JPS62209221A - 静圧軸受 - Google Patents
静圧軸受Info
- Publication number
- JPS62209221A JPS62209221A JP5133986A JP5133986A JPS62209221A JP S62209221 A JPS62209221 A JP S62209221A JP 5133986 A JP5133986 A JP 5133986A JP 5133986 A JP5133986 A JP 5133986A JP S62209221 A JPS62209221 A JP S62209221A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- air supply
- pump
- thrust
- support surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、電子ビーム露光装置のような半導体露光装置
、Ｘ線露光装置、イオンビーム露光装置、蒸着装置、Ｃ
ＶＤ装置等において真空中で作動する装置の回転機構に
利用する静圧軸受に関するものである。
、Ｘ線露光装置、イオンビーム露光装置、蒸着装置、Ｃ
ＶＤ装置等において真空中で作動する装置の回転機構に
利用する静圧軸受に関するものである。
［発明の背景］
従来、真空内における回転部の軸受には一般に大気中で
使用されるボールベアリングを洗浄し、真空用グリース
を塗布したり、あるいはボールに金または銀のイオンブ
レーティング等の処置を施し使用しているが、いずれも
耐久性に問題があるばかりでなく、接触支持のため１μ
ｍ以下の回転精度を得ることは非常に困難であった。
使用されるボールベアリングを洗浄し、真空用グリース
を塗布したり、あるいはボールに金または銀のイオンブ
レーティング等の処置を施し使用しているが、いずれも
耐久性に問題があるばかりでなく、接触支持のため１μ
ｍ以下の回転精度を得ることは非常に困難であった。
［発明の目的］
本発明の目的は、真空内において、高い耐久性と回転精
度を得ることができる静圧軸受を提供することにある。
度を得ることができる静圧軸受を提供することにある。
この目的は本発明に従って、軸受本体と、この軸受本体
を包囲するハウジングと、このハウジング外に設置した
給気ポンプと、吸引ポンプとを備え、前記の軸受本体は
前記の給気ポンプに接続され、回転軸の支持表面へ流体
を案内噴出する案内噴出手段と、前記の吸引ポンプへ接
続され、前記の回転軸の支持表面へ流出した流体を吸引
排出するため前記の支持表面へ開いている排出路と、排
出路と交互に配置され前記の支持表面近くにのびる隔壁
とを備える静圧軸受によって達成される。
を包囲するハウジングと、このハウジング外に設置した
給気ポンプと、吸引ポンプとを備え、前記の軸受本体は
前記の給気ポンプに接続され、回転軸の支持表面へ流体
を案内噴出する案内噴出手段と、前記の吸引ポンプへ接
続され、前記の回転軸の支持表面へ流出した流体を吸引
排出するため前記の支持表面へ開いている排出路と、排
出路と交互に配置され前記の支持表面近くにのびる隔壁
とを備える静圧軸受によって達成される。
特に本発明の好ましい実施例では、回転軸とその両端の
スラスト受けとが形成する環状空間に環状の軸受本体を
配置し、回転軸を包囲する環状の軸受本体のラジアル面
に多孔質のラジアル軸受を設け、また前記のスラスト受
けに面する環状の軸受本体のスラスト面に内側に寄せて
多孔質のスラスト軸受を設け、更に前記のスラスト面に
外側に寄せて隔壁を設け、前記のラジアル軸受とスラス
ト軸受とに連通ずる軸受本体内の管路に給気ポンプを接
続し、隔壁間の軸受本体の表面とラジアル軸受とスラス
ト軸受との間の軸受本体の表面に開く管路に吸引ポンプ
を接続している。
スラスト受けとが形成する環状空間に環状の軸受本体を
配置し、回転軸を包囲する環状の軸受本体のラジアル面
に多孔質のラジアル軸受を設け、また前記のスラスト受
けに面する環状の軸受本体のスラスト面に内側に寄せて
多孔質のスラスト軸受を設け、更に前記のスラスト面に
外側に寄せて隔壁を設け、前記のラジアル軸受とスラス
ト軸受とに連通ずる軸受本体内の管路に給気ポンプを接
続し、隔壁間の軸受本体の表面とラジアル軸受とスラス
ト軸受との間の軸受本体の表面に開く管路に吸引ポンプ
を接続している。
［実施例］
第１図は本発明の静圧軸受の実施例の平面図で、第２図
は第１図の線ＡＢ 、ＣＢに沿う断面図である。１は回
転軸、２はスラスト受け、３は軸受本体を示す。静圧軸
受本体は、真空チャンバ内に収容されている。４はチャ
ンバ外の給気ポンプ、５は軸受本体３の管路であり、軸
受本体のラジアル面とスラスト面に開いている。６はス
ラスト軸受、７はラジアル軸受、８はスラスト隙間、９
はラジアル隙間、１０ａ−１０ｄは流体吸引排出部、１
１は軸受本体３の吸引排出部１０ａ、 １０ｂと連通す
る管路、１２ａ−１２ｃは隔壁、１３は吸引ポンプ、１
４．１６は軸受本体３の吸引排出部１０ｃ、 １０ｄと
連通する管路、そして１５は吸引ポンプである。
