JPS62208864A - 平面研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、内歯歯車と太陽歯車とを昇降自在とした平面
研磨装置に関するものである。

［従来の技術］ 上下の定盤と内歯歯車及び太陽歯車を備え、両歯車によ
り遊星歯車状に駆動されるキャリヤに保持させたワーク
を上下の定盤により研磨するようにした平面研磨装置に
おいて、キャリヤの噛合位置を変えたりワークの取り出
しを行うために、下定盤を昇降させたり、あるいは内歯
歯車及び太陽歯車を昇降させるようにしたものは知られ
ている。

しかしながら、前者の場合には、昇降のための構成によ
って生ずるクリアランスで下定盤の回転精度が悪くなり
、加工精度が著しく低下するという欠点があり、また、
後者の場合には、例えば特開昭ｆｉｇ−１１４４８５号
公報に開示されているように、内歯歯車及び太陽歯車の
昇降をスクリュウジヤツキによって行うようにしたもの
が知られているが、単一のスクリュウジヤツキによって
内歯歯車及び太陽歯車の駆動軸をそれらの軸心から外れ
た位置で片持梁状に支持させ、その片寄った支持位置に
おいてそれらを昇降させるようにしていたため、偏荷重
の作用によって円滑な昇降が行われにくいという欠点が
あった。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、内歯歯車及び太陽歯車をその軸心の回
りの複数か所で安定的に支持させることにより、それら
を円滑且つ確実に昇降させ得るようにした平面研磨装置
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の平面研磨装置は、内
歯歯車用駆動軸及び太陽歯車用駆動軸に支持部材をそれ
ぞれ相対回転自在に取付け、これらの支持部材を上記駆
動軸の回りに一定間隔で位置する３本の支持棒によって
互いに連結すると共に、いずれかの支持部材を上記駆動
軸の回りに一定間隔で位置する３本のスクリュウジヤツ
キによって昇降自在に支持させたことを特徴とするもの
である。

［作　用］ 上記構成を有する平面研磨装置において、キャリヤに保
持されたワークの研磨は、両歯車により該キャリヤを遊
星歯車状に駆動させながら上下の定盤により公知の平面
研磨装置と同様にして行われる。

また、太陽歯車及び内歯歯車の昇降は、スクリュウジヤ
ツキを正逆に駆動することにより行われるが、このとき
、上記両歯車は、それらの駆動軸の回りに一定間隔で位
置する３本の支持棒と３本のスクリュウジャッキとによ
って支持されているため、片持梁状の支持に比べてそれ
らの支持が均等且つ安定化し、スクリュウジヤツキに偏
荷重が作用することがないため、昇降動作が非常に円滑
になる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。

第１図に示す平面研磨装置は、上下の定盤１１゜１２と
太陽歯車１３、及び内歯歯車１４を備え、両歯車１３．
１４で遊星歯車状に駆動されるキャリヤ１５ｃ保持させ
たワーク１６を上下の定ｆｉｌｌ、１２で研磨するよう
に構成したものである。

土足ｆｉｌｌは、機体に取付けられた図示しないシリン
ダによって昇降自在に支持され、その下降時に上定盤用
駆動軸２０の上端に設けられたドライバ２４と係合する
ようになっている。

上記上定盤用駆動軸２０は、機体に設けられた軸受部１
０ａに回転自在に支持されており、該駆動軸２０の回り
には、太陽歯車用駆動軸２２と下定盤用駆動軸２１とが
同心状に配設され、さらにその外側に、機枠１０ｃと一
体の支持筒部１０ｂを介して内歯歯車用駆動軸２３が同
心状に配設されている。そして、これら各駆動軸２０〜
２３の下端部には、それぞれギヤ２０ａ〜２３ａが設け
られ、これらのギヤが図示しない駆動源に連結されてい
る。

上記太陽歯車用駆動軸２２及び内歯歯車用駆動軸２３は
それぞれ昇降自在となっており、これらの駆動軸２２．
２３には、支持部材２８．２７がベアリング２８．２９
を介してそれぞれ相対回転自在且つ軸線方向に固定的に
取付けられている。これら２つの支持部材２８．２７は
、第２図からも明らかなように、上記駆動軸２２．２３
の回りに一定間隔で位置する３木の支持棒３０によって
互いに連結され、内歯歯車用駆動軸２３側の支持部材２
７は、駆動軸２２．２３の回りに一定間隔で位置する３
本のスクリュウジヤツキ３１によって昇降自在に支持さ
れている。このスクリュウジヤツキによる支持は、太陽
歯車用駆動軸２２側の支持部材２６について行うように
してもよい。

