JPS62206351A - 極低温冷却装置 - Google Patents
極低温冷却装置Info
- Publication number
- JPS62206351A JPS62206351A JP4616786A JP4616786A JPS62206351A JP S62206351 A JPS62206351 A JP S62206351A JP 4616786 A JP4616786 A JP 4616786A JP 4616786 A JP4616786 A JP 4616786A JP S62206351 A JPS62206351 A JP S62206351A
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- Japan
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- refrigerant
- gas
- condensing
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- refrigerant flow
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/17—Re-condensers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、極低温冷却装置に係り、特１こ液化ガスを貯
払する手段で蒸発したガスを該手段内で再凝縮、液化し
て使用する極低温冷却装置に関するものである。 〔従来の技術〕 従来の装置は、例えば、第３４回低温工学研究発表会予
稿集（１９８５年１１月）の第８８頁で論じられている
ように、ヘリウム冷凍板とクライオスタットと凝縮熱交
換器と低温配管とで構成され、ｋｋｎ熱交換器は、クラ
イオスタットの液体ヘリウム貯槽のガス層に設けられて
いた。 〔発明か解決しようとする問題点〕 従来の凝縮熱交換器の大きさは、サービスポートの口径
に限定される。即ち、凝縮熱交換器は、サービスポート
を介してクライオスタットの液体ヘリウム貯槽のガス層
に設けられるため、凝縮熱交換器の大きさは、サービス
ポートに挿入可能な大きさでなければならない。一方、
凝縮熱交換器で再凝縮、液化できる蒸発ガス鼠は、凝縮
熱交換器の凝縮面の広さに比例する。従って、このよう
な凝縮熱交換器をクライオスタットの液体ヘリウム貯槽
のガス層に設ける極低温冷却装置では、液体ヘリウム貯
槽での蒸発ガスが茶飯になる場合、良好に対応できなく
なるといった問題がある。 本発明の目的は、液化ガス貯蔵手段での蒸発ガス伝が多
足になっても該ガスを液化ガス貯蔵手段内で充分に再凝
縮、 ｉＦｋ化できる極低温冷却装置を提供することｊ
こある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的は、極低ム冷却装置を、冷媒を供給する冷媒供
給手段と、サービスポートを自する敵化ガス貯蔵手段と
、ｎ’ｊ記服化ガス貯蔵手段でのガス層と連通ずる凝縮
空間を有してｉｉｊ記サーすスポート曇ζ種人され前記
冷媒が供給される＆−紬手段とを１ｇ＋したものとする
ことにより達成される。 〔作用〕 液化カス貯ｉ手段でのガス層と連通する凝縮空間を有し
冷媒が供給される凝縮手段を液化ガス貯蔵手段のサービ
スポート番ζ挿没することで、凝縮面を広くとることが
でき、このため、液化ガス貯蔵手段での蒸発ガスが多ｌ
ｌ１−となっても該ガスは液化ガス貯蔵手段内で充分に
再凝縮、液化される。 〔発明の実施例〕 本発明の一実施例を第１図、第２図番こより説明する。 ＸＳ １１１４で、冷媒供給手段は、この場合、ヘリウ
ム冷凍機１０である。ヘリウム冷ｄａｌＯは、公知のも
のでありん、明を省略する。液化ガス貯蔵手段２０は、
液体ヘリウムを貯蔵する内槽２１と外槽２２とで構成さ
れサービスポート２３を有している。内槽２１の外面と
サービスポート２３と昇格２２の内面とでなる空間は真
