JPS62223969A - リチウム電池用負極の製造方法 - Google Patents
リチウム電池用負極の製造方法Info
- Publication number
- JPS62223969A JPS62223969A JP61065628A JP6562886A JPS62223969A JP S62223969 A JPS62223969 A JP S62223969A JP 61065628 A JP61065628 A JP 61065628A JP 6562886 A JP6562886 A JP 6562886A JP S62223969 A JPS62223969 A JP S62223969A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lithium
- negative electrode
- solid
- alloy layer
- solid electrolyte
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/06—Electrodes for primary cells
- H01M4/08—Processes of manufacture
- H01M4/12—Processes of manufacture of consumable metal or alloy electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M6/00—Primary cells; Manufacture thereof
- H01M6/14—Cells with non-aqueous electrolyte
- H01M6/18—Cells with non-aqueous electrolyte with solid electrolyte
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Primary Cells (AREA)
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体電解質/金属リチウム界面にリチウム合金
層を有する全固体リチウム電池用負極の製造方法に係り
、特にリチウム合金層のより簡便な形成方法を提供する
。
層を有する全固体リチウム電池用負極の製造方法に係り
、特にリチウム合金層のより簡便な形成方法を提供する
。
全固体リチウム電池において、放電の進行に伴ない負極
/固体電解質界面の接触が劣下する現像は、広く知られ
ている。これは、負極/固体電解質界面で消費されるリ
チウム量が、負極中のリチウム原子の拡散によって補な
われる量を上回る結果、固体電解質と接するリチウム負
極中に空孔が形成され、そのために接触面積が減少する
ことによる。
/固体電解質界面の接触が劣下する現像は、広く知られ
ている。これは、負極/固体電解質界面で消費されるリ
チウム量が、負極中のリチウム原子の拡散によって補な
われる量を上回る結果、固体電解質と接するリチウム負
極中に空孔が形成され、そのために接触面積が減少する
ことによる。
これを解決する一例として、特願昭59−248240
に記載されているように、固体電解質/金属リチウム界
面にリチウムの大きい拡散係数を有するリチウム合金薄
膜層を形成させる方法がある。しかしながら、二元同時
蒸着法に代表される化合物薄膜形成法は、厳密な蒸着条
件の制御を必要とし、ひいては電池の作製プロセスを複
雑化するという問題点がある。リチウム合金の作製法の
他の一例として、米国特許第3981743号に記載さ
れているように、A Q −L i −AΩの各シート
をサンドイッチ状に圧着し、リチウムの融点下でアニー
ルする方法がある。
に記載されているように、固体電解質/金属リチウム界
面にリチウムの大きい拡散係数を有するリチウム合金薄
膜層を形成させる方法がある。しかしながら、二元同時
蒸着法に代表される化合物薄膜形成法は、厳密な蒸着条
件の制御を必要とし、ひいては電池の作製プロセスを複
雑化するという問題点がある。リチウム合金の作製法の
他の一例として、米国特許第3981743号に記載さ
れているように、A Q −L i −AΩの各シート
をサンドイッチ状に圧着し、リチウムの融点下でアニー
ルする方法がある。
しかし、この方法はリチウムの融点下におけるアルミニ
ラ11中のリチウムの拡散を利用して、シート状の原料
からシート状のバルク合金作製を目的としているため、
約175℃、約8時間、約30psiの圧力を加え続け
なければならないことや、高温、高圧処理を行うため表
面積/体積比率の大きい薄膜作製には適用し鴛いなどの
問題点があった。
ラ11中のリチウムの拡散を利用して、シート状の原料
からシート状のバルク合金作製を目的としているため、
約175℃、約8時間、約30psiの圧力を加え続け
なければならないことや、高温、高圧処理を行うため表
面積/体積比率の大きい薄膜作製には適用し鴛いなどの
問題点があった。
本発明の目的は、固体解質/金属リチウム界面にリチウ
ム合金層を有する全国体リチウム電池用負極の製造にお
いて、上述した様な、厳密な蒸着制御が要求される化合
物薄膜形成技術や、高温。
ム合金層を有する全国体リチウム電池用負極の製造にお
いて、上述した様な、厳密な蒸着制御が要求される化合
