JPS6221969Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6221969Y2 JPS6221969Y2 JP11888978U JP11888978U JPS6221969Y2 JP S6221969 Y2 JPS6221969 Y2 JP S6221969Y2 JP 11888978 U JP11888978 U JP 11888978U JP 11888978 U JP11888978 U JP 11888978U JP S6221969 Y2 JPS6221969 Y2 JP S6221969Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- inspected
- rotary table
- frame
- radiation source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、放射線（Ｘ線やγ線等）を応用して
被検査物体の任意の断面図（断層像）を得る放射
線応用検査装置の走査機構に関するものである。
被検査物体の任意の断面図（断層像）を得る放射
線応用検査装置の走査機構に関するものである。
非破壊検査の必要性は近年ますます高くなつて
きた。この非破壊検査の対象には種々の形状の物
体がある。したがつて、非破壊検査を行う装置の
検出部は、全ての形状の検査対象について必要な
情報を得られるようなものでなければならない。
きた。この非破壊検査の対象には種々の形状の物
体がある。したがつて、非破壊検査を行う装置の
検出部は、全ての形状の検査対象について必要な
情報を得られるようなものでなければならない。
本考案の目的は、このような要求を満足し、し
かも構成が簡単な走査機構を提供することにあ
る。
かも構成が簡単な走査機構を提供することにあ
る。
以下図面を用て本考案を詳細に説明する。
第１図は本考案に係る放射線応用検査装置の検
出部の一実施例を示す原理的構成図である。図に
おいて、１は被検査物体Ｓ（図はドーナツ状物体
を示した）を回転させるための回転テーブルで、
１１がその回転中心軸である。２は回転中心軸１
１にほぼ平行な平面上に扇状のビーム（fan
beamと呼ばれるもので、扇状に広がり一定の厚
さをもつたビーム）を放射する放射線源、３は円
弧状に配列された検出器群３１でなるセンサ、４
は放射線源２を出した扇状のビームを検出器群３
１が受けるように放射線源２とセンサ３とを対向
した位置関係で固定するためのフレームである。
５は扇状のビームが成す面とほぼ直角の方向に扇
状のビームを移動させるためフレーム４を動かす
駆動部で、数値制御工作機械等において用いられ
る直線送りと同様な機構を有するものである。
出部の一実施例を示す原理的構成図である。図に
おいて、１は被検査物体Ｓ（図はドーナツ状物体
を示した）を回転させるための回転テーブルで、
１１がその回転中心軸である。２は回転中心軸１
１にほぼ平行な平面上に扇状のビーム（fan
beamと呼ばれるもので、扇状に広がり一定の厚
さをもつたビーム）を放射する放射線源、３は円
弧状に配列された検出器群３１でなるセンサ、４
は放射線源２を出した扇状のビームを検出器群３
１が受けるように放射線源２とセンサ３とを対向
した位置関係で固定するためのフレームである。
５は扇状のビームが成す面とほぼ直角の方向に扇
状のビームを移動させるためフレーム４を動かす
駆動部で、数値制御工作機械等において用いられ
る直線送りと同様な機構を有するものである。
今第２図に示すように、被検査物体を包含する
ような大きさの立体（ここでは立方体）を想定
し、これがＮ×Ｎ×Ｎ個の要素（立方体）からな
つていると考えると、この立体に入射した放射線
（以下Ｘ線を例にとつて説明する）は、透過経路
Ｌ上の各要素による吸収によつて順次減衰され
る。この場合の透過Ｘ線強度Ｉは、透過前のＸ線
強度をI0、要素δijkのＸ線吸収係数をμijk、要
素δijk内の透過経路Ｌの長さをΔlijkとすると、
次のようになる。
ような大きさの立体（ここでは立方体）を想定
し、これがＮ×Ｎ×Ｎ個の要素（立方体）からな
つていると考えると、この立体に入射した放射線
（以下Ｘ線を例にとつて説明する）は、透過経路
Ｌ上の各要素による吸収によつて順次減衰され
る。この場合の透過Ｘ線強度Ｉは、透過前のＸ線
強度をI0、要素δijkのＸ線吸収係数をμijk、要
素δijk内の透過経路Ｌの長さをΔlijkとすると、
次のようになる。
ここで、透過前のＸ線強度I0は既知であり、透
過Ｘ線強度Ｉも検出器（第１図装置の31相当）の
出力から知ることができる。また、Δlijkは、透
過経路Ｌが特定されれば、その値が決まる。した
がつて、一つの透過経路Ｌによつて、その透過経
路Ｌ上の各要素（δijk）のＸ線吸収係数（μ
ijk）に関する一次の関係式を求めることができ
る。種々の透過経路Ｌを選び、全てのＸ線吸収係