は第１図の線ＡＢ 、ＣＢに沿う断面図である。１は回
転軸、２はスラスト受け、３は軸受本体を示す。静圧軸
受本体は、真空チャンバ内に収容されている。４はチャ
ンバ外の給気ポンプ、５は軸受本体３の管路であり、軸
受本体のラジアル面とスラスト面に開いている。６はス
ラスト軸受、７はラジアル軸受、８はスラスト隙間、９
はラジアル隙間、１０ａ−１０ｄは流体吸引排出部、１
１は軸受本体３の吸引排出部１０ａ、 １０ｂと連通す
る管路、１２ａ−１２ｃは隔壁、１３は吸引ポンプ、１
４．１６は軸受本体３の吸引排出部１０ｃ、 １０ｄと
連通する管路、そして１５は吸引ポンプである。
給気ポンプ４から供給した空気は管路５を通りスラスト
軸受６とラジアル軸受７に給気される。
軸受６とラジアル軸受７に給気される。
スラスト軸受６とラジアル軸受７には、高剛性を得るこ
とができ、そして使用流量を低減させることができるの
で、多孔質材が用いられる。スラスト隙間８とラジアル
隙間９で流体潤滑膜を形成し、スラスト受け２と回転軸
１とを支承する空気は、流体排出部１０ａ、 １０ｂに
到り、そこから管路１１を通ってチャンバ外の大気に放
出される。このためスラスト隙間８とラジアル隙間９で
の圧力分布は大気中の場合と等しく、剛性も大気中での
剛性と等しい。
とができ、そして使用流量を低減させることができるの
で、多孔質材が用いられる。スラスト隙間８とラジアル
隙間９で流体潤滑膜を形成し、スラスト受け２と回転軸
１とを支承する空気は、流体排出部１０ａ、 １０ｂに
到り、そこから管路１１を通ってチャンバ外の大気に放
出される。このためスラスト隙間８とラジアル隙間９で
の圧力分布は大気中の場合と等しく、剛性も大気中での
剛性と等しい。
流体排出部１０ｂにおける圧力は大気圧とほぼ等しく１
気圧である。このため圧力の低いチャンバ側へ流出しよ
うとするが、隔壁１２ａによりスラスト受け２との隙間
を微少にしであるので管路抵抗が大きく、流体排出部１
０Ｃに流入する流量は極めて僅かである。更にチャンバ
外の吸引ポンプ１５により管路１４を通し流体排出部１
０ｃの排気を行ってこの部分の圧力を減少させる。更に
隔壁１２ｂによる管路抵抗、チャンバ外の吸引ポンプ１
３により管路１６を通して行なう流体排出部１０ｄの排
気と隔壁１２ｃによる管路抵抗とによりチャンバへ流出
する流量を非常に僅かにすることができる。
気圧である。このため圧力の低いチャンバ側へ流出しよ
うとするが、隔壁１２ａによりスラスト受け２との隙間
を微少にしであるので管路抵抗が大きく、流体排出部１
０Ｃに流入する流量は極めて僅かである。更にチャンバ
外の吸引ポンプ１５により管路１４を通し流体排出部１
０ｃの排気を行ってこの部分の圧力を減少させる。更に
隔壁１２ｂによる管路抵抗、チャンバ外の吸引ポンプ１
３により管路１６を通して行なう流体排出部１０ｄの排
気と隔壁１２ｃによる管路抵抗とによりチャンバへ流出
する流量を非常に僅かにすることができる。
チャンバ内の到達圧力はチャンバを吸引しているポンプ
の排気速度と静圧軸受からチャンバへ流出する流量のバ
ランスとにより決定される。例えばスラスト受け２と隔
壁１２との隙間を１０ｕｍ弱とし、吸引ポンプ１３．１
５に排気速度数百ＪＺ／ｍｉｎ程度の油回転ポンプを用
いると°流体排出部１０ｄの圧力をＩＸＩＱ−’）−ル
程度にすることができる。外径りを２ＱＯｍｍとしチャ
ンバを吸引しているポンプを排気速度１０００℃／ｓｅ
ｃのターボ分子ポンプとすれば、チャンバ内圧力を約１
０−’ ｌ−ルに保つことができる。
の排気速度と静圧軸受からチャンバへ流出する流量のバ
ランスとにより決定される。例えばスラスト受け２と隔
壁１２との隙間を１０ｕｍ弱とし、吸引ポンプ１３．１
５に排気速度数百ＪＺ／ｍｉｎ程度の油回転ポンプを用
いると°流体排出部１０ｄの圧力をＩＸＩＱ−’）−ル
程度にすることができる。外径りを２ＱＯｍｍとしチャ
ンバを吸引しているポンプを排気速度１０００℃／ｓｅ
ｃのターボ分子ポンプとすれば、チャンバ内圧力を約１
０−’ ｌ−ルに保つことができる。
スラスト受け２と隔壁１２との隙間を更に狭くし、チャ
ンバを吸引するポンプの排気速度を更に高め、流体排出
部と隔壁の数を増加させて最終流体排出部の圧力を減少
させることによりチャンバ内圧力を１０−６１−ル程度
にできる。
ンバを吸引するポンプの排気速度を更に高め、流体排出
部と隔壁の数を増加させて最終流体排出部の圧力を減少
させることによりチャンバ内圧力を１０−６１−ル程度
にできる。
本実施例ではスラスト軸受とラジアル軸受を組合せた静
圧軸受を示したが、スラスト軸受単体、またはラジアル
軸受単体でも同様な構成とすることができる。
圧軸受を示したが、スラスト軸受単体、またはラジアル
軸受単体でも同様な構成とすることができる。
［発明の効果］
本発明により真空雰囲気内における静圧軸受の耐久性と
回転精度とを高めることができるようになった。