物薄膜形成技術や、高温。
高圧、長時間のアニールプロセスなどを必要としないよ
り簡単な、リチウム合金層を有する全固体リチウ11電
池用負極の製造方法を提供することにある6 〔問題点を解決するための手段〕 固体電解質上に、リチウム、リチウムと合金化せしめる
金属、リチウムの順に蒸着する負極の製造方法をとれば
、二元同時蒸着法 プロセスや、長時間の高温・高圧のアニールプロセスな
どを用いなくとも、固体電解質/金属リチウム界面にリ
チウム合金層を有する負極を容易に形成し得る。
り簡単な、リチウム合金層を有する全固体リチウ11電
池用負極の製造方法を提供することにある6 〔問題点を解決するための手段〕 固体電解質上に、リチウム、リチウムと合金化せしめる
金属、リチウムの順に蒸着する負極の製造方法をとれば
、二元同時蒸着法 プロセスや、長時間の高温・高圧のアニールプロセスな
どを用いなくとも、固体電解質/金属リチウム界面にリ
チウム合金層を有する負極を容易に形成し得る。
リチウム金属は、AQ、Ga、In、5itSb、Bi
などの金属元素と室温でも合金化することが知られてい
る。この合金化反応は、リチウム原子が上記金属中へ拡
散することによって進行する。したがって、リチウム金
属と上記金属とを接触させた時のその接触面における合
金化の速度は接触させる各金属の表面状態、加える圧力
、周囲の温度によって異なる。5μm l kの速度で
蒸着した金属リチウムの蒸着膜表面をSEM (走査型
電子顕鏡)で[察すると5蒸着膜が0.1〜0.5μm
程度の無数の粒状結晶によって形成されている。即ち、
その表面積はバルク表面と比較して極めて大きく、この
蒸着膜表面にリチウムと合金化させる上記金属を蒸着す
れば、バルク金属同志の接触よりも、さらに容易に合金
化固応が進行する。
などの金属元素と室温でも合金化することが知られてい
る。この合金化反応は、リチウム原子が上記金属中へ拡
散することによって進行する。したがって、リチウム金
属と上記金属とを接触させた時のその接触面における合
金化の速度は接触させる各金属の表面状態、加える圧力
、周囲の温度によって異なる。5μm l kの速度で
蒸着した金属リチウムの蒸着膜表面をSEM (走査型
電子顕鏡)で[察すると5蒸着膜が0.1〜0.5μm
程度の無数の粒状結晶によって形成されている。即ち、
その表面積はバルク表面と比較して極めて大きく、この
蒸着膜表面にリチウムと合金化させる上記金属を蒸着す
れば、バルク金属同志の接触よりも、さらに容易に合金
化固応が進行する。
以下に実施例をあげ本発明をさらに詳細に説明する。
(実施例1)
第1図は本発明による、固体電解質上に、リチウム、リ
チウムと合金化させる金属、リチウムの順に各層を蒸着
して作製する負極の製造プロセスを模式的に示した電池
の概略断面図である。第2図は第1図に示した負極の製
造プロセスを用いて作製した、固体電解!f¥/金舅リ
チウム界面にリチウム合金を有する全固体リチウム電池
、もしくは、リチウム合金層を二元同時蒸着法により作
製した全固体リチウム電池の栂成の一例を示す概略断面
図である。上記両図の正極1と正極6は、500μmの
厚さのPbIzとpbの圧粉成型体からなり、固体電解
質2と7は、100μmの厚さを持つLi5N の圧粉
成型体である。3,5および9は、それぞれ0.5,4
0.40μmの厚さのリチウム蒸着膜、4は厚さ0.5
pm のAQ、Ga。
チウムと合金化させる金属、リチウムの順に各層を蒸着
して作製する負極の製造プロセスを模式的に示した電池
の概略断面図である。第2図は第1図に示した負極の製
造プロセスを用いて作製した、固体電解!f¥/金舅リ
チウム界面にリチウム合金を有する全固体リチウム電池
、もしくは、リチウム合金層を二元同時蒸着法により作
製した全固体リチウム電池の栂成の一例を示す概略断面
図である。上記両図の正極1と正極6は、500μmの
厚さのPbIzとpbの圧粉成型体からなり、固体電解
質2と7は、100μmの厚さを持つLi5N の圧粉
成型体である。3,5および9は、それぞれ0.5,4
0.40μmの厚さのリチウム蒸着膜、4は厚さ0.5
pm のAQ、Ga。
Inのいずれか一種の金属の蒸着膜、8は厚さ約0.5
μmの上記金属のうちのいずれか一種を含むリチウム合
金層である。
μmの上記金属のうちのいずれか一種を含むリチウム合
金層である。
作製した電池は、合金層の形成方法で大別して2種類、
各々の形成方法について合金層の種類で分類して3種類
の計6種類と上記電池と全く同一方で作製したリチウム
合金層を有しない全固体電池の以上7個である。
各々の形成方法について合金層の種類で分類して3種類
の計6種類と上記電池と全く同一方で作製したリチウム
合金層を有しない全固体電池の以上7個である。
まず、本発明の方法を用いて作製した電池について説明
する。第1図に示す正極1と固体電解質2の間に150
0kg/a#の圧力を加え両者を圧着させた後、固体電
解IfIt2の表面に真空蒸着法により、リチウム上記
のAl1 (A)、 Ga (B)、 I n (C
)のいずれかの金属、リチウムを順に積層し、第2図に
示す構造を有する全固体リチウム電池(A)。
する。第1図に示す正極1と固体電解質2の間に150
0kg/a#の圧力を加え両者を圧着させた後、固体電
解IfIt2の表面に真空蒸着法により、リチウム上記
のAl1 (A)、 Ga (B)、 I n (C