数（μijk）に関する関係式を求め、これらの連
立方程式を解けば、全ての要素（δijk）のＸ線
吸収係数（μijk）を知ることができる。この計
算はコンピユータを用いて行われ、各要素（δ
ijk）のＸ線吸収係数（μijk）はコンピユータに
全て記憶される。更に、各要素（δijk）のＸ線
吸収係数（μijk）がどのようにして求められる
かについて、詳しく説明する。
過Ｘ線強度Ｉも検出器（第１図装置の31相当）の
出力から知ることができる。また、Δlijkは、透
過経路Ｌが特定されれば、その値が決まる。した
がつて、一つの透過経路Ｌによつて、その透過経
路Ｌ上の各要素（δijk）のＸ線吸収係数（μ
ijk）に関する一次の関係式を求めることができ
る。種々の透過経路Ｌを選び、全てのＸ線吸収係
数（μijk）に関する関係式を求め、これらの連
立方程式を解けば、全ての要素（δijk）のＸ線
吸収係数（μijk）を知ることができる。この計
算はコンピユータを用いて行われ、各要素（δ
ijk）のＸ線吸収係数（μijk）はコンピユータに
全て記憶される。更に、各要素（δijk）のＸ線
吸収係数（μijk）がどのようにして求められる
かについて、詳しく説明する。
一つの要素Ｐについて考える。第３図には、Ｐ
を固定して考えた時、回転テーブル１の回転とフ
レーム４の移動を適宜に行うことにより生じた、
要素Ｐを通るスライス面r0，ｒi，ｒk，ｒi′，
r0′を示している。これらのスライス面を示す直
線上の点O0，Oi，Ok，Oi′，O0′は相対的な放射
線源の位置を示す。第４図は第３図の紙面に垂直
な面での要素Ｐと放射線源O0〜O0′及び検出器D0
〜D0′の相対位置について示したものである。す
なわち、O0より発射された放射線はＰを通りD0
のQ0で検出される。以下同様にOi，Ok，Oi′，
O0′より発射されＰを通る放射線はQi，Qk，
Qi′，Q0′で検出される。
を固定して考えた時、回転テーブル１の回転とフ
レーム４の移動を適宜に行うことにより生じた、
要素Ｐを通るスライス面r0，ｒi，ｒk，ｒi′，
r0′を示している。これらのスライス面を示す直
線上の点O0，Oi，Ok，Oi′，O0′は相対的な放射
線源の位置を示す。第４図は第３図の紙面に垂直
な面での要素Ｐと放射線源O0〜O0′及び検出器D0
〜D0′の相対位置について示したものである。す
なわち、O0より発射された放射線はＰを通りD0
のQ0で検出される。以下同様にOi，Ok，Oi′，
O0′より発射されＰを通る放射線はQi，Qk，
Qi′，Q0′で検出される。
このようにして要素Ｐについて３次元的に種々
の通過経路を選びＸ線吸収係数に関する情報を得
ることができる。
の通過経路を選びＸ線吸収係数に関する情報を得
ることができる。
上記と同様にして他の要素についてもＸ線吸収
係数に関する情報を得ることができる。そしてコ
ンピユータの演算により、これらの情報から立体
の各要素（δijk）のＸ線吸収係数（μijk）をそ
れぞれ求める。
係数に関する情報を得ることができる。そしてコ
ンピユータの演算により、これらの情報から立体
の各要素（δijk）のＸ線吸収係数（μijk）をそ
れぞれ求める。
このように本発明は、被検査物体の回転と、放
射線源と検出器との被検査物体の回転軸に対する
直角方向への移動のみにより、被検査物体の各要
素に対して３次元的に多数の方向から放射線を投
射することができ、これにより被検査物体におけ
る立体部分の各要素（δijk）のＸ線吸収係数
（μijk）を得ることができるようになつている。
立体の任意の断面図は、例えば第５図に示すＡあ
るいはＢ等のような所望の断面を選び、の目的断
面上に露出している各要素（δijk）のＸ線吸収
係数（μijk）をメモリから読み出し、各Ｘ線吸
収係数（μijk）に応じた濃淡又は色彩をその要
素（δijk）の露出面につけて、CRT上に表示す
ることによつて得られる。被検査物体の断面図は
上記立体の断面図内に現われるから、このように
表示された断面図は被検査物体の断面図となる。
射線源と検出器との被検査物体の回転軸に対する
直角方向への移動のみにより、被検査物体の各要
素に対して３次元的に多数の方向から放射線を投
射することができ、これにより被検査物体におけ
る立体部分の各要素（δijk）のＸ線吸収係数
（μijk）を得ることができるようになつている。
立体の任意の断面図は、例えば第５図に示すＡあ
るいはＢ等のような所望の断面を選び、の目的断
面上に露出している各要素（δijk）のＸ線吸収
係数（μijk）をメモリから読み出し、各Ｘ線吸
収係数（μijk）に応じた濃淡又は色彩をその要
素（δijk）の露出面につけて、CRT上に表示す
ることによつて得られる。被検査物体の断面図は
上記立体の断面図内に現われるから、このように
表示された断面図は被検査物体の断面図となる。
上述のようにしてあるいはこれと類似の手法に
よつて被検査物体の断面図を求めるため、この種