回転精度とを高めることができるようになった。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図のＡＢ、ＢＣに沿う断面図である。 １：回転軸 ２ニスラスト受け ３：軸受本体 ４：給気ポンプ ５：管路 ６：スラスト軸受 ７：ラジアル軸受 ８ニスラスト隙間 ９ニラシアル隙間 １０ａ −１０ｄ ：流体排出部 １１：管路 １２ａ−１２ｃ：隔壁 １３：吸引ポンプ １４：管路 １５：吸引ポンプ。
図のＡＢ、ＢＣに沿う断面図である。 １：回転軸 ２ニスラスト受け ３：軸受本体 ４：給気ポンプ ５：管路 ６：スラスト軸受 ７：ラジアル軸受 ８ニスラスト隙間 ９ニラシアル隙間 １０ａ −１０ｄ ：流体排出部 １１：管路 １２ａ−１２ｃ：隔壁 １３：吸引ポンプ １４：管路 １５：吸引ポンプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸受本体と、この軸受本体を包囲するハウジングと
、このハウジング外に設置した給気ポンプと、吸引ポン
プとを備え、 前記の軸受本体は、前記の給気ポンプに接続され、回転
軸の支持表面へ流体を案内噴出する案内噴出手段と、前
記の吸引ポンプへ接続され前記の回転軸の支持表面へ流
出した流体を吸引排出するため前記の支持表面へ開いて
いる排出路と、排出路と交互に配置され前記の支持表面
近くにのびる隔壁とを備える ことを特徴とする静圧軸受。 ２、前記の案内噴出手段が前記の給気ポンプに接続され
た給気路と、この給気路と接続している多孔質のスラス
ト軸受とを備える特許請求の範囲第１項に記載の静圧軸
受。 ３、前記の案内噴出手段が前記の給気ポンプに接続され
た給気路と、この給気路と接続している多孔質のラジア
ル軸受とを備える特許請求の範囲第１項に記載の静圧軸
受。 ４、前記の案内噴出手段が前記の給気ポンプに接続され
た給気路と、この給気路と接続している多孔質のスラス
ト軸受とラジアル軸受とを備える特許請求の範囲第１項
に記載の静圧軸受。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5133986A JPS62209221A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 静圧軸受 |
| US06/906,272 US4749283A (en) | 1985-09-12 | 1986-09-10 | Static pressure bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5133986A JPS62209221A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 静圧軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62209221A true JPS62209221A (ja) | 1987-09-14 |
Family
ID=12884164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5133986A Pending JPS62209221A (ja) | 1985-09-12 | 1986-03-11 | 静圧軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62209221A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02209622A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-21 | Nippon Seiko Kk | 静圧気体軸受 |
| TWI412673B (zh) * | 2009-06-08 | 2013-10-21 | 私立中原大學 | 一種一體化靜壓軸承 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5095644A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-07-30 |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP5133986A patent/JPS62209221A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5095644A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-07-30 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02209622A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-21 | Nippon Seiko Kk | 静圧気体軸受 |
| TWI412673B (zh) * | 2009-06-08 | 2013-10-21 | 私立中原大學 | 一種一體化靜壓軸承 |
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