)のいずれかの金属、リチウムを順に積層し、第2図に
示す構造を有する全固体リチウム電池(A)。
(B)、(C)の三種類を作製した。
次に合金層を二元同時蒸着法により形成させる従来の負
極の製造法を用いて作製した電池について説明する。第
2図に示す正極6と固体電解質7の間に1500kg/
dの圧力を加え両者を圧着させた後、固体電解質7の表
面に、50at%のLiを含有するLi−AQ金合金D
)、50at%のLiを含有するLi−Ga合金(E)
、50at%のLiを含有するLi−In合金(F)
のいずれか1種から成るリチウム合金層8を二元同時蒸
着法により形成し、続いてリチウts 9を真空蒸着法
により積層し、第2図に示す構造を有する全固体リチウ
ム電池(D)、(E)、(F)の三種類を作製した。第
3.4.5図に、同種の合金層を有する(A)と(D)
、(B)と(E)、(C)と(F)のそれぞれ、および
上記と同一条件で作製したT、i合金層を有しない全固
体リチウム電池(G)について、常温、常圧、電流密度
1mA/dの条件で放電した時の端子電圧(V)と放f
I!電気量(すべての電池の膜厚は同じであるので、単
位はmAk/−とした)との関係を示した。図から明ら
かなように、本発明による負極の製造法を用いて作製し
た電池(A)、(B)、(C)が従来による負極の製造
法を用いて作製した電池(D)。
極の製造法を用いて作製した電池について説明する。第
2図に示す正極6と固体電解質7の間に1500kg/
dの圧力を加え両者を圧着させた後、固体電解質7の表
面に、50at%のLiを含有するLi−AQ金合金D
)、50at%のLiを含有するLi−Ga合金(E)
、50at%のLiを含有するLi−In合金(F)
のいずれか1種から成るリチウム合金層8を二元同時蒸
着法により形成し、続いてリチウts 9を真空蒸着法
により積層し、第2図に示す構造を有する全固体リチウ
ム電池(D)、(E)、(F)の三種類を作製した。第
3.4.5図に、同種の合金層を有する(A)と(D)
、(B)と(E)、(C)と(F)のそれぞれ、および
上記と同一条件で作製したT、i合金層を有しない全固
体リチウム電池(G)について、常温、常圧、電流密度
1mA/dの条件で放電した時の端子電圧(V)と放f
I!電気量(すべての電池の膜厚は同じであるので、単
位はmAk/−とした)との関係を示した。図から明ら
かなように、本発明による負極の製造法を用いて作製し
た電池(A)、(B)、(C)が従来による負極の製造
法を用いて作製した電池(D)。
<E)、(F)とほぼ同じ放電特性を示すこと、および
合金層を有しない電池(G)との比較から、リチウム合
金層を設けたことによる固体電解質/金属リチウム界面
の接触改善という本来の目的を十分に達成していること
がわかる。
合金層を有しない電池(G)との比較から、リチウム合
金層を設けたことによる固体電解質/金属リチウム界面
の接触改善という本来の目的を十分に達成していること
がわかる。
(実施例2)
次に、本発明よる負極の製造プロセスを、薄膜作製プロ
セスを用いて作製する全固体薄膜リチウム電池に適用し
た。第6図は、本発明による負極の製造プロセスを用い
て作製した、もしくは、二元同時蒸着法により作製した
、リチウム合金層を有する全固体薄膜リチウム電池の構
成の一例を示す概略断面図である。図に示すごとく、ス
テンレス基板10上に化学気相成長法によって、厚さ1
00μmのTi5z配向性薄膜である正極11を成膜し
、その上にスパッタリング法を用いて厚さ10pmのL
i J+、8S io、oPo、to+非晶質薄膜で
ある固体電解質12を積層する。そして、固体電解質1
2の上に、本発明による負極の製造プロセスを用いて、
(実施例1)と全く同様にしてLi−8b合金(H)ま
たはL i −B i合金(I)からなる厚さ0.8μ
mの合金層13および厚さ40μmのリチウム層14を
形成させ、(H)。
セスを用いて作製する全固体薄膜リチウム電池に適用し
た。第6図は、本発明による負極の製造プロセスを用い
て作製した、もしくは、二元同時蒸着法により作製した
、リチウム合金層を有する全固体薄膜リチウム電池の構
成の一例を示す概略断面図である。図に示すごとく、ス
テンレス基板10上に化学気相成長法によって、厚さ1
00μmのTi5z配向性薄膜である正極11を成膜し
、その上にスパッタリング法を用いて厚さ10pmのL
i J+、8S io、oPo、to+非晶質薄膜で
ある固体電解質12を積層する。そして、固体電解質1
2の上に、本発明による負極の製造プロセスを用いて、
(実施例1)と全く同様にしてLi−8b合金(H)ま
たはL i −B i合金(I)からなる厚さ0.8μ
mの合金層13および厚さ40μmのリチウム層14を
形成させ、(H)。
(I)二種類の全固体薄膜リチウム電池を作製した。次
に、合金層を二元同時蒸着法により形成させる従来の負
極の製造法を用いて、厚さ約0.8pmの、85a t
%のLiを含有するLi−8b合金(J)または85a
t%のLiを含有するLi−B1 (K)からなる
合金層13およびリチウム層14を形成させ、(J)、
(K)二種類の全固体′fi11摸リチウム電池を作製
した。第7,8図に、同種の合金層を有する(H)と(
J)、(1)と(K)のそれぞれ、および上記と同一条
件で作製したLi合金層を有しない全固体薄膜リチウム
電池(L)について、常温、常圧、電流密度40μA/