空に維持されている。 第１図、第２図で、凝縮手段３０は、サービスポート２
３Ｉこ挿設されている。凝縮手段３０は、冷媒流通管３
１と冷媒流通容器３２とサポート３３とで構成されてい
る。冷媒流通管３１の外側には、冷媒流通用空間を形成
して冷媒流通容器３２が配設されている。冷媒流通管３
１の下端部は開口し該開口は冷媒流通容器３２の底部に
対応させられている。サポート３３は、その内面と冷媒
流通容器３２の外面との間に凝縮空間３４を形成して冷
媒流通容器３２化設けられている。凝縮空間３４は、内
槽２１内のガス層２４に連通している。内槽２１内のガ
ス層２４は、サービスポート２３の入口部に設けられた
シール材２５とサポート３３とにより気密保持されてい
る。この場合、冷媒流通容器３２の下端部は、サービス
ポー）２３ 、サポート３３より突出して内槽２１内の
ガス槓２４に位置している。 第１図、第２図で、ヘリウム冷凍機１０と凝縮手段３０
とは、配管４０で連結されている。配管４０は、フレキ
シビリティを有する外管４１と冷媒供給用の供給ｗ４２
と戻り管４３とで構成されている。供給’ｉ’４２と戻
り管４３とは、外管４１曇ζ挿設され、例えば、外管４
１内は、真空番ζ維持されている。供給管４２の凝縮手
段側端は、冷媒流通管３１に連結されている。ｋり管４
３の凝縮手段側端は、冷媒流通ｔ３１の外面と冷媒流通
容器３２の内面とで形成された冷媒流通用空間に連通し
て冷媒流通容器３２１こ連結されている。外管４１のに
細手段側端は、サポート３３Ｉζ連結されている。外％
４１内とサポート３３内とは連通している。向、サポー
ト３３のサービスポート２３と対応する部分の構造は、
真空空間を有する二重構造となっている。また、内槽２
１内は、弁２６が設けられサービスポート２３に連結さ
れた配管
払する手段で蒸発したガスを該手段内で再凝縮、液化し
て使用する極低温冷却装置に関するものである。 〔従来の技術〕 従来の装置は、例えば、第３４回低温工学研究発表会予
稿集（１９８５年１１月）の第８８頁で論じられている
ように、ヘリウム冷凍板とクライオスタットと凝縮熱交
換器と低温配管とで構成され、ｋｋｎ熱交換器は、クラ
イオスタットの液体ヘリウム貯槽のガス層に設けられて
いた。 〔発明か解決しようとする問題点〕 従来の凝縮熱交換器の大きさは、サービスポートの口径
に限定される。即ち、凝縮熱交換器は、サービスポート
を介してクライオスタットの液体ヘリウム貯槽のガス層
に設けられるため、凝縮熱交換器の大きさは、サービス
ポートに挿入可能な大きさでなければならない。一方、
凝縮熱交換器で再凝縮、液化できる蒸発ガス鼠は、凝縮
熱交換器の凝縮面の広さに比例する。従って、このよう
な凝縮熱交換器をクライオスタットの液体ヘリウム貯槽
のガス層に設ける極低温冷却装置では、液体ヘリウム貯
槽での蒸発ガスが茶飯になる場合、良好に対応できなく
なるといった問題がある。 本発明の目的は、液化ガス貯蔵手段での蒸発ガス伝が多
足になっても該ガスを液化ガス貯蔵手段内で充分に再凝
縮、 ｉＦｋ化できる極低温冷却装置を提供することｊ
こある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的は、極低ム冷却装置を、冷媒を供給する冷媒供
給手段と、サービスポートを自する敵化ガス貯蔵手段と
、ｎ’ｊ記服化ガス貯蔵手段でのガス層と連通ずる凝縮
空間を有してｉｉｊ記サーすスポート曇ζ種人され前記
冷媒が供給される＆−紬手段とを１ｇ＋したものとする
ことにより達成される。 〔作用〕 液化カス貯ｉ手段でのガス層と連通する凝縮空間を有し
冷媒が供給される凝縮手段を液化ガス貯蔵手段のサービ
スポート番ζ挿没することで、凝縮面を広くとることが
でき、このため、液化ガス貯蔵手段での蒸発ガスが多ｌ
ｌ１−となっても該ガスは液化ガス貯蔵手段内で充分に
再凝縮、液化される。 〔発明の実施例〕 本発明の一実施例を第１図、第２図番こより説明する。 ＸＳ １１１４で、冷媒供給手段は、この場合、ヘリウ
