JPS6221114A - デ−タ取得装置 - Google Patents
デ−タ取得装置Info
- Publication number
- JPS6221114A JPS6221114A JP16005385A JP16005385A JPS6221114A JP S6221114 A JPS6221114 A JP S6221114A JP 16005385 A JP16005385 A JP 16005385A JP 16005385 A JP16005385 A JP 16005385A JP S6221114 A JPS6221114 A JP S6221114A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- microscope
- data acquisition
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- Pending
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- Indicating Measured Values (AREA)
- Recording Measured Values (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Indication In Cameras, And Counting Of Exposures (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、データ取得装置に関し、特に顕微鏡を用いて
観察および計測等を行なう場合に顕微鏡から目を離すこ
となく計測データを収録できるようにした装置に関する
。
観察および計測等を行なう場合に顕微鏡から目を離すこ
となく計測データを収録できるようにした装置に関する
。
［発明の背景］
従来、顕微鏡を用いて例えば半導体ウェハあるいはフォ
トマスク等を観察し各種のデータを取得する場合、デー
タを読み取るごとに顕微鏡から目を離して記録用紙等に
測定データを記入するか、あるいはデータを読み取る者
と該データを書き取る者とが２人１組になってデータ取
得を行なっていた。
トマスク等を観察し各種のデータを取得する場合、デー
タを読み取るごとに顕微鏡から目を離して記録用紙等に
測定データを記入するか、あるいはデータを読み取る者
と該データを書き取る者とが２人１組になってデータ取
得を行なっていた。
このため、データ取得作業における能率が非常に悪くな
り測定精度が低下すると共に、データ取得のために無駄
な人手を要するという不都合があった。
り測定精度が低下すると共に、データ取得のために無駄
な人手を要するという不都合があった。
［発明の概要および目的］
本発明は、前述の従来形における問題点に鑑み、データ
取得装置において、測定者自身が顕微鏡から目を離すこ
となくデータを計測および収録できるようにし、データ
取得能率および測定精度を向上させかつデータ取得に要
する人手を軽減することを目的とする。
取得装置において、測定者自身が顕微鏡から目を離すこ
となくデータを計測および収録できるようにし、データ
取得能率および測定精度を向上させかつデータ取得に要
する人手を軽減することを目的とする。
上述の目的を達成するため、本発明に係わるデータ取得
装置は、顕微鏡手段の視野内にデータ表示を行なう表示
手段と該表示手段に表示用データを供給するためのデー
タ入力手段と該表示用データを記憶するデータ収録手段
とを具備することを特徴とする特 ［発明の実施例１ 以下、図面により本発明の詳細な説明する。
装置は、顕微鏡手段の視野内にデータ表示を行なう表示
手段と該表示手段に表示用データを供給するためのデー
タ入力手段と該表示用データを記憶するデータ収録手段
とを具備することを特徴とする特 ［発明の実施例１ 以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の１実施例に係わるデータ取得装置に
おける顕微鏡視野内の様子を示すものである。同図に示
すように、顕微鏡の接眼レンズの視野１内には、例えば
接眼レンズに取り付けられ該視野１内にデータ表示を行
なうデータ表示部２、観察像３、およびスケール４が見
えている。
おける顕微鏡視野内の様子を示すものである。同図に示
すように、顕微鏡の接眼レンズの視野１内には、例えば
接眼レンズに取り付けられ該視野１内にデータ表示を行
なうデータ表示部２、観察像３、およびスケール４が見
えている。
第２図は、第１図に示すような視野を有する顕微鏡１１
５を備えたデータ取得装置の全体構成を示す。同図の装
置は、顕微！ｆ１５と、データ入力装置６と、データ収
録装置７とを有している。顕微鏡５の接眼レンズ８には
第１図に示すようなデータ表示を行なうデータ表示部が
設けられており、このデータ表示部とデータ入力装置６
、およびデータ入力装置６とデータ収録装置７との間は
それぞれデータ転送ケーブル９ａおよび９ｂによって接
続されている。データ入力装置６は例えばキーボード６
ａおよび表示器６ｂを有している。データ収録装置７は
