JPS622287B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS622287B2 JPS622287B2 JP10141681A JP10141681A JPS622287B2 JP S622287 B2 JPS622287 B2 JP S622287B2 JP 10141681 A JP10141681 A JP 10141681A JP 10141681 A JP10141681 A JP 10141681A JP S622287 B2 JPS622287 B2 JP S622287B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- gimbal
- optical path
- movable
- elevation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 22
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ装置に関し、特に、レーザビー
ムを２台のミラージンバルで折り返す光路折り返
し機構に関する。
ムを２台のミラージンバルで折り返す光路折り返
し機構に関する。
高出力のレーザ装置においては、増幅器、光ア
イソレータ、フアラデーローテータ等多数のコン
ポーネントから構成される。各コンポーネントの
配置により、光路を任意の方向へ折り返す必要が
生じる。
イソレータ、フアラデーローテータ等多数のコン
ポーネントから構成される。各コンポーネントの
配置により、光路を任意の方向へ折り返す必要が
生じる。
従来、ビームの方向を折り返す場合、２個のミ
ラーを使用して折り返している。
ラーを使用して折り返している。
一般に上記の如きミラーを保持し、ビームの方
向を微調整するには、ミラージンバルが使用され
ている。ミラージンバルは一般にミラーを保持し
ている可動片とミラージンバルを定盤等に固定す
る固定片とから成り、両者はマイクロメータ、ね
じ等の微動機構を備えた可動点２個所と固定点１
個所の計３個所において接触、支持され、スプリ
ングなどにより連結されている。ビームの方向の
俯仰、及び旋回の角度調整は微動機構を可動させ
て行なえる様になつている。
向を微調整するには、ミラージンバルが使用され
ている。ミラージンバルは一般にミラーを保持し
ている可動片とミラージンバルを定盤等に固定す
る固定片とから成り、両者はマイクロメータ、ね
じ等の微動機構を備えた可動点２個所と固定点１
個所の計３個所において接触、支持され、スプリ
ングなどにより連結されている。ビームの方向の
俯仰、及び旋回の角度調整は微動機構を可動させ
て行なえる様になつている。
ミラージンバルを２台使用して、ビームの方向
を折り返す場合には、外気の変化あるいは振動な
どの外乱により、微動機構部が動いて、初期設定
したビームの方向との間に偏移が生じる。特に、
全く同じ構造のミラージンバルを２台使用した場
合、旋回方向のビームの偏移量は各々ミラージン
バルの動きが相殺されて極めて微少となるが、俯
仰方向のビームの偏移量は互いに倍加されて極め
て大きくなるという欠点があつた。
を折り返す場合には、外気の変化あるいは振動な
どの外乱により、微動機構部が動いて、初期設定
したビームの方向との間に偏移が生じる。特に、
全く同じ構造のミラージンバルを２台使用した場
合、旋回方向のビームの偏移量は各々ミラージン
バルの動きが相殺されて極めて微少となるが、俯
仰方向のビームの偏移量は互いに倍加されて極め
て大きくなるという欠点があつた。
本発明は従来の上記欠点を除去する為になされ
たものであり、従つて本発明の目的は、２台のミ
ラージンバルを使用してビームの方向を折り返す
場合に、外乱によつて起こるレーザビームの光路
の方向ずれを旋回方向だけではなく、俯仰方向に
も相殺出来るようにした新規な光路折り返し機構
を提供することにある。
たものであり、従つて本発明の目的は、２台のミ
ラージンバルを使用してビームの方向を折り返す
場合に、外乱によつて起こるレーザビームの光路
の方向ずれを旋回方向だけではなく、俯仰方向に
も相殺出来るようにした新規な光路折り返し機構
を提供することにある。
即ち、本発明は、ビームの光路を折り返す２台
のミラージンバルの組合せにおいて、一方のミラ
ージンバルのビームの入射点に関する旋回方向の
可動点―固定点―俯仰方向の可動点の配置を他方
のミラージンバルに対して90度回転させた配置を
持たせることにより、温度変化あるいは振動等の
外乱によつて起こる微動機構のずれによる光路の
方向ずれを旋回、俯仰両方向について相殺できる
ことを特徴とする。
のミラージンバルの組合せにおいて、一方のミラ
ージンバルのビームの入射点に関する旋回方向の
可動点―固定点―俯仰方向の可動点の配置を他方
のミラージンバルに対して90度回転させた配置を
持たせることにより、温度変化あるいは振動等の
外乱によつて起こる微動機構のずれによる光路の
方向ずれを旋回、俯仰両方向について相殺できる
ことを特徴とする。
次に本発明をその良好な一実施例について図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
第１図ａは外乱によるビームの光路ずれを相殺
する本発明に係る折り返し光学系の一実施例を示
す構成図、第１図ｂは左側のミラージンバルを左
下方から見た正面図、第１図ｃは右側のミラージ
ンバルを右下方から見た正面図である。図におい
て、参照番号１はミラージンバルを示し、該ミラ
ージンバル１は、固定片１５と、可動片１３と、
両方を連結しているスプリング７，８と、固定点
１１と、旋回方向の微動機構付き可動点３と、俯
仰方向の微動機構付き可動点４と、可動片１３に
取付けられた折り返しミラー１７から構成され
る。同様に、ミラージンバル２は、固定片１６
と、可動片１４と、両方を連結しているスプリン
グ９，１０と、固定点１２と、旋回方向の微動機
構付き可動点５と、俯仰方向の微動機構付き可動
点６と、可動片１４に取付けられた折り返しミラ
ー１８から構成される。
する本発明に係る折り返し光学系の一実施例を示
す構成図、第１図ｂは左側のミラージンバルを左
下方から見た正面図、第１図ｃは右側のミラージ
ンバルを右下方から見た正面図である。図におい
て、参照番号１はミラージンバルを示し、該ミラ
ージンバル１は、固定片１５と、可動片１３と、
両方を連結しているスプリング７，８と、固定点
１１と、旋回方向の微動機構付き可動点３と、俯
仰方向の微動機構付き可動点４と、可動片１３に
取付けられた折り返しミラー１７から構成され
る。同様に、ミラージンバル２は、固定片１６