ム冷凍機１０である。ヘリウム冷ｄａｌＯは、公知のも
のでありん、明を省略する。液化ガス貯蔵手段２０は、
液体ヘリウムを貯蔵する内槽２１と外槽２２とで構成さ
れサービスポート２３を有している。内槽２１の外面と
サービスポート２３と昇格２２の内面とでなる空間は真
空に維持されている。 第１図、第２図で、凝縮手段３０は、サービスポート２
３Ｉこ挿設されている。凝縮手段３０は、冷媒流通管３
１と冷媒流通容器３２とサポート３３とで構成されてい
る。冷媒流通管３１の外側には、冷媒流通用空間を形成
して冷媒流通容器３２が配設されている。冷媒流通管３
１の下端部は開口し該開口は冷媒流通容器３２の底部に
対応させられている。サポート３３は、その内面と冷媒
流通容器３２の外面との間に凝縮空間３４を形成して冷
媒流通容器３２化設けられている。凝縮空間３４は、内
槽２１内のガス層２４に連通している。内槽２１内のガ
ス層２４は、サービスポート２３の入口部に設けられた
シール材２５とサポート３３とにより気密保持されてい
る。この場合、冷媒流通容器３２の下端部は、サービス
ポー）２３ 、サポート３３より突出して内槽２１内の
ガス槓２４に位置している。 第１図、第２図で、ヘリウム冷凍機１０と凝縮手段３０
とは、配管４０で連結されている。配管４０は、フレキ
シビリティを有する外管４１と冷媒供給用の供給ｗ４２
と戻り管４３とで構成されている。供給’ｉ’４２と戻
り管４３とは、外管４１曇ζ挿設され、例えば、外管４
１内は、真空番ζ維持されている。供給管４２の凝縮手
段側端は、冷媒流通管３１に連結されている。ｋり管４
３の凝縮手段側端は、冷媒流通ｔ３１の外面と冷媒流通
容器３２の内面とで形成された冷媒流通用空間に連通し
て冷媒流通容器３２１こ連結されている。外管４１のに
細手段側端は、サポート３３Ｉζ連結されている。外％
４１内とサポート３３内とは連通している。向、サポー
ト３３のサービスポート２３と対応する部分の構造は、
真空空間を有する二重構造となっている。また、内槽２
１内は、弁２６が設けられサービスポート２３に連結さ
れた配管
【
２７を介して大気一連通可能になっている。
第１図、第２１．ｉｌＪで、冷媒流通管３１には、ヘリ
ウム清凍機１０で生成された冷媒が供給管４２を介して
供給される。冷媒流通管３１に供給された冷媒は、冷媒
流通管３１内を流下し、その下端部の開口より冷媒流通
容器ＩＱｊに入り該空…ｊを上昇して流通する。これ−
こより冷媒流通容器３２は、ガス層２４の蒸発ガスを再
凝縮、液化可能な温度に冷却される。冷媒流通容器３２
を冷却した冷媒は、冷媒流通用空間から戻り管４３ Ｅ
入り戻り管４３を介してヘリウム冷凍［１０１ζ戻され
る。一方、ガス層２４と凝縮空間３４とｋある蒸発ガス
は、ガス層２４と凝縮空間２４と１ζ対応する冷媒□流
通容器３２の外面、即ち、凝縮面化再凝縮、液化される
。尚、再凝縮、液化された液体ヘリウムは、冷媒流通容
器３２の凝縮面を流下した後１ζ内槽２１内の液体ヘリ
ウム萎ζ滴下して戻される。 本実施例では、凝縮手段での凝縮面を広くとることかで
きるため、内槽内での液体ヘリウムからの蒸発ガス量が
多量になっても該ガスを内槽内で充分１ζ再凝縮、液化
させることができる。 第３図は、本発明の第２の実施例を説明するもので、本
発明の一実施例を示す第２図と異なる点は、凝縮手段３
０′の冷媒流通管３１′を、例えは、Ｕ字型管とし、凝
縮空１５ｉ ３４’を冷媒流通管３１〆の外面とサポー
ト３３の内ｍ】とで形成した点である。 この場合、冷媒流通管３１’の下部は、サービスポート
２３．サポート３３より突出して内槽２１内のガス層２
４に位置している。また、冷媒流通管３１’の一方の口
には、供給管４２が連結され、他方の口ｌこは、戻り龜
４３か連結されている。尚、第３図で、その他第２図と
同一部品等は同一符号で示し説明を省略する。 本実施例では、上記−実施例で得た効果の他に次のよう
な効果を得ることができる。 （１）凝縮面を更に広くできるため、更に夛澁の蒸発ガ