上記スクリュウジヤツキ３１は、機枠１０ｃ、１０ｄに
回転自在且つ軸線方向に固定的に取付けられた駆動側雄
螺子部材３２と、上記支持部材２７に固定された従動側
雌螺子部材３３とからなっており、該雌螺子部材３３内
に螺合する上記雄螺子部材３２の下端にはスプロケット
３４が取付けられ、各スプロケ−／　ト３４にチェーン
３５が無端状に巻掛けられている。そして、該チェーン
３５には、駆動源としてのモータ３６のスブロケッ）　
３８ａが連結されている。

上記各スプロケット３４は、それらにチェーン３５を確
実に巻掛けることができるようにするため、円周方向に
長い円弧状の取付孔を利用して雄螺子部材３２に調速自
在に取付けるのが望ましい。

なお、図中４０．４１は、研磨剤が軸部の方へ侵入する
のを防止するために設けられたシール部材である・ 上記構成を有する平面研磨装置において、キャリヤ１５
．に保持されたワーク１Ｂの研磨は、両歯車１３．１４
により該キャリヤ１５を遊星歯車状に駆動さ゛せながら
上下の定６ｕ、ｔ２により公知の平面研磨装着と同様に
して行われる。

研磨されたワーク１６の取出しを行う場合には、太陽歯
車１３及び内歯歯車１４を第１因に示す位置から下降さ
せるが、その下降はスクリュウジヤツキ３１により次の
ようにして行われる。即ち、モータ３Ｂにより駆動側雄
螺子部材３２を所定の方向に回転させると、それと螺合
する従動側雌螺子部材３３が下降し、該雌螺子部材３３
と一体の支持部材２７に支持された内歯歯車１４が下降
する。同時に、支持棒３０を介して上記支持部材２７と
一体をなす支持部材２６も下降するため、これに支持さ
れた太陽歯車１３が一緒に下降することになる。

太陽歯車１３及び内歯歯車１４を上昇させるときは、モ
ータ３６により駆動側雄螺子部材３２を逆向きに回転さ
せればよい。

ここで、上記両歯車１３．１４は、それらの駆動軸２２
．２３の回りに一定間隔で位置する３本の支持棒３ｏと
３本のスクリュウジャッキ３１とによって支持されてい
るため、片持梁状の支持に比べてそれらの支持が均等且
つ安定化し、スクリュウジヤツキに偏荷重が作用するこ
とがないため、その昇降動作が非常に円滑になる。

上記両歯車１３．１４の昇降位置の設定は、図示しない
リミットスイッチや近接スイッチ、光電素子等のセンサ
を用いて行われる。

［発明の効果］ このように本発明によれば、内歯歯車及び太陽歯車を、
それらの駆動軸の回りに一定間隔で位置する３木の支持
棒により互いに連結すると共に、同様に駆動軸の回りに
一定間隔で位置する３本のスクリュウジヤツキによって
昇降自在に支持させたので、片持梁状の支持に比べてそ
れらの支持を均等且つ安定化し、偏荷重の作用を無くし
てその昇降動作を非常に円滑化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図はそ
のＡ−Ａ線での断面図である。 １１・・上定盤、　　　１２・・下定盤、１３・・太陽
歯車　　　１４・・内歯歯車、１５・・キャリヤ、　　
　１８・・ワーク、２２・・太陽歯車用駆動軸、 ２３・・内歯歯車用駆動軸、 ２ｅ、２７　・・支持部材、３０ψ・支持棒、３１番・
スクリュウジヤツキ。 特許出願人　スピードファム株式会社 第１Ｅ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、上下の定盤と内歯歯車及び太陽歯車を備え、両歯車
   により遊星歯車状に駆動されるキャリヤに保持させたワ
   ークを上下の定盤により研磨するようにしたものにおい
   て、内歯歯車用駆動軸及び太陽歯車用駆動軸に支持部材
   をそれぞれ相対回転自在に取付け、これらの支持部材を
   上記駆動軸の回りに一定間隔で位置する３本の支持棒に
   よって互いに連結すると共に、いずれかの支持部材を上
   記駆動軸の回りに一定間隔で位置する３本のスクリュウ
   ジャッキによって昇降自在に支持させたことを特徴とす
   る平面研摩装置。