JPS62205641A - 半導体チツプの認識装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔座業上の利用分野〕 この発明は、シート上に並べられた半導体チップ全移動
させながら半導体チップの位置と形状とをカメラからの
一気信号により認識する半導体チップの認識装置に関す
るものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の半４体チップの認龍装置を示す断面図で
ある。同図において、１は円筒状の光源、２は反射カバ
ー、３は光源１から出る光、４は光３０反射光、５は反
射光４か対象物に当って反射される元、６は受光素子が
前記光源１と平行に並んでいる一次元撮像カメラ、７は
カメラ６からの電気信号、８は電気信号７を取り込んで
対象物を認識すると共に移動台１８の移動を制御する認
舷制餉１装置、９は移動台１８の移動指令、１Ｇは移動
指令９を受けて電動機１２’に駆動するドライバ、１１
は電＋ｍ機駆動電流、１２は電動機、１３はカップリン
グ、１４．１５はポールネジ１６の固定治具、１６はボ
ールネジ、１７は架台、１８はポールネジ１６とかみ合
いボールネジ１６の回転と共に移動する移動台、１９は
移動台１Ｂに取り付けられる第１のリング、２０はシー
ト２１を介しリング１９に圧入される第２のリング、２
１はシート、２２は認識の対象となる半導体チップであ
る。

次に動作について説明する。移動台１８に搭載されてい
る半導体チップ２２からの反射光５をカメラ６でとらえ
、この反射光５のうち、光源１に平行に並んでいるカメ
ラ６内の受光部に当る光のみを電気信号７に変換し、認
識制御装置８に取り込む。認識制御装置８は電気信号７
に基づき、半４体チップ２２の光源１に平行な方向の巾
Ｋｌ識する。次に移動指令９をドライバ１０に送り、電
動機１２を駆動して移動台１８を移動させ、　再度半導
体チップ２２の巾を認識する。以上をくり返すことによ
り、半導体チップ２２の光源１と平行な方向の巾を連続
認識し、結果的に半導体チップ２２の２次元情報を得て
チップ２２の位置と形状を＆ｌ！識する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の半導体チップの認識装置は、以上のように構成さ
れており、照明として光源１からの明視野光を使用して
いるため移動台１８の移動に伴なうシート２１の振動に
より、チップ２２が傾いた場合には反射光５の光量が変
動し、認識制御装置８が誤認識するような問題点があっ
た。これを第４図を用いて詳細に説明する。同図におい
て、チップ２２が実線で示す正常位置にある場合は反射
光５となる光は、光源１上の点１６から発せられ、反射
点２ａ＊２２ａｔ”経由する光である。これに対してシ
ート２１が振動により、シート２１ａのようにたわみ、
チップ２２が破線で示すチップ２２ｂのように傾いた場
合には、反射光５は光源１上の点１ｃから発する光のう
ちある角度１ｄの方向を持った取分がカバー２上の反射
点２ｂおよびチップ２２ｂ上の反射点２２．から反射さ
れたものとなる。光源１から発する光３ａに頌き１ｄが
発生すると共に、光源１からチップ２２上の点２２ａに
至る光路長も光３と反射光４との光路から光３ａと反射
光４ｃとの光路に変化し、このため、反射光５の光量も
チップ２２の傾きに大きく変化する。

この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたものであり、シートの振動によりチップ２２が傾い
ても常に一定の光量を持つ反射光５を得て認識ｆＩｌ制
御装置８の誤認識を防止することができる半導体チップ
の認識装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る半導体チップの認識装置は、光源の反射
カバーを、断面が楕円形状の円筒形の一部となるように
するとともに１光源中心点と半導体チップの認識点が前
記楕円の２焦点となるように形成したものである。