と、可動片１４と、両方を連結しているスプリン
グ９，１０と、固定点１２と、旋回方向の微動機
構付き可動点５と、俯仰方向の微動機構付き可動
点６と、可動片１４に取付けられた折り返しミラ
ー１８から構成される。
第１図ａにおいて、光路ABを通つたビームは
折り返しミラー１７で折り返えされ、更に折り返
しミラー１８で折り返えされて光路CDの方向へ
360度光路を折り返す。その際、光路AB、CDを
所定の俯仰、旋回方向へミラージンバル１，２の
それぞれの微動機構付き可動点３，４，５，６で
合せ込む。その時第１図ａ，ｂ，ｃに示す様に、
ミラージンバル１の可動点３―固定点１１―可動
点４の配置をミラージンバル２ではミラージンバ
ルの光軸中心に関して、例えば、90度回転させた
位置におくことにより、旋回微動機構付可動点
３，５、俯仰微動機構付可動点４，６が外気の変
化や振動により一様にずれても、ミラージンバル
１での光路の偏移量をミラージンバル２での偏移
量が相殺することにより、光路CDは一定に保た
れる。
折り返しミラー１７で折り返えされ、更に折り返
しミラー１８で折り返えされて光路CDの方向へ
360度光路を折り返す。その際、光路AB、CDを
所定の俯仰、旋回方向へミラージンバル１，２の
それぞれの微動機構付き可動点３，４，５，６で
合せ込む。その時第１図ａ，ｂ，ｃに示す様に、
ミラージンバル１の可動点３―固定点１１―可動
点４の配置をミラージンバル２ではミラージンバ
ルの光軸中心に関して、例えば、90度回転させた
位置におくことにより、旋回微動機構付可動点
３，５、俯仰微動機構付可動点４，６が外気の変
化や振動により一様にずれても、ミラージンバル
１での光路の偏移量をミラージンバル２での偏移
量が相殺することにより、光路CDは一定に保た
れる。
本発明は、以上説明したように、２台のミラー
ジンバルの組合せでビームの光路を折り返す時
に、最初のミラージンバルの可動点―固定点―可
動点の配置を次のミラージンバルでは光軸中心に
関して90度回転させた配置にすることにより、外
乱の影響による光路ずれを俯仰、旋回の両方向に
ついて補正できる効果がある。
ジンバルの組合せでビームの光路を折り返す時
に、最初のミラージンバルの可動点―固定点―可
動点の配置を次のミラージンバルでは光軸中心に
関して90度回転させた配置にすることにより、外
乱の影響による光路ずれを俯仰、旋回の両方向に
ついて補正できる効果がある。
第１図ａ，ｂ，ｃは本発明の一実施例を示す概
略構成図であり、そのうちａは２個のミラージン
バルによる折り返し光学系の構成図、ｂは左側の
ミラージンバルを左下方から見た正面図、ｃは右
側のミラージンバルを右下方から見た正面図であ
る。 １，２……ミラージンバル、３，４，５，６…
…微動機構付可動点、７，８，９，１０……スプ
リング、１１，１２……固定点、１３，１４……
固定片、１５，１６……可動片、１７，１８……
折り返しミラー。
略構成図であり、そのうちａは２個のミラージン
バルによる折り返し光学系の構成図、ｂは左側の
ミラージンバルを左下方から見た正面図、ｃは右
側のミラージンバルを右下方から見た正面図であ
る。 １，２……ミラージンバル、３，４，５，６…
…微動機構付可動点、７，８，９，１０……スプ
リング、１１，１２……固定点、１３，１４……
固定片、１５，１６……可動片、１７，１８……
折り返しミラー。
Claims (1)
- １ 第１及び第２の２台のミラージンバルから成
り、該第１のミラージンバルのビームの入射点に
関する旋回方向の可動点―固定点―俯仰方向の可
動点の配置を前記第２のミラージンバルに対して
90度回転させた配置を持たせることにより、温度
の変化あるいは振動等の外乱によつて起こる微動
機構部のずれが前記第１のミラージンバルと前記
第２のミラージンバルでは逆方向となり、光路の
方向ずれを旋回、俯仰両方向について相殺するこ
とを特徴とする光路折り返し機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10141681A JPS582810A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 光路折り返し機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10141681A JPS582810A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 光路折り返し機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582810A JPS582810A (ja) | 1983-01-08 |
| JPS622287B2 true JPS622287B2 (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=14300095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10141681A Granted JPS582810A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 光路折り返し機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582810A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01161377U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4689194B2 (ja) * | 2004-06-02 | 2011-05-25 | キヤノン株式会社 | 光学素子の駆動装置、該駆動装置を用いて構成した光空間伝送装置、レンズ装置 |
| CN104360452B (zh) * | 2014-11-12 | 2016-10-12 | 核工业理化工程研究院 | 高稳定型光栅调整架 |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP10141681A patent/JPS582810A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01161377U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS582810A (ja) | 1983-01-08 |
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