の装置の検出部は、Ｘ線のビームが上記要素（δ
ijk）の全てを通過し得るように構成されている
ことが必要である。本考案走査機構は、すでに第
１図に示したように、回転できる回転テーブル、
扇状のビームを受けるセンサ３（検出器群３
１）、および直線運動するフレーム４を備えてお
り、これらによつてＸ線吸収係数（μijk）を求
めるのに必要な数の透過経路を得ている。データ
の取得のために行う回転テーブル１およびフレー
ム４の移動は、どのような順序であつても良い。
一例を示せば次の通りである。まず回転テーブル
１を一定の位置に止め、フレーム４を直線運動さ
せ、フレーム４の一定移動距離毎のデータを取得
する。次に回転テーブル１を一定の角度だけ回転
させ、その後フレーム４を直線運動させ、フレー
ム４の一定移動距離毎のデータを取得する。以下
同様に、回転テーブル１が回転するまで上述の動
作を繰り返す。これにより、要素（δijk）の任
意一つについてみれば種々の方向のＸ線が通るこ
とになり、Ｘ線吸収係数（μijk）を求めるに十
分な数の関係式を得ることができる。回転テーブ
ル１およびフレーム４の移動の他の方法として、
回転テーブル１の回転運動とフレーム４の直線運
動を同期させ、その移動速度を分解能に支障を与
えない程度に選ぶような方法をとれば、回転テー
ブル１およびフレーム４を連続的に移動させなが
らデータの取得を行うことができる。この場合に
おいて、被検査物体の形状は、回転テーブル１上
にのるものであれば良いので、特に制約を受けな
いという利点がある。
よつて被検査物体の断面図を求めるため、この種
の装置の検出部は、Ｘ線のビームが上記要素（δ
ijk）の全てを通過し得るように構成されている
ことが必要である。本考案走査機構は、すでに第
１図に示したように、回転できる回転テーブル、
扇状のビームを受けるセンサ３（検出器群３
１）、および直線運動するフレーム４を備えてお
り、これらによつてＸ線吸収係数（μijk）を求
めるのに必要な数の透過経路を得ている。データ
の取得のために行う回転テーブル１およびフレー
ム４の移動は、どのような順序であつても良い。
一例を示せば次の通りである。まず回転テーブル
１を一定の位置に止め、フレーム４を直線運動さ
せ、フレーム４の一定移動距離毎のデータを取得
する。次に回転テーブル１を一定の角度だけ回転
させ、その後フレーム４を直線運動させ、フレー
ム４の一定移動距離毎のデータを取得する。以下
同様に、回転テーブル１が回転するまで上述の動
作を繰り返す。これにより、要素（δijk）の任
意一つについてみれば種々の方向のＸ線が通るこ
とになり、Ｘ線吸収係数（μijk）を求めるに十
分な数の関係式を得ることができる。回転テーブ
ル１およびフレーム４の移動の他の方法として、
回転テーブル１の回転運動とフレーム４の直線運
動を同期させ、その移動速度を分解能に支障を与
えない程度に選ぶような方法をとれば、回転テー
ブル１およびフレーム４を連続的に移動させなが
らデータの取得を行うことができる。この場合に
おいて、被検査物体の形状は、回転テーブル１上
にのるものであれば良いので、特に制約を受けな
いという利点がある。
なお、上記の実施例においては、ドーナツ状の
被検査物体Ｓを対象としたものを示したが、形状
をこれに限る必要はない。また、フレーム４を直
線運動させるような駆動部５を用いたものを示し
たが、逆に回転テーブル１を直線運動させるよう
に駆動部５を構成しても良い。さらに、被検査物
体が小さく回転テーブル１上の一部のみを占める
場合、回転テーブル１を360゜回転する必要はな
い。また、断面図を構成する手法には種々のもの
がある。上記手法以外の手法を用いた検査装置に
も本考案走査機構を用いることができることはも
ちろんである。
被検査物体Ｓを対象としたものを示したが、形状
をこれに限る必要はない。また、フレーム４を直
線運動させるような駆動部５を用いたものを示し
たが、逆に回転テーブル１を直線運動させるよう
に駆動部５を構成しても良い。さらに、被検査物
体が小さく回転テーブル１上の一部のみを占める
場合、回転テーブル１を360゜回転する必要はな
い。また、断面図を構成する手法には種々のもの
がある。上記手法以外の手法を用いた検査装置に
も本考案走査機構を用いることができることはも
ちろんである。
以上説明したように、本考案によれば、回転テ
ーブル１、扇状ビームを受ける検出器群３１、お
よび移動するフレーム４等を備えるという簡単な
構成で、いかなる形状の被検査物体をも対象とで
きる検出部を実現することができる。
ーブル１、扇状ビームを受ける検出器群３１、お
よび移動するフレーム４等を備えるという簡単な
構成で、いかなる形状の被検査物体をも対象とで
きる検出部を実現することができる。
第１図は本考案に係る放射線応用検査装置の走
査機構の一実施例を示す原理的構成図、第２図は
放射線応用検査装置における断面図表示の一手法
を示すための説明図、第３図及び第４図は要素Ｐ