スを内槽内で再凝縮、液化できる。 （２） 冷媒流通容器を不用にできるため、凝縮手段
の構造を簡単化でき、製作を容易化できる。 第４図は、本発明の第３の実施例を説明するもので、本
発明の一実施例を示す第２図と異なる点は、凝縮空間３
４の他に凝縮空間３４′を、冷媒流通ｔ３１′の内部に
対↓じ、して形成するように凝縮手段３０′を構成した
点である。尚、第４図で、その他第２図と同一部品等は
同一符号で示し説明を省略する。 本実施例では、上記一実施例で得た効果の他に次のよう
な効果を得ることかできる。 （１）凝縮面を更に広くできるため、更に多量の蒸発ガ
スと内槽内で再凝縮、液化できる。 第５図は、本発明の第４の実施例を示すもので、本発明
の一実施例を示す第２図と異なる点は、冷媒流通容器３
２の外側で凝縮空間３４とガス層２４に蒸発ガスの案内
管３５を設け、案内管３５の下端部を液体ヘリウム１こ
漬は液シールした点である。 この場合、ガス層２４の蒸発ガスは、サポート３３と案
内管３５との間を上昇し、上部でその流れ方向を変え、
案内管３５と冷媒流通容器３２の間を降下する。この間
、蒸発ガスは、冷媒流通容器３２の凝縮面で再凝輪、Ｐ
Ｉｋ化し、該液は、蒸発ガスと共に降下する。 本実施例では、案内管と冷媒流通容器との間での蒸発ガ
スの流れ方向と凝縮液の流れ方向が同一方向であるため
、冷媒流通容器の凝縮面の凝縮液膜は更に薄くなる。従
って、冷媒流通容器の凝縮面での凝縮性能が更に向上し
て交換熱量が増加する。 第６図は、本発明の第５の実施例を示すもので、本発明
の一実施例を示す第２図と異なる点は、液体ヘリウム補
給用の補給管３６を内槽２１内に連通してサポート３３
に連結した点である。尚、第６図で、その他第２因と同
一部品等は同一符号で示し説明を省略する。 本実施例では、上記一実施例で得た効果の他に次のよう
な効果を得ることができる。 （１）サービスポートに凝縮手段を挿設したままで、補
給管を介して外部より内槽内に液体ヘリウムを自由に、
しかも、内槽内での液体ヘリウムの蒸発を最小限にして
補給することができる。 尚、上記実施例では、冷媒供給手段としてヘリウム冷凍
機を用いているが、この他に、例えば、液体ヘリウムを
貯蔵するデユワ−と、該デエワー内の液体ヘリウムを凝
縮手段に供給する手段、例えば、液体ヘリウムポンプや
ガス圧を利用したものとで構成された冷媒供給手段を用
いても良い。 この場合、更に冷媒、液体ヘリウムの過冷却手段を設け
るようにすれば、更に低温、低圧の冷媒を凝縮手段番こ
供給できるので、内槽内の液体ヘリウムを更に低温、低
圧にすることかできる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、液化ガス貯蔵手段でのガス層と連刑す
る凝縮空間を有し冷媒が供給される凝縮手段を液化ガス
貯蔵手段のサービスポートに挿設することで、１ｌｉ１
１細面を広くとることができるため、液化ガス貯蔵手段
での蒸発ガス瓜が多量になっても該ガスを液化ガス貯蔵
手段内で充分に再に縮。 液化できるという効果かある。
ウム清凍機１０で生成された冷媒が供給管４２を介して
供給される。冷媒流通管３１に供給された冷媒は、冷媒
流通管３１内を流下し、その下端部の開口より冷媒流通
容器ＩＱｊに入り該空…ｊを上昇して流通する。これ−
こより冷媒流通容器３２は、ガス層２４の蒸発ガスを再
凝縮、液化可能な温度に冷却される。冷媒流通容器３２
を冷却した冷媒は、冷媒流通用空間から戻り管４３ Ｅ
入り戻り管４３を介してヘリウム冷凍［１０１ζ戻され
る。一方、ガス層２４と凝縮空間３４とｋある蒸発ガス
は、ガス層２４と凝縮空間２４と１ζ対応する冷媒□流
通容器３２の外面、即ち、凝縮面化再凝縮、液化される
。尚、再凝縮、液化された液体ヘリウムは、冷媒流通容
器３２の凝縮面を流下した後１ζ内槽２１内の液体ヘリ
ウム萎ζ滴下して戻される。 本実施例では、凝縮手段での凝縮面を広くとることかで
きるため、内槽内での液体ヘリウムからの蒸発ガス量が
