微な斑成分の検出が可能になり、また微小
欠陥や周期の短かい斑による画像データの変化を抑制し
て周期の長い斑成分を選別して検出することもできる。
成分や固定ノイズ成分の低減された画像データに対して
、平滑処理を加えると、ランダムノイズ成分がさらに減
少し極めて軽微な斑成分の検出が可能になり、また微小
欠陥や周期の短かい斑による画像データの変化を抑制し
て周期の長い斑成分を選別して検出することもできる。
以上説明した処理を被検査体６の全領域に対して行ない
、得られた被検査体６の全体が処理された画像データを
ＴＶモニタに表示することによって被検査体６の斑の発
生している部分のみ輝度レベルの変化として現われるた
め、目視の検査においても容易に斑の認識ができる。
、得られた被検査体６の全体が処理された画像データを
ＴＶモニタに表示することによって被検査体６の斑の発
生している部分のみ輝度レベルの変化として現われるた
め、目視の検査においても容易に斑の認識ができる。
次に上記の画像処理が施された画像データをもとに製品
の良・不良の判定を自動的に行なう方法について述べる
。
の良・不良の判定を自動的に行なう方法について述べる
。
第３図（ｆ）、 （ｇ）は第３図（ｅ）の画像データか
ら直流成分を除去した画像データを示すもので、第３図
（ｆｌは第３図１゛ｅ）に示した画家データの十分広い
領域の画像データの平均値を減算して求めた画像データ
、第３図（ｇｌは第３図（ｅｌの画像データを微分した
画像データを示すものである。そして、検出しようとす
る斑の性質に応じて所定の閾値（Ｓｌ、Ｓ２）を設定す
ることにより自動的に斑が（炙出される。
ら直流成分を除去した画像データを示すもので、第３図
（ｆｌは第３図１゛ｅ）に示した画家データの十分広い
領域の画像データの平均値を減算して求めた画像データ
、第３図（ｇｌは第３図（ｅｌの画像データを微分した
画像データを示すものである。そして、検出しようとす
る斑の性質に応じて所定の閾値（Ｓｌ、Ｓ２）を設定す
ることにより自動的に斑が（炙出される。
第３図（１１）は第３図（ｇｌの画像データに７ｔして
、閾値Ｓ１およびＳ２を設定し、閾値を越えたものを「
ｌ」、越えないものを「０」として示した２値化データ
である。さらに閾１直と斑との関係を説明すると、まず
第３図（ａｌの中のＣに示されるような孤立した斑を検
出し製品不良とする場合、第３図（ｆｌ、 （ｇｌの画
像データに対しＳｌのような閾値を設定すればよい。ま
た別の例として、第３図（ａｌＯ中のＢに示されるよう
な同期的に変化している斑を検出し製品不良とする場合
、第３図（ｒ）、 （ｇ）の画像データに対しＳ２のよ
うな閾値を設定した後、第３図（ｈｌに示すような２値
化データに変換し、さらに第３図（ｉｌのような該２値
化データから所定の領域内の斑の数、すなわち密度デー
タに変換し、該密度データに対し、所定の閾ｆｉ（ＥＳ
ｓを設けて比較を行なうことによって、周期的に変化し
ている斑のみを検出し、その結果から製品の良・不良判
定が可能となり、目視検査に近い検査結果が得られる。
、閾値Ｓ１およびＳ２を設定し、閾値を越えたものを「
ｌ」、越えないものを「０」として示した２値化データ
である。さらに閾１直と斑との関係を説明すると、まず
第３図（ａｌの中のＣに示されるような孤立した斑を検
出し製品不良とする場合、第３図（ｆｌ、 （ｇｌの画
像データに対しＳｌのような閾値を設定すればよい。ま
た別の例として、第３図（ａｌＯ中のＢに示されるよう
な同期的に変化している斑を検出し製品不良とする場合
、第３図（ｒ）、 （ｇ）の画像データに対しＳ２のよ
うな閾値を設定した後、第３図（ｈｌに示すような２値
化データに変換し、さらに第３図（ｉｌのような該２値
化データから所定の領域内の斑の数、すなわち密度デー
タに変換し、該密度データに対し、所定の閾ｆｉ（ＥＳ
ｓを設けて比較を行なうことによって、周期的に変化し
ている斑のみを検出し、その結果から製品の良・不良判
定が可能となり、目視検査に近い検査結果が得られる。
次に以上の実施例により被検査体６の開口率が周期的に
変化していることにより生じた斑を自勤倹森した列を示
す。被検査体６の単位パターン１］の直径が１００μｍ
、配列ピッチが３００μｍ で、第２図に示すような配
列をもつ周期性パターンを第１図に示すような透過光に
より照明し、↑最像管を用いたＴＶカメラ１でＧ Ｏ０
，７ｍＸ４５０ｙａ を全検査領域とした場合、撮１（
１，時間および画像処理時間の合計が約５秒で、明るさ
の変化が０．５％と目視検査の検出限界に近い開口率の
変化を検出し、製品の良・不良を適確に判定することが
できた。
変化していることにより生じた斑を自勤倹森した列を示
す。被検査体６の単位パターン１］の直径が１００μｍ
、配列ピッチが３００μｍ で、第２図に示すような配
列をもつ周期性パターンを第１図に示すような透過光に
より照明し、↑最像管を用いたＴＶカメラ１でＧ Ｏ０
，７ｍＸ４５０ｙａ を全検査領域とした場合、撮１（
１，時間および画像処理時間の合計が約５秒で、明るさ
