JPS62224948A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS62224948A JPS62224948A JP6934686A JP6934686A JPS62224948A JP S62224948 A JPS62224948 A JP S62224948A JP 6934686 A JP6934686 A JP 6934686A JP 6934686 A JP6934686 A JP 6934686A JP S62224948 A JPS62224948 A JP S62224948A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- resonator
- microwave
- output
- line
- Prior art date
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- Pending
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体基板上にリング共振器を形成した半
導体装置に係り、特にそのリング共振器の入力および出
力パッドのパターン形状に関するものである。
導体装置に係り、特にそのリング共振器の入力および出
力パッドのパターン形状に関するものである。
以下、砒化ガリウムリング共振器を例にとり説明する。
第２図は従来のリング共振器のパターン形状を示す平面
図であり、図示のようｌこ、半導体基板（１）上に、リ
ング部（２）をはさみ１人力線路（３）と出力線路（４
）が構成されており、入力線路（３）および出力線路（
４）に、それぞれボンディング用の入力パッド（５）お
よび出力パッド（６）が付属している。
図であり、図示のようｌこ、半導体基板（１）上に、リ
ング部（２）をはさみ１人力線路（３）と出力線路（４
）が構成されており、入力線路（３）および出力線路（
４）に、それぞれボンディング用の入力パッド（５）お
よび出力パッド（６）が付属している。
次に、このような従来の入力および出力パッドよりなる
リング共振器の動作ｆこついて説明する。
リング共振器の動作ｆこついて説明する。
入力線路（３）に電波を入射したとすると、リング１周
を整数で割った値の波長のとき、リング部（２）におい
て共振が起こり、電波は出力線路（４）に導かれ、それ
以外の波長の」筋合では、電波は入力線路端面で反射す
る。そのときの共振器の周波数応答を第３図に示す。
を整数で割った値の波長のとき、リング部（２）におい
て共振が起こり、電波は出力線路（４）に導かれ、それ
以外の波長の」筋合では、電波は入力線路端面で反射す
る。そのときの共振器の周波数応答を第３図に示す。
第３図において、曲線の尖鋭度を示すＱ値（Ｑ＝ ＩＯ
Ａ諺）は次式で示される。
Ａ諺）は次式で示される。
入。
ここで、αは伝送損、初は真空中の波長、εｒは比誘電
率、ε０は真空の誘電率である。
率、ε０は真空の誘電率である。
従って、式〔Ｉ〕かられかるように、伝送損が少ないほ
ど高いＱ値が得られ、その結果として比誘電率εｒを精
度よく計算することができる。ここで、比誘電率εｒは
マイクロストリングライン等を含む半導体装置の設計の
際（こ極めて重要な値である。
ど高いＱ値が得られ、その結果として比誘電率εｒを精
度よく計算することができる。ここで、比誘電率εｒは
マイクロストリングライン等を含む半導体装置の設計の
際（こ極めて重要な値である。
そこで、マイクロ波測定系と共振回路の間に生じる伝送
損を少なくすることが問題となる。
損を少なくすることが問題となる。
しかしながら、従来のリング共振器の特性を測定する一
合には、リング共振回路を形成した半導体チップを、測
定用治具に固定し、別の絶縁性基板上に形成した伝送線
路を介し、測定系に接続するなどの方法をとつＣおり、
測定するリング共振器と測定系の間（こは、伝送損の原
因となる余分な伝送系があった。
合には、リング共振回路を形成した半導体チップを、測
定用治具に固定し、別の絶縁性基板上に形成した伝送線
路を介し、測定系に接続するなどの方法をとつＣおり、
測定するリング共振器と測定系の間（こは、伝送損の原
因となる余分な伝送系があった。
従来の半導体装置は以上のように構成されているので、
測定系と共振器とのインピーダンス整合がとれず、電波
を半導体装置に人力する際に反射損失が増大し、共振器
の特性の正確な値が得られないなどの欠点があった。
測定系と共振器とのインピーダンス整合がとれず、電波
を半導体装置に人力する際に反射損失が増大し、共振器
の特性の正確な値が得られないなどの欠点があった。
この発明は、上記のようｆｊ問題点を解消するた？ｌ）
ｌこなされたもので、オンウェーハで共振器の特性を
精度よく測定可能な半導体装置を得ることを目的とする
。
ｌこなされたもので、オンウェーハで共振器の特性を
精度よく測定可能な半導体装置を得ることを目的とする
。
この発明に係る半導体装置は、マイクロ波測定系の信号
線及びそれをはさむ一対のグランド線で構成される（コ
プレナー線路と呼ぶ）ようなグローブニードルに対応す
る入力および出力パッドを共振器のうちの入力線路と出
力線にそれぞれ接続し、グランド線ｌこ対応するパッド
−こ貫通孔を接続したものである。
線及びそれをはさむ一対のグランド線で構成される（コ
プレナー線路と呼ぶ）ようなグローブニードルに対応す
る入力および出力パッドを共振器のうちの入力線路と出
力線にそれぞれ接続し、グランド線ｌこ対応するパッド
−こ貫通孔を接続したものである。
この発明をこ３ける半導体装ＩＮは、コプレナー線路ｌ
こ対応し、グランド１１１を半導体裏面Ｉこ短距離で接
続する貫通孔Ｉこより、マイクロ波測定系とインピーダ
ンス整合がとれ、リング共振器のマイクロ波特性の正確
な値が得られる。
こ対応し、グランド１１１を半導体裏面Ｉこ短距離で接
続する貫通孔Ｉこより、マイクロ波測定系とインピーダ
ンス整合がとれ、リング共振器のマイクロ波特性の正確
な値が得られる。
以１ぐ、この発明の実施例を図について説明する。
第１図において、（１）は半導体基板、（２）はリング
部、（３）は入力線路、（４）は出力線路、（５）およ
び（６）はマイクロ波測定系中のプローブニードルに対
応する、それぞれ入力パッドおよび出力パッド、（７）
はグランドを基板（１１の裏面に直接接続するために設
けた貫通孔である。
部、（３）は入力線路、（４）は出力線路、（５）およ