多量になっても該ガスを内槽内で充分１ζ再凝縮、液化
させることができる。 第３図は、本発明の第２の実施例を説明するもので、本
発明の一実施例を示す第２図と異なる点は、凝縮手段３
０′の冷媒流通管３１′を、例えは、Ｕ字型管とし、凝
縮空１５ｉ ３４’を冷媒流通管３１〆の外面とサポー
ト３３の内ｍ】とで形成した点である。 この場合、冷媒流通管３１’の下部は、サービスポート
２３．サポート３３より突出して内槽２１内のガス層２
４に位置している。また、冷媒流通管３１’の一方の口
には、供給管４２が連結され、他方の口ｌこは、戻り龜
４３か連結されている。尚、第３図で、その他第２図と
同一部品等は同一符号で示し説明を省略する。 本実施例では、上記−実施例で得た効果の他に次のよう
な効果を得ることができる。 （１）凝縮面を更に広くできるため、更に夛澁の蒸発ガ
スを内槽内で再凝縮、液化できる。 （２） 冷媒流通容器を不用にできるため、凝縮手段
の構造を簡単化でき、製作を容易化できる。 第４図は、本発明の第３の実施例を説明するもので、本
発明の一実施例を示す第２図と異なる点は、凝縮空間３
４の他に凝縮空間３４′を、冷媒流通ｔ３１′の内部に
対↓じ、して形成するように凝縮手段３０′を構成した
点である。尚、第４図で、その他第２図と同一部品等は
同一符号で示し説明を省略する。 本実施例では、上記一実施例で得た効果の他に次のよう
な効果を得ることかできる。 （１）凝縮面を更に広くできるため、更に多量の蒸発ガ
スと内槽内で再凝縮、液化できる。 第５図は、本発明の第４の実施例を示すもので、本発明
の一実施例を示す第２図と異なる点は、冷媒流通容器３
２の外側で凝縮空間３４とガス層２４に蒸発ガスの案内
管３５を設け、案内管３５の下端部を液体ヘリウム１こ
漬は液シールした点である。 この場合、ガス層２４の蒸発ガスは、サポート３３と案
内管３５との間を上昇し、上部でその流れ方向を変え、
案内管３５と冷媒流通容器３２の間を降下する。この間
、蒸発ガスは、冷媒流通容器３２の凝縮面で再凝輪、Ｐ
Ｉｋ化し、該液は、蒸発ガスと共に降下する。 本実施例では、案内管と冷媒流通容器との間での蒸発ガ
スの流れ方向と凝縮液の流れ方向が同一方向であるため
、冷媒流通容器の凝縮面の凝縮液膜は更に薄くなる。従
って、冷媒流通容器の凝縮面での凝縮性能が更に向上し
て交換熱量が増加する。 第６図は、本発明の第５の実施例を示すもので、本発明
の一実施例を示す第２図と異なる点は、液体ヘリウム補
給用の補給管３６を内槽２１内に連通してサポート３３
に連結した点である。尚、第６図で、その他第２因と同
一部品等は同一符号で示し説明を省略する。 本実施例では、上記一実施例で得た効果の他に次のよう
な効果を得ることができる。 （１）サービスポートに凝縮手段を挿設したままで、補
給管を介して外部より内槽内に液体ヘリウムを自由に、
しかも、内槽内での液体ヘリウムの蒸発を最小限にして
補給することができる。 尚、上記実施例では、冷媒供給手段としてヘリウム冷凍
機を用いているが、この他に、例えば、液体ヘリウムを
貯蔵するデユワ−と、該デエワー内の液体ヘリウムを凝
縮手段に供給する手段、例えば、液体ヘリウムポンプや
ガス圧を利用したものとで構成された冷媒供給手段を用
いても良い。 この場合、更に冷媒、液体ヘリウムの過冷却手段を設け
るようにすれば、更に低温、低圧の冷媒を凝縮手段番こ
供給できるので、内槽内の液体ヘリウムを更に低温、低
圧にすることかできる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、液化ガス貯蔵手段でのガス層と連刑す
る凝縮空間を有し冷媒が供給される凝縮手段を液化ガス
貯蔵手段のサービスポートに挿設することで、１ｌｉ１
１細面を広くとることができるため、液化ガス貯蔵手段
での蒸発ガス瓜が多量になっても該ガスを液化ガス貯蔵
手段内で充分に再に縮。 液化できるという効果かある。
第１図は、本発明の一実施例を示す極低温冷却装置の構