の変化が０．５％と目視検査の検出限界に近い開口率の
変化を検出し、製品の良・不良を適確に判定することが
できた。
なお、本発明で示した撮像方法および照明方法としては
、斑の情報を含むビデオ信号が得られるものであれば全
て使用できる。例えば撮像方法としては撮像管や固体撮
像素子（エリアセンサ、又はラインセンサ）を用い１゛
ｖカメラ。
、斑の情報を含むビデオ信号が得られるものであれば全
て使用できる。例えば撮像方法としては撮像管や固体撮
像素子（エリアセンサ、又はラインセンサ）を用い１゛
ｖカメラ。
イメージディテクタとフライングスポット管を用いた撮
像装置、Ｘ線ＴＶ撮影装置、電子顕敞鏡撮影装置などに
よる方法、またｉ！ｌ：（明方法としては透過光照明、
透過暗視野照明１反射暗視野照明、正反射照明などを用
いた方法が上げられる。さらに照明光の性質としては、
コヒーレンス、分光特性、偏光など何れも検出しようと
する斑を撮像した際の信号のＳＮ比が高くなるように選
択すればよい。
像装置、Ｘ線ＴＶ撮影装置、電子顕敞鏡撮影装置などに
よる方法、またｉ！ｌ：（明方法としては透過光照明、
透過暗視野照明１反射暗視野照明、正反射照明などを用
いた方法が上げられる。さらに照明光の性質としては、
コヒーレンス、分光特性、偏光など何れも検出しようと
する斑を撮像した際の信号のＳＮ比が高くなるように選
択すればよい。
以上のとおり本発明によれば、周期性パターンを有する
種々の工業製品の微妙な斑をその周期パターンを構成す
る単位パターンが解像されないような撮影視野で撮影し
て、その画像データを画像処理することにより斑成分を
抽出し、ＴＶモニタに前記斑成分を表示することで目視
では認識しにくい斑を各局に捕えることができ、さらに
斑の性質を判別し、その結果にもとづいて製品の良・不
良を自動的に判定することも可能となり、検査１１１ｔ
度、信頼性および生産能率の向上など顕著な効果が見ら
れた。
種々の工業製品の微妙な斑をその周期パターンを構成す
る単位パターンが解像されないような撮影視野で撮影し
て、その画像データを画像処理することにより斑成分を
抽出し、ＴＶモニタに前記斑成分を表示することで目視
では認識しにくい斑を各局に捕えることができ、さらに
斑の性質を判別し、その結果にもとづいて製品の良・不
良を自動的に判定することも可能となり、検査１１１ｔ
度、信頼性および生産能率の向上など顕著な効果が見ら
れた。
第１図は本発明に係る方法を実施するための１・・・・
・・・・・′ｒｖカメラ ２・・・・・・・・・画像処理装置 ３・・・・・・・・・１１１す細部 ４・・・・・・・・ｉ” Ｖモニタ ５・・・・・・・・・駆動磯構 ６・・・・・・・・・被検査体 ７・・・・・・・・・拡散板 ８・・・・・・・・・白熱ランプ ９・・・・・・・・・直流電源
・・・・・′ｒｖカメラ ２・・・・・・・・・画像処理装置 ３・・・・・・・・・１１１す細部 ４・・・・・・・・ｉ” Ｖモニタ ５・・・・・・・・・駆動磯構 ６・・・・・・・・・被検査体 ７・・・・・・・・・拡散板 ８・・・・・・・・・白熱ランプ ９・・・・・・・・・直流電源
Claims (6)
- （１）単位パターンの繰り返し配列から成る周期性パタ
ーンにおける光学的性質の均一性の乱れにより生じた斑
を検査する方法において、該周期性パターンを撮像し、
画素分解してフレーム単位の画像データを得る手段と該
周期性パターンを所定の位置へ移動する手段を設け、該
周期性パターンを複数の位置へ移動して得られる画像デ
ータに基づいて該周期性パターンの均一性を検査するよ
うに構成したことを特徴とする周期性パターンの斑検査
方法。 - （２）上記した画像データが複数フレームの画像データ
を加算して得た画像データであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の周期性パターンの斑検査方法。 - （３）上記した画像データが該周期性パターンの各位置
で得られる各画像データのフレーム数の総和が「０」と
なるように処理して得た画像データであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項または第２項記載の周期性パ
ターンの斑検査方法。 - （４）上記した画像データが該周期性パターンにおける
光学的性質の分布の曲率に応じた値となるように該周期
性パターンを複数の位置に移動し、処理して得た画像デ
ータであることを特徴とする特許請求の範囲第１項、第
２項または第３項記載の周期性パターンの斑検査方法。 - （５）上記した画像データが該周期性パターンの所定の
位置関係にある２点間の光学的性質の差の分布となるよ
うに移動し、処理して得られた画像データであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項または第３項
記載の周期性パターンの斑検査方法。 - （６）上記した処理が該周期性パターンの光学的性質の
変化が所定レベル以上となる画素の密度が所定の値以上