に関するＸ線透過経路を説明するための図、第５
図は求め得る断面の例を示す図である。 １……回転テーブル、１１……回転中心軸、２
……放射線源、３……センサ、３１……検出器
群、４……フレーム、５……駆動部。
査機構の一実施例を示す原理的構成図、第２図は
放射線応用検査装置における断面図表示の一手法
を示すための説明図、第３図及び第４図は要素Ｐ
に関するＸ線透過経路を説明するための図、第５
図は求め得る断面の例を示す図である。 １……回転テーブル、１１……回転中心軸、２
……放射線源、３……センサ、３１……検出器
群、４……フレーム、５……駆動部。
Claims (1)
- 被検査物体を回転させるための回転テーブル
と、この被検査物体に放射線を照射する放射線源
と、この放射線源から放射される扇状の放射線ビ
ームを受け放射線の強さを検出する円弧状配列の
検出器群でなるセンサと、前記被検査物体をはさ
むように前記放射線源とセンサを対向させた位置
関係で固定するためのフレームと、前記被検査物
体の回転軸に直角な方向に放射線源とセンサを一
体的に移動させるため前記フレーム又は前記回転
テーブルを動かす駆動手段とを具備し、前記回転
テーブルの回転と、前記駆動手段による被検査物
体の回転軸に対する直角方向への放射線ビームの
移動とにより被検査物体の目的部分に対し３次元
的な多数の角度から放射線を投射できるようにし
たことを特徴とする放射線応用検査装置の走査機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11888978U JPS6221969Y2 (ja) | 1978-08-30 | 1978-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11888978U JPS6221969Y2 (ja) | 1978-08-30 | 1978-08-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5536335U JPS5536335U (ja) | 1980-03-08 |
| JPS6221969Y2 true JPS6221969Y2 (ja) | 1987-06-04 |
Family
ID=29073660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11888978U Expired JPS6221969Y2 (ja) | 1978-08-30 | 1978-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6221969Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015161508A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置およびｘ線検査装置の制御方法 |
| JP2018091825A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、セパレータ捲回体の製造方法、及びセパレータ捲回体 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58115350A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | Nippon Atom Ind Group Co Ltd | 放射性固化体の均一性非破壊測定方法 |
| WO2009104156A1 (en) * | 2008-02-22 | 2009-08-27 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | High-resolution quasi-static setup for x-ray imaging with distributed sources |
-
1978
- 1978-08-30 JP JP11888978U patent/JPS6221969Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015161508A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置およびｘ線検査装置の制御方法 |
| JP2018091825A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、セパレータ捲回体の製造方法、及びセパレータ捲回体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5536335U (ja) | 1980-03-08 |
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