、例えばフロッピデスクを用いたものでもよく、あるい
は半導体メモリ等の固体メモリによってデータを記憶す
るものでもよい。
５を備えたデータ取得装置の全体構成を示す。同図の装
置は、顕微！ｆ１５と、データ入力装置６と、データ収
録装置７とを有している。顕微鏡５の接眼レンズ８には
第１図に示すようなデータ表示を行なうデータ表示部が
設けられており、このデータ表示部とデータ入力装置６
、およびデータ入力装置６とデータ収録装置７との間は
それぞれデータ転送ケーブル９ａおよび９ｂによって接
続されている。データ入力装置６は例えばキーボード６
ａおよび表示器６ｂを有している。データ収録装置７は
、例えばフロッピデスクを用いたものでもよく、あるい
は半導体メモリ等の固体メモリによってデータを記憶す
るものでもよい。
以上のような構成を有するデータ取得装置においては、
観察者は観察試料１０を顕微鏡５にセットし、顕微＆ｌ
ｔ５の試料台を動かすと共に焦点を合わせながら観察像
３を顕微鏡接眼レンズの視野１内に移動させる。次に、
スケール４および観察像３から例えば−１，０の値を読
み取り、顕微鏡わきにおかれたデータ入力装置６のキー
ボード６ａから読取値−１，０を入力する。この時、観
察者は接眼レンズ８から目を離すことなく読み取り値−
１，０を入力することができる。データ入力装置６から
入力された読取値−１，０はデータ転送ケーブル９ａを
経由して接眼レンズ８に取り付けられたデータ表示部２
に表示される。これにより、観察者は入力したデータを
データ表示部２によって確認し正しくデータ入力が行な
われているか否かを知ることができる。もし、正しくデ
ータ入力が行なわれておれば、データ入力装置６のキー
ボード６ａに設けられたデータ入力指令キーを押下する
。これにより、読取値−１，０がデータ入力装置６から
データ転送ケーブル９ｂを経由してデータ収録装置１に
入力され記録される。
観察者は観察試料１０を顕微鏡５にセットし、顕微＆ｌ
ｔ５の試料台を動かすと共に焦点を合わせながら観察像
３を顕微鏡接眼レンズの視野１内に移動させる。次に、
スケール４および観察像３から例えば−１，０の値を読
み取り、顕微鏡わきにおかれたデータ入力装置６のキー
ボード６ａから読取値−１，０を入力する。この時、観
察者は接眼レンズ８から目を離すことなく読み取り値−
１，０を入力することができる。データ入力装置６から
入力された読取値−１，０はデータ転送ケーブル９ａを
経由して接眼レンズ８に取り付けられたデータ表示部２
に表示される。これにより、観察者は入力したデータを
データ表示部２によって確認し正しくデータ入力が行な
われているか否かを知ることができる。もし、正しくデ
ータ入力が行なわれておれば、データ入力装置６のキー
ボード６ａに設けられたデータ入力指令キーを押下する
。これにより、読取値−１，０がデータ入力装置６から
データ転送ケーブル９ｂを経由してデータ収録装置１に
入力され記録される。
なお、上述の実施例においては、データ表示部２には数
値が表示されているが、データ表示部としてＯｌ・・・
、 （Ｊ、 ４−、−、 ・等の数字および記号の
脇に発光ダイオードを配置したものを用いかつデータ入
力装置６をキーボード方式からジョイスティック方式に
置き代え、発光ダイオードの発光場所をジョイスティッ
クによって移動させることにより読取値を入力させるこ
とも可能である。この方法では、キーボードを用いる場
合よりもデータ入力が一層容易になる。
値が表示されているが、データ表示部としてＯｌ・・・
、 （Ｊ、 ４−、−、 ・等の数字および記号の
脇に発光ダイオードを配置したものを用いかつデータ入
力装置６をキーボード方式からジョイスティック方式に
置き代え、発光ダイオードの発光場所をジョイスティッ
クによって移動させることにより読取値を入力させるこ
とも可能である。この方法では、キーボードを用いる場
合よりもデータ入力が一層容易になる。
また、読取値をデータ収録装置７に入力するだけでなく
、コンピュータ装置にも入力させ、読取値に対して計算
処理を施しその結果を接眼レンズ視野内のデータ表示部
２に出力することも可能である。この場合には、顕微鏡
から目を離すことなしに読取値に対する計算処理結果を
も確認できることとなる。
、コンピュータ装置にも入力させ、読取値に対して計算
処理を施しその結果を接眼レンズ視野内のデータ表示部
２に出力することも可能である。この場合には、顕微鏡
から目を離すことなしに読取値に対する計算処理結果を
も確認できることとなる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、顕微鏡の接眼レ
ンズ等にデータ表示装置を取り付けるという簡単な方法
により顕微鏡視野内にデータ表示ができるようにし、入
力装置から入力したデータを顕微鏡視野内で確認できる
ようにしたため、顕微鏡から目を離すことなく観察結果
である読取値および該読取値に演算処理を施した演算結
果の値等を確認しながらデータ取得を行なうことが可能
になる。したがって、データ取得作業の能率が向上し誤
りのないデータ取得が可能になると共に、データ取得に