cIAで放電した時の端子電圧(V)と放f$!’rl
気量(mAk/c11)との関係を示した。図から明ら
かなように2本発明による負極の製造法を用いて作製し
た電池(H)、(I)が、従来法による負極の製造法を
用いて作製した電池(J)、(K)とほぼ同じ放電特性
を示すこと、および合金層を有しない電池(L)との比
較から、リチウム合金層を設けたことによる固体電解質
/金属リチウム界面の接触改善という本来の目的を十分
達成していることがわかる。
に、合金層を二元同時蒸着法により形成させる従来の負
極の製造法を用いて、厚さ約0.8pmの、85a t
%のLiを含有するLi−8b合金(J)または85a
t%のLiを含有するLi−B1 (K)からなる
合金層13およびリチウム層14を形成させ、(J)、
(K)二種類の全固体′fi11摸リチウム電池を作製
した。第7,8図に、同種の合金層を有する(H)と(
J)、(1)と(K)のそれぞれ、および上記と同一条
件で作製したLi合金層を有しない全固体薄膜リチウム
電池(L)について、常温、常圧、電流密度40μA/
cIAで放電した時の端子電圧(V)と放f$!’rl
気量(mAk/c11)との関係を示した。図から明ら
かなように2本発明による負極の製造法を用いて作製し
た電池(H)、(I)が、従来法による負極の製造法を
用いて作製した電池(J)、(K)とほぼ同じ放電特性
を示すこと、および合金層を有しない電池(L)との比
較から、リチウム合金層を設けたことによる固体電解質
/金属リチウム界面の接触改善という本来の目的を十分
達成していることがわかる。
以上詳細に説明したごとく、本発明による全固体リチウ
ム電池用負極の製造方法によれば、固体電解?j/金属
リチウム界面にリチウム合金層を形成させる際に、二元
同時蒸着などの難かしいプロセスや、長時間の高温・高
圧のアニールプロセスなどを用いることなく、より簡便
に負極を製造し得るので、電池の製造プロセスを簡略化
することが可能であり、実用的価値は極めて大きい。
ム電池用負極の製造方法によれば、固体電解?j/金属
リチウム界面にリチウム合金層を形成させる際に、二元
同時蒸着などの難かしいプロセスや、長時間の高温・高
圧のアニールプロセスなどを用いることなく、より簡便
に負極を製造し得るので、電池の製造プロセスを簡略化
することが可能であり、実用的価値は極めて大きい。
第1図は実施例1における、本発明による負極の製造プ
ロセスを模式的に示した電池の概略断面図、第2図は実
施例1における全固体リチウ11電他の構成を示す概I
IIg断面図、第3.4.5図は実施例1における全固
体リチウム電池の放電時の端子電圧と放電電気量との関
係を示すグラフ、第6図は実施例2における全固体薄膜
リチウム電池の構成を示す概略断面図、第7,8図は実
施例2における全固体薄膜リチウム電池の放電時の端子
電圧と放電電気量との関係を示すグラフである。 1・・・正極、2・・・固体電解質、3・・・リチウム
、4・・・リチウ11と合金化させる金属、5・・・リ
チウム、6・・・正極、7・・・固体電解質、8・・・
リチウム合金層。 9・・・リチウム、10・・・ステンレス基板、11・
・・正極、12・・・固体電解質、13・・・リチウム
合金層、早 /ffi 早 7 図 第 δ 図
ロセスを模式的に示した電池の概略断面図、第2図は実
施例1における全固体リチウ11電他の構成を示す概I
IIg断面図、第3.4.5図は実施例1における全固
体リチウム電池の放電時の端子電圧と放電電気量との関
係を示すグラフ、第6図は実施例2における全固体薄膜
リチウム電池の構成を示す概略断面図、第7,8図は実
施例2における全固体薄膜リチウム電池の放電時の端子
電圧と放電電気量との関係を示すグラフである。 1・・・正極、2・・・固体電解質、3・・・リチウム
、4・・・リチウ11と合金化させる金属、5・・・リ
チウム、6・・・正極、7・・・固体電解質、8・・・
リチウム合金層。 9・・・リチウム、10・・・ステンレス基板、11・
・・正極、12・・・固体電解質、13・・・リチウム
合金層、早 /ffi 早 7 図 第 δ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、固体電解質/金属リチウム界面にリチウム合金層を
有する全固体リチウム電池において、上記リチウム合金
層がその合金成分単体を交互に積層することによつて形
成されることを特徴とする全固体リチウム電池用負極の
製造方法。 2、上記リチウム合金層を形成するリチウム合金がリチ
ウム元素の他にアルミニウム、ガリウム、インジウム、
アンチモン、ビスマスのいずれか一種の元素を含むこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の全固体リチウ
ム電池用負極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065628A JPS62223969A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | リチウム電池用負極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065628A JPS62223969A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | リチウム電池用負極の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62223969A true JPS62223969A (ja) | 1987-10-01 |