成図、第２因は、第１図の要部縦断面図、第３−〜第６
図は、本発明の第２〜第５の実施例をそれぞれ示すもの
で、第２図と同一部位の縦断面図である。 ｌＯ・・・・・・ヘリウム冷凍機、２ｏ・・・・・・液
化ガス貯蔵手段、２３・・曲サービスポート、２４・・
曲ガス層、３０・・・・・・１１ＧＩ縮手段、３４・・
曲凝縮空間、４０第１図 ２４−−−−−−７／゛ス４ 第２図 牙３図 ′１′″４図 第５図
成図、第２因は、第１図の要部縦断面図、第３−〜第６
図は、本発明の第２〜第５の実施例をそれぞれ示すもの
で、第２図と同一部位の縦断面図である。 ｌＯ・・・・・・ヘリウム冷凍機、２ｏ・・・・・・液
化ガス貯蔵手段、２３・・曲サービスポート、２４・・
曲ガス層、３０・・・・・・１１ＧＩ縮手段、３４・・
曲凝縮空間、４０第１図 ２４−−−−−−７／゛ス４ 第２図 牙３図 ′１′″４図 第５図
Claims (1)
- １、冷媒を供給する冷媒供給手段と、サービスポートを
有する液化ガス貯蔵手段と、前記液化ガス貯蔵手段での
ガス層と連通する凝縮空間を有して前記サービスポート
に挿設され前記冷媒が供給される凝縮手段とを具備した
ことを特徴とする極低温冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046167A JPH06105137B2 (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 極低温冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046167A JPH06105137B2 (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 極低温冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62206351A true JPS62206351A (ja) | 1987-09-10 |
| JPH06105137B2 JPH06105137B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=12739458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61046167A Expired - Lifetime JPH06105137B2 (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 極低温冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105137B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55126168U (ja) * | 1979-03-02 | 1980-09-06 | ||
| JPS6073264A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | 株式会社東芝 | 極低温冷却装置 |
-
1986
- 1986-03-05 JP JP61046167A patent/JPH06105137B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55126168U (ja) * | 1979-03-02 | 1980-09-06 | ||
| JPS6073264A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | 株式会社東芝 | 極低温冷却装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06105137B2 (ja) | 1994-12-21 |
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