要する人手を少なくすることができる。
ンズ等にデータ表示装置を取り付けるという簡単な方法
により顕微鏡視野内にデータ表示ができるようにし、入
力装置から入力したデータを顕微鏡視野内で確認できる
ようにしたため、顕微鏡から目を離すことなく観察結果
である読取値および該読取値に演算処理を施した演算結
果の値等を確認しながらデータ取得を行なうことが可能
になる。したがって、データ取得作業の能率が向上し誤
りのないデータ取得が可能になると共に、データ取得に
要する人手を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の１実施例に係わるデータ取得装置の
接眼レンズの視野内の様子を示す説明図、そして第２図
は第１図のような接眼レンズ視野を有する顕微鏡を含む
データ取得装置の絶対構成を示すブロック構成図である
。 １：接眼レンズ視野、２：データ表示部、３：観察像、
４ニスケール、５：顕微鏡、６：データ。 入力装置、６ａ：キーボード、６ｂ：表示器、１：デー
タ収録装置、８：接眼レンズ、９ａ、９ｂ：データ転送
ケーブル、１０：観察試料。
接眼レンズの視野内の様子を示す説明図、そして第２図
は第１図のような接眼レンズ視野を有する顕微鏡を含む
データ取得装置の絶対構成を示すブロック構成図である
。 １：接眼レンズ視野、２：データ表示部、３：観察像、
４ニスケール、５：顕微鏡、６：データ。 入力装置、６ａ：キーボード、６ｂ：表示器、１：デー
タ収録装置、８：接眼レンズ、９ａ、９ｂ：データ転送
ケーブル、１０：観察試料。
Claims (1)
- 顕微鏡手段と、該顕微鏡手段の視野内にデータ表示を行
なう表示手段と、該表示手段に表示用データを供給する
ためのデータ入力手段と、該表示用データを記憶するデ
ータ収録手段とを具備することを特徴とするデータ取得
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16005385A JPS6221114A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | デ−タ取得装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16005385A JPS6221114A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | デ−タ取得装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6221114A true JPS6221114A (ja) | 1987-01-29 |
Family
ID=15706891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16005385A Pending JPS6221114A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | デ−タ取得装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6221114A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001088591A1 (de) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Optisches beobachtungsgerät mit einer einrichtung zum einbringen visuell wahrnehmbarer informationen in den beobachtungsstrahlengang |
| JP2009052259A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Kajima Road Co Ltd | 道路補修用のロードヒータ装置 |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP16005385A patent/JPS6221114A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001088591A1 (de) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Optisches beobachtungsgerät mit einer einrichtung zum einbringen visuell wahrnehmbarer informationen in den beobachtungsstrahlengang |
| JP2009052259A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Kajima Road Co Ltd | 道路補修用のロードヒータ装置 |
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