Family
ID=13292472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61065628A Pending JPS62223969A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | リチウム電池用負極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62223969A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6613477B2 (en) | 2000-02-22 | 2003-09-02 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Lithium secondary battery |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP61065628A patent/JPS62223969A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6613477B2 (en) | 2000-02-22 | 2003-09-02 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Lithium secondary battery |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6805999B2 (en) | Buried anode lithium thin film battery and process for forming the same | |
| JPS61126770A (ja) | 全固体リチウム電池 | |
| US5994163A (en) | Method of manufacturing thin-film solar cells | |
| US4555456A (en) | Cathode structure for thin film battery | |
| EP1207566B1 (en) | Anode thin film for lithium secondary battery | |
| US7083877B2 (en) | All solid state battery with coated substrate | |
| US8551656B2 (en) | Solid electrolyte cell and positive electrode active material | |
| CN101207192B (zh) | 负极、使用该负极的电池、以及制造负极的方法 | |
| CN113056838A (zh) | 具有夹层的电化学单电池的制造和使用方法 | |
| US20070166612A1 (en) | Method of fabricating thin film battery with annealed substrate | |
| US20090029264A1 (en) | Thin-Film Solid Secondary Cell | |
| US9083057B2 (en) | Method for producing nonaqueous-electrolyte battery and nonaqueous-electrolyte battery | |
| DE102019109376A1 (de) | Verfahren zur herstellung von lithium-metallanoden | |
| JPWO2018025649A1 (ja) | 全固体リチウム電池 | |
| US9520615B2 (en) | Thin film battery having improved battery performance through substrate surface treatment and method for manufacturing same | |
| JP2017054792A (ja) | リチウム電池 | |
| JPS6072168A (ja) | 固体電解質電池 | |
| JP2017054761A (ja) | 全固体リチウム電池の検査方法及び全固体リチウム電池の製造方法 | |
| KR100790844B1 (ko) | 박막 전지 및 그 제조 방법 | |
| JPS62223969A (ja) | リチウム電池用負極の製造方法 | |
| JP2023002176A (ja) | 全固体電池の製造方法 | |
| JP2017135100A (ja) | リチウムイオン電池 | |
| JP7023049B2 (ja) | 二次電池 | |
| JPH0381962A (ja) | 固体電解質型燃料電池 | |
| KR20250040578A (ko) | 다중 셀 모노리식 박막 배터리 및 그 제조방법 |