び（６）はマイクロ波測定系中のプローブニードルに対
応する、それぞれ入力パッドおよび出力パッド、（７）
はグランドを基板（１１の裏面に直接接続するために設
けた貫通孔である。
次に動作について説明する。半導体素子の数ＧＨｚ以上
におけるマイクロ波測定をオンウェーノ１状態で測定す
る場合曇こは、コプレナー線路よりなるグローブニード
ルを半導体の所定の入力および出力パッドζこ接触させ
て行う、いわゆるＲＦプロービング法が用いられている
。とのＲＦクローバ−でかかる発明の半導体装置をマイ
クロ波測定する場合第１図１こおいて、入力パッド（５
）と出力パッド（６）とは直接マイクロ波測定系中のグ
ローブニードルに接続され、伝送損の原因となる余分な
伝送系がななお、上記実施例では半導体基板（１）の物
質としてＧａＡｓを用いたが、Ｓｉまたは他の■−■族
、■−■族化合物半導体でもよい。さらに、実施例の説
明においてＧａＡｓ共振器を用いたが、マイクロ波測定
を行なう、他の半導体素子にも適用できることはいうま
でもない。
におけるマイクロ波測定をオンウェーノ１状態で測定す
る場合曇こは、コプレナー線路よりなるグローブニード
ルを半導体の所定の入力および出力パッドζこ接触させ
て行う、いわゆるＲＦプロービング法が用いられている
。とのＲＦクローバ−でかかる発明の半導体装置をマイ
クロ波測定する場合第１図１こおいて、入力パッド（５
）と出力パッド（６）とは直接マイクロ波測定系中のグ
ローブニードルに接続され、伝送損の原因となる余分な
伝送系がななお、上記実施例では半導体基板（１）の物
質としてＧａＡｓを用いたが、Ｓｉまたは他の■−■族
、■−■族化合物半導体でもよい。さらに、実施例の説
明においてＧａＡｓ共振器を用いたが、マイクロ波測定
を行なう、他の半導体素子にも適用できることはいうま
でもない。
〔発明の効果］
以上のように、この発明ｌこよれば、共振器にマイクロ
波測定系のうちのコプレナー線路に対応する入力および
出力パッドを入力および出力線路に接続し、グランドパ
ッドを半絶縁性基板裏面に短距離で接続するように構成
したので、共振器のマイクロ波特性の正確な値がオンウ
ェーハで得られる。
波測定系のうちのコプレナー線路に対応する入力および
出力パッドを入力および出力線路に接続し、グランドパ
ッドを半絶縁性基板裏面に短距離で接続するように構成
したので、共振器のマイクロ波特性の正確な値がオンウ
ェーハで得られる。
第１図はこの発明の一実施例による半導体装置を示す平
面図、第２図は従来の半導体装置を示す平面図、第３図
は共振器の周波数応答を示す図である。 図において、（１）は半導体基板、（５）は入力パッド
、（６）は出力パッド、（７）は貫通孔を示す。 な耶、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
面図、第２図は従来の半導体装置を示す平面図、第３図
は共振器の周波数応答を示す図である。 図において、（１）は半導体基板、（５）は入力パッド
、（６）は出力パッド、（７）は貫通孔を示す。 な耶、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）半絶縁性の半導体基板の表面上にリング共振器が
形成された半導体装置において、 マイクロ波測定系のコプレーナ線路に対応する入力パッ
ドおよび出力パッドを上記リング共振器の入力線路およ
び出力線路にそれぞれ接続して設け、 上記入力パッドおよび出力パッドの上記マイクロ波測定
系のグランド線に対応するパッド部分に貫通孔を設け上
記半導体基板の裏面のパッドへの接続距離を短くなるよ
うにしたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6934686A JPS62224948A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6934686A JPS62224948A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62224948A true JPS62224948A (ja) | 1987-10-02 |
Family
ID=13399892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6934686A Pending JPS62224948A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62224948A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5658810A (en) * | 1994-04-04 | 1997-08-19 | Motorola | Method of making a sensor for determining a ratio of materials in a mixture |
| WO2004105175A1 (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | リングフィルタ及びそれを用いた広帯域帯域通過フィルタ |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP6934686A patent/JPS62224948A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5658810A (en) * | 1994-04-04 | 1997-08-19 | Motorola | Method of making a sensor for determining a ratio of materials in a mixture |
| WO2004105175A1 (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | リングフィルタ及びそれを用いた広帯域帯域通過フィルタ |
| US7443271B2 (en) | 2003-05-22 | 2008-10-28 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | Ring filter wideband band pass filter using therewith |
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