JPS62201608U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62201608U JPS62201608U JP9094886U JP9094886U JPS62201608U JP S62201608 U JPS62201608 U JP S62201608U JP 9094886 U JP9094886 U JP 9094886U JP 9094886 U JP9094886 U JP 9094886U JP S62201608 U JPS62201608 U JP S62201608U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- recess
- vacuum
- vacuum chuck
- point
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping On Spindles (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す正面図、第２図
は同側面図、第３図は従来の真空チヤツクの例を
示す正面図、第４図は同側面図、第５図は従来の
真空チヤツクによる吸着状態を示す側面図、第６
図イ，ロはデイスク板を示す断面図である。 １：チヤツク本体、２，３：凹部、４：空気路
、５：凹部、５′：大気開放孔。
は同側面図、第３図は従来の真空チヤツクの例を
示す正面図、第４図は同側面図、第５図は従来の
真空チヤツクによる吸着状態を示す側面図、第６
図イ，ロはデイスク板を示す断面図である。 １：チヤツク本体、２，３：凹部、４：空気路
、５：凹部、５′：大気開放孔。
Claims (1)
- チヤツク本体１の前面に真空吸引系統に連結さ
れた吸引溝を設けその吸引溝によつて表面におか
れた物体を吸着固定する真空チヤツクに於いて、
吸引個所を物体の外周部分と内周部分の２カ所で
吸着保持し、非吸着部分は物体と接触しない様に
凹部を設け、且つ同凹部を大気中に開放し、しか
も吸引個所の吸着壁を比較的変形しにくい素材と
したことを特徴とする真空チヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9094886U JPS62201608U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9094886U JPS62201608U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201608U true JPS62201608U (ja) | 1987-12-22 |
Family
ID=30951282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9094886U Pending JPS62201608U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62201608U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646529A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Wafer chuck |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP9094886U patent/JPS62201608U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646529A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Wafer chuck |