〔作　用〕

この発明における半導体チップの認識装置は、光源表面
から発する光の垂直方向取分が楕円状のカバーで反射さ
れ、すべてチップの認識点に集められる。

〔実施例〕

以下、図面を用いてこの発明の一実施例′を説明する。

第１図はこの発明による半導体チップの認識装置の一実
施例を示す構成図であり、前述の図と同一部分または相
当部分には同一符号を付しである。

同図において、光源カバー２３は、光源１の中心点１ａ
とチップ２２の認識点２２．が２焦点となる楕円形状を
なして形成されている。

このような構成において、第２図に示すように半導体チ
ップが正常位ｆＩｔ２２におる場合、光源１上の点１ｂ
から発する光３が光源カバー２３上の反射点２３．にて
反射され、チップ２２の認識点２２゜に至り、これが反
射されて反射光５となる。また、シート２１が振動等に
′Ｊ：リシート２１ａのようにたるみ、チップ２２がチ
ップ２２ｂ　ｏ工うに傾いた場合には、光源１上の点１
ｃから発する元３ａが光源カバー２３上の反射点２３ｂ
にて反射され、チップ２２ｂの認識点２２ａに至り、こ
れが反射されて反射光５となる。−万、隔日の性質とし
て、（１）−万の焦点から発Ｌ７、隔日面で反射される
光はもう一方の焦点に集る。

（２）隔日上の一点と２焦点ｔｍぶ２つの線分の長さの
和は常に一定である。

がある。従って上記２例の場合には、光源上の点１ｂか
らカバー２３上の反射点２３ａに向う光も、光源上の点
１ｃからカバー２３上の反射点２３ｂに問う光も、光！
１の表面に対して垂直となる。また、光源１からチップ
認識点２２ａまでの光路長はどちらも等しくなる。

（元３）＋（反射光４）＝（光３ａ）＋（反射光４ｃ　
）以上により、チップ２２が傾いた場合でも、光源１か
ら発し、カバー２３で反射されたブ０．のうちチップ２
２の認識点２２ａで反射されてカメラ６に向かう反射光
５の光量は一定となる。

なお、上記実施例では、光源として円筒形の螢光灯等を
用いているが、これは線状の光源であってもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によｎば、光源カバーを隔
日形状としたので、半導体チップが振動等で一一へだ場
合でも、常に一定の反射光が得らｎ１半Ｉｒ体チップの
形状の誤認識がなくなり、安定した高鞘度の半導体チッ
プの認識装置が得られる幼芽とがある。。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による半導体チップの認識装置の一実
施例を示す構放図、第２図はこの発明に係わる照明部の
動作説明図、第３図は従来半導体チップの認識装置の徊
底図、第４図は従来の照明部の動作説明図である。 １・・・・光源、２３・・−争光源カバー、６・・―・
−次元撮像カメラ、８拳・・　・誌臓制飾ｑ、　　１ｏ
・・・・モータドライバ、１２・・・・質り機、１８１
１・・・移動台、２２・・―・認識対象。 代　　理　　人　　　　　大　　岩　増　雄第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 直線状または円筒状の光源と、前記光源の光を反射させ
   る反射カバーと、半導体チップをシート上に配列し移動
   させる移動台と、前記光源に平行に受光素子を並設した
   一次元撮像カメラと、前記カメラの出力信号を入力し前
   記移動台を駆動させる駆動信号を出力する認識制御装置
   と、前記認識制御装置から出力させる移動台駆動信号を
   入力し前記移動台を駆動させる駆動装置とからなり、前
   記半導体チップに前記光源の光を照射し、その明視野反
   射光を前記一次元撮像カメラにより撮影して電気信号に
   変換し前記認識制御装置により前記半導体チップの幅を
   認識するとともに前記移動台を駆動して前記認識を繰り
   返し半導体チップの２次元的形状を認識する半導体チッ
   プの認識装置において、前記光源の反射カバーを、前記
   光源の長手方向に垂直な断面で見たとき前記光源の中心
   点と半導体チップ表面の認識点とを２焦点とする楕円の
   一部となるように形成したことを特徴とする半導体チッ
   プの認識装置。