となる部分を不良として認識できるような処理であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項、第３項
、第４項または第５項記載の周期性パターンの斑検査方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4306986A JPH0731131B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 周期性パタ−ンの斑検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4306986A JPH0731131B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 周期性パタ−ンの斑検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201335A true JPS62201335A (ja) | 1987-09-05 |
| JPH0731131B2 JPH0731131B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=12653564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4306986A Expired - Lifetime JPH0731131B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 周期性パタ−ンの斑検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731131B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6491076A (en) * | 1987-10-02 | 1989-04-10 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus for magnetic recording medium |
| JPH0220155U (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-09 | ||
| JPH02224572A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Suraidetsukusu Kk | Ｃｃｄ電子映像用ｘｙ送り装置 |
| JPH07151704A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Dainippon Printing Co Ltd | ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置 |
| JP2009276165A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | 基板検査装置 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP4306986A patent/JPH0731131B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6491076A (en) * | 1987-10-02 | 1989-04-10 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus for magnetic recording medium |
| JPH0220155U (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-09 | ||
| JPH02224572A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Suraidetsukusu Kk | Ｃｃｄ電子映像用ｘｙ送り装置 |
| JPH07151704A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Dainippon Printing Co Ltd | ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置 |
| JP2009276165A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | 基板検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0731131B2 (ja) | 1995-04-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |