JPS6223281B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6223281B2 JPS6223281B2 JP55142058A JP14205880A JPS6223281B2 JP S6223281 B2 JPS6223281 B2 JP S6223281B2 JP 55142058 A JP55142058 A JP 55142058A JP 14205880 A JP14205880 A JP 14205880A JP S6223281 B2 JPS6223281 B2 JP S6223281B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color separation
- separation filter
- solid
- resin film
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は色分離フイルターを内蔵した固体カラ
ーカメラに用いる色分離フイルターの製造方法に
関する。
ーカメラに用いる色分離フイルターの製造方法に
関する。
固体撮像素子には、フレーム転送方式CCD、
インターライン転送方式CCD、MOS、
BBDCID、PCD CPD等各種あり、開発が進めら
れている。カラー固体撮像装置をつくるには、カ
ラー信号を得るため色分離が必要である。色分離
を行なうためには、固体撮像素子を３ケ用い、プ
リズム方式あるいはミラー方式により色分離する
三板方式及びプリズム方式あるいはミラー方式で
輝度信号とクロマ信号を分ける二板方式がある
が、本発明の色分離フイルターは単板方式と二板
方式に必要とされる。
インターライン転送方式CCD、MOS、
BBDCID、PCD CPD等各種あり、開発が進めら
れている。カラー固体撮像装置をつくるには、カ
ラー信号を得るため色分離が必要である。色分離
を行なうためには、固体撮像素子を３ケ用い、プ
リズム方式あるいはミラー方式により色分離する
三板方式及びプリズム方式あるいはミラー方式で
輝度信号とクロマ信号を分ける二板方式がある
が、本発明の色分離フイルターは単板方式と二板
方式に必要とされる。
固体撮像素子の各画像に対応してモザイク状あ
るいはストライプ状の色分離フイルター層をもつ
色分離フイルターを配置させる方法としては、前
もつてガラス等の透明支持体上に固体撮像素子の
各画素に対するように色分離フイルター層を形成
した色分離フイルターをリレーレンズを介して固
体撮像素子上に結像する方法（リレーレンズ法）
色分離フイルターを接着剤により固体撮像素子表
面に貼合せる方法（貼合せ法）及び固体撮像素子
上に色分離フイルターを直接加工して配置する方
法（直接法）がある。本発明は、上記貼合せ法及
びリレーレンズ法等に貼り合せ法に用いる色分離
フイルターの製造方法に関する。
るいはストライプ状の色分離フイルター層をもつ
色分離フイルターを配置させる方法としては、前
もつてガラス等の透明支持体上に固体撮像素子の
各画素に対するように色分離フイルター層を形成
した色分離フイルターをリレーレンズを介して固
体撮像素子上に結像する方法（リレーレンズ法）
色分離フイルターを接着剤により固体撮像素子表
面に貼合せる方法（貼合せ法）及び固体撮像素子
上に色分離フイルターを直接加工して配置する方
法（直接法）がある。本発明は、上記貼合せ法及
びリレーレンズ法等に貼り合せ法に用いる色分離
フイルターの製造方法に関する。
固体撮像素子上に色分離フイルターを貼合せて
一体化するカラー固体撮像素子板の製造方法の一
例を第１図により説明する。まず、チツプ化した
表面部に受光部２をももつた固体撮像素子１とこ
の固体撮像素子の各画素に対応するように透明基
板３上にモザイク状あるいはストライプ状に色分
離フイルター層４を形成した色分離フイルター５
を接着剤層６により、画素と色分離フイルター層
４を正確に位置合せを行ない、固体撮像素子１と
色分離フイルター５を貼合せて一体化し、カラー
固体撮像素子板を作製する。第１図において、各
画素等を模式的に描いたが、一般的には画素数は
６万〜50万個ある。
一体化するカラー固体撮像素子板の製造方法の一
例を第１図により説明する。まず、チツプ化した
表面部に受光部２をももつた固体撮像素子１とこ
の固体撮像素子の各画素に対応するように透明基
板３上にモザイク状あるいはストライプ状に色分
離フイルター層４を形成した色分離フイルター５
を接着剤層６により、画素と色分離フイルター層
４を正確に位置合せを行ない、固体撮像素子１と
色分離フイルター５を貼合せて一体化し、カラー
固体撮像素子板を作製する。第１図において、各
画素等を模式的に描いたが、一般的には画素数は
６万〜50万個ある。
第１図に示したように、固体撮像素子１は上記
画素の集合した受光部２とリードを取り出すため
のボンデイングパツド７があるが、色分離フイル
ター層４をもつた色分離フイルター５を貼合せる
場合、ボンデイングパツド７が色分離フイルター
５の一部におおわれてはならない。すなわち、色
分離フイルター５の透明支持板３のサイズはボン
デイングパツド部７にはみださないように精度良
く、前もつて切断しておく必要がある。このよう
に貼合せ後において、ボンデイングパツド部７を
露出させておく必要があるため、色分離フイルタ
ー５を固体撮像素子１ケ分に切断した後貼合せる
必要がある。
画素の集合した受光部２とリードを取り出すため
のボンデイングパツド７があるが、色分離フイル
ター層４をもつた色分離フイルター５を貼合せる
場合、ボンデイングパツド７が色分離フイルター
５の一部におおわれてはならない。すなわち、色
分離フイルター５の透明支持板３のサイズはボン
デイングパツド部７にはみださないように精度良
く、前もつて切断しておく必要がある。このよう
に貼合せ後において、ボンデイングパツド部７を
露出させておく必要があるため、色分離フイルタ
ー５を固体撮像素子１ケ分に切断した後貼合せる
必要がある。
第１図は固体撮像素子に色分離フイルターを貼
り合せた形態を示したが、固体撮像素子を所定の
リードフレームにダイボンデイング、ワイヤーボ
ンデイングし、パツケージングした固体撮像素子
に色分離フイルターを貼合せる場合も同じであ
る。
り合せた形態を示したが、固体撮像素子を所定の
リードフレームにダイボンデイング、ワイヤーボ
ンデイングし、パツケージングした固体撮像素子
に色分離フイルターを貼合せる場合も同じであ
る。
また、色分離フイルター５は、第２図に示すよ
うに、３インチあるいは４インチ・サイズの丸あ
るいは角のガラス等からなる透明支持板８上に多
数個規則的に配例してそれらの間にCr蒸着膜な
どからなる切断マーク９を設けて色分離フイルタ
ー基板を製造することができるが、この多数個配
列した色分離フイルター５を切断マーク９にした
がつて所定のサイズに高精度で切断する必要があ
る。
うに、３インチあるいは４インチ・サイズの丸あ
るいは角のガラス等からなる透明支持板８上に多
数個規則的に配例してそれらの間にCr蒸着膜な
どからなる切断マーク９を設けて色分離フイルタ
ー基板を製造することができるが、この多数個配
列した色分離フイルター５を切断マーク９にした
がつて所定のサイズに高精度で切断する必要があ
る。
このような方法において問題となるのは、複雑
な半導体集積回路と接着構成するため、フイルタ
ー基板の切断加工精度、よごれなどである。ま
た、フイルター基板切断加工の際における基板の
クラツク、ヒビおよびフイルター材料の剥離、欠
陥、キズなども大きな問題となる。
な半導体集積回路と接着構成するため、フイルタ
ー基板の切断加工精度、よごれなどである。ま
た、フイルター基板切断加工の際における基板の
クラツク、ヒビおよびフイルター材料の剥離、欠
陥、キズなども大きな問題となる。
従来、固体カラー撮像装置用色分離フイルター
の切断加工は、加工台の上に色分離フイルターを
形成した、たとえばガラスなどで作られた色分離
フイルター基板を固着剤で固定した状態で任意の
寸法に上部からガラス切りあるいは切断機などに
よつて切断加工したものである。この方法は、色
分離フイルターがむきだしのため、切断加工中に
キズをつけたり、作業中にゴミなどが付着し、歩
留低下の大きな原因となつていた。また、加工後
のフイルタ基板の保存においても、フイルター画
がむきだしになつているため取扱いがむずかし
い。
の切断加工は、加工台の上に色分離フイルターを
形成した、たとえばガラスなどで作られた色分離
フイルター基板を固着剤で固定した状態で任意の
寸法に上部からガラス切りあるいは切断機などに
よつて切断加工したものである。この方法は、色
分離フイルターがむきだしのため、切断加工中に
キズをつけたり、作業中にゴミなどが付着し、歩
留低下の大きな原因となつていた。また、加工後
のフイルタ基板の保存においても、フイルター画
がむきだしになつているため取扱いがむずかし
い。
本発明は、以上のような欠点をなくし、透明支
持板上に多数個の色分離フイルター部を配列、形
成した色分離フイルター基板から色分離フイルタ
ーを切り出す場合に、色分離フイルター面をきず
つけることなく、また基板に切断によるクラツク
などのきずの発生が少なく、加工歩留りの高い色
分離フイルターの切断加工による製造方法を提供
するものである。
持板上に多数個の色分離フイルター部を配列、形
成した色分離フイルター基板から色分離フイルタ
ーを切り出す場合に、色分離フイルター面をきず
つけることなく、また基板に切断によるクラツク
などのきずの発生が少なく、加工歩留りの高い色
分離フイルターの切断加工による製造方法を提供
するものである。
色分離フイルターには無機材料によるダイクロ
イツクフイルターと、有機材料による有機フイル
ターとがあるが、色分離フイルターはコスト、精
度等の点から有機フイルターが広く用いられてい
る。しかし、有機フイルターはきずがつきやすい
ため、とくに本発明による切断法が有用となる。
イツクフイルターと、有機材料による有機フイル
ターとがあるが、色分離フイルターはコスト、精
度等の点から有機フイルターが広く用いられてい
る。しかし、有機フイルターはきずがつきやすい
ため、とくに本発明による切断法が有用となる。
つぎに、本発明による色分離フイルターの製造
方法を第３図により説明する。
方法を第３図により説明する。
図ａに示すように、0.5mm板厚の硬質ガラス板
（たとえば、コーニング社製パイレツクスガラス
等）からなる透明支持体８上にCr，Al等の蒸着
膜により所定のパターンの切断用マーク９を形成
した後、切断用マーク９に囲まれた支持体８の表
面領域内に、染色媒体を塗布、製版し、着色する
工程をくり返す公知の方法により色分離フイルタ
ー層４を形成し、さらに色分離フイルター層４を
含む支持体８の全面上に透明有機樹脂からなる保
護膜１０を形成し、色分離フイルター基板１１を
作製する。この状態で色分離フイルター層４の欠
陥検査を行ない、不良チツプにはマークを入れて
もよい。
（たとえば、コーニング社製パイレツクスガラス
等）からなる透明支持体８上にCr，Al等の蒸着
膜により所定のパターンの切断用マーク９を形成
した後、切断用マーク９に囲まれた支持体８の表
面領域内に、染色媒体を塗布、製版し、着色する
工程をくり返す公知の方法により色分離フイルタ
ー層４を形成し、さらに色分離フイルター層４を
含む支持体８の全面上に透明有機樹脂からなる保
護膜１０を形成し、色分離フイルター基板１１を
作製する。この状態で色分離フイルター層４の欠
陥検査を行ない、不良チツプにはマークを入れて
もよい。
つぎに、図ｂに示すように、支持体８の色分離
フイルター４側の全面上に樹脂フイルム１２を気
泡が入らないように貼り合せる。実際には、塩化
ビニル粘着フイルム、たとえばSPV―224テープ
（日東電工社製）を室温で貼り合せた後、密着性
を良くするために、70℃で約３分間加熱し、基板
サイズに樹脂フイルムを切断する。
フイルター４側の全面上に樹脂フイルム１２を気
泡が入らないように貼り合せる。実際には、塩化
ビニル粘着フイルム、たとえばSPV―224テープ
（日東電工社製）を室温で貼り合せた後、密着性
を良くするために、70℃で約３分間加熱し、基板
サイズに樹脂フイルムを切断する。
さらに、図ｃに示すように、色分離フイルター
基板１１の裏面に樹脂フイルム１３をｂの工程と
同様に貼り合せる。この下面に貼り合せる樹脂フ
イルムは、ｂ工程と同様なSPV―224テープを用
いてもよいが、TR―20テープ（ツカサ商会製塩
化ビニルテープ）でもよい。この下面の樹脂フイ
ルム１３は色分離フイルター基板１１のサイズよ
りも大きくしておく。
基板１１の裏面に樹脂フイルム１３をｂの工程と
同様に貼り合せる。この下面に貼り合せる樹脂フ
イルムは、ｂ工程と同様なSPV―224テープを用
いてもよいが、TR―20テープ（ツカサ商会製塩
化ビニルテープ）でもよい。この下面の樹脂フイ
ルム１３は色分離フイルター基板１１のサイズよ
りも大きくしておく。
つぎに、図ｄに示すように、図ｃで得られた上
面及び下面に樹脂フイイルム１２及び１３をもつ
た色分離フイルター基板１１をその下面の樹脂フ
イルム１３を下にしてその色分離フイルター部４
がダイシングソーの真空チヤツク台１５上にくる
ようにセツトして真空チヤツクし、透明支持体８
上に形成した切断用マーク９の幅に対応した厚さ
の切断用樹脂ブレードを用いて、正確に位置合せ
した上、上、下面に樹脂フイルム１２，１３をも
つた色分離フイルター基板１１を切断用マーク９
に沿つて、図ｄに示すように、透明支持体８の途
中まで達する切溝１６を入れる。厚さ0.5mmの支
持体８を用いた場合は0.3mm程度まで切り込むの
が望ましい。この場合、切断用マーク９の幅を
100μｍとしたときは、樹脂ブレードの厚みを90
μｍ程度とし、切断スピードを１〜５mm／sec程
度とした。また、樹脂ブレードとしては、
G1A850SD400R13B50（デイスコ社製）を用い
た。この工程後、全体を純水等で洗浄することに
よりゴミ等の付着を防止することができる。
面及び下面に樹脂フイイルム１２及び１３をもつ
た色分離フイルター基板１１をその下面の樹脂フ
イルム１３を下にしてその色分離フイルター部４
がダイシングソーの真空チヤツク台１５上にくる
ようにセツトして真空チヤツクし、透明支持体８
上に形成した切断用マーク９の幅に対応した厚さ
の切断用樹脂ブレードを用いて、正確に位置合せ
した上、上、下面に樹脂フイルム１２，１３をも
つた色分離フイルター基板１１を切断用マーク９
に沿つて、図ｄに示すように、透明支持体８の途
中まで達する切溝１６を入れる。厚さ0.5mmの支
持体８を用いた場合は0.3mm程度まで切り込むの
が望ましい。この場合、切断用マーク９の幅を
100μｍとしたときは、樹脂ブレードの厚みを90
μｍ程度とし、切断スピードを１〜５mm／sec程
度とした。また、樹脂ブレードとしては、
G1A850SD400R13B50（デイスコ社製）を用い
た。この工程後、全体を純水等で洗浄することに
よりゴミ等の付着を防止することができる。
ついで、図ｅに示すように、図ｃの工程で得ら
れた上面及び下面に樹脂フイルム１２及び１３を
もつた色分離フイルター基板１１を切溝１６が下
になるように真空チヤツク台１５上に載置した
後、金属製ローラー１７等によつて基板１１に適
度な圧力を加えながらローラー１７を矢印方向に
移動させ、色分離フイルター基板１１の切溝１６
に沿つて基板１１にクラツク１８を入れて破断す
る。実際には、チヤツク台１５はある程度弾性が
あることが望ましく、例えば、色分離フイルター
のチツプサイズが10mm角程度の場合を例にとり説
明すると、チヤツク台１５には70ドルメーター程
度の弾性をもたせると共に、基板破断時に発生す
るガラスクズを吸引するために、チヤツク台１５
上に和紙を配置し、その上に基板１１を載置した
上、真空吸着した後、和紙とチヤツク台１５の間
に約0.15mm厚の金属板を入れ1/8インチ径程度の
金属ローラー１７で約10psiの圧力を加えながら
ローラーを移動させ、透明支持体８を破断させる
とよい。色分離フイルターのチツプサイズが小さ
くなるにしたがつて、チヤツク台１５の弾性を大
きくし、ローラー１７の径は小さくすることが望
ましい。図ｅ工程をへて本発明の第一の方法によ
り色分離フイルターを作製することができる。次
に第二の方法を説明すると第一の方法と同様にｅ
工程までへた後図ｆに示すように、図ｅの工程を
終つた上面及び下面に樹脂フイルム１２及び１３
をもつた色分離フイルター基板１１を下面樹脂フ
イルム１３を下にして、側面上端部近辺に樹脂フ
イルム固定用凹溝１９をもつた台２０上に載置す
ると共に下面樹脂フイルム１３の周辺部を固定治
具２１に固定し、上面樹脂フイルムを台２０と共
に65℃程度に約３分間保持した後、図ｇに示すよ
うに、台２０を上方に突き上げて、上面樹脂フイ
ルム１３を延伸、拡張させ、この状態で、下部樹
脂フイルム１３をゴムまたはバネなどの弾性リン
グ２２により台２０の凹溝１９に固定する。この
ようにすれば、色分離フイルター２３同志の間隔
を拡げることができ、切り離し後の色分離フイル
ター２３の取り扱い中に生じるカケを防止できる
だけでなく、個々の色分離フイルター２２を容易
に取り出すことができる。また、個々の色分離フ
イルター２２は表面を樹脂フイルム１２によつて
保護されているため、その色分離フイルター層部
に生じるキズや汚れを防止できる効果もある。さ
らに、図ｇの状態で、上面の樹脂フイルム１２を
除去し、必要に応じてこの状態で洗浄することも
できる。
れた上面及び下面に樹脂フイルム１２及び１３を
もつた色分離フイルター基板１１を切溝１６が下
になるように真空チヤツク台１５上に載置した
後、金属製ローラー１７等によつて基板１１に適
度な圧力を加えながらローラー１７を矢印方向に
移動させ、色分離フイルター基板１１の切溝１６
に沿つて基板１１にクラツク１８を入れて破断す
る。実際には、チヤツク台１５はある程度弾性が
あることが望ましく、例えば、色分離フイルター
のチツプサイズが10mm角程度の場合を例にとり説
明すると、チヤツク台１５には70ドルメーター程
度の弾性をもたせると共に、基板破断時に発生す
るガラスクズを吸引するために、チヤツク台１５
上に和紙を配置し、その上に基板１１を載置した
上、真空吸着した後、和紙とチヤツク台１５の間
に約0.15mm厚の金属板を入れ1/8インチ径程度の
金属ローラー１７で約10psiの圧力を加えながら
ローラーを移動させ、透明支持体８を破断させる
とよい。色分離フイルターのチツプサイズが小さ
くなるにしたがつて、チヤツク台１５の弾性を大
きくし、ローラー１７の径は小さくすることが望
ましい。図ｅ工程をへて本発明の第一の方法によ
り色分離フイルターを作製することができる。次
に第二の方法を説明すると第一の方法と同様にｅ
工程までへた後図ｆに示すように、図ｅの工程を
終つた上面及び下面に樹脂フイルム１２及び１３
をもつた色分離フイルター基板１１を下面樹脂フ
イルム１３を下にして、側面上端部近辺に樹脂フ
イルム固定用凹溝１９をもつた台２０上に載置す
ると共に下面樹脂フイルム１３の周辺部を固定治
具２１に固定し、上面樹脂フイルムを台２０と共
に65℃程度に約３分間保持した後、図ｇに示すよ
うに、台２０を上方に突き上げて、上面樹脂フイ
ルム１３を延伸、拡張させ、この状態で、下部樹
脂フイルム１３をゴムまたはバネなどの弾性リン
グ２２により台２０の凹溝１９に固定する。この
ようにすれば、色分離フイルター２３同志の間隔
を拡げることができ、切り離し後の色分離フイル
ター２３の取り扱い中に生じるカケを防止できる
だけでなく、個々の色分離フイルター２２を容易
に取り出すことができる。また、個々の色分離フ
イルター２２は表面を樹脂フイルム１２によつて
保護されているため、その色分離フイルター層部
に生じるキズや汚れを防止できる効果もある。さ
らに、図ｇの状態で、上面の樹脂フイルム１２を
除去し、必要に応じてこの状態で洗浄することも
できる。
以上においては、色分離フイルター基板１１に
設けたCr膜等からなる切断用マーク９が、個々
の色分離フイルターを切り出すときに同時に除去
される場合について説明したが、Cr，Al等の遮
光性のある膜を色分離フイルター基板上に形成し
た色分離フイルター層の周囲を取り囲むように幅
広の層として形成し、この層の中央から切断し、
切断して得られる個々の色分離フイルターの色分
離フイルター層の周囲に遮光層として残してもよ
い。
設けたCr膜等からなる切断用マーク９が、個々
の色分離フイルターを切り出すときに同時に除去
される場合について説明したが、Cr，Al等の遮
光性のある膜を色分離フイルター基板上に形成し
た色分離フイルター層の周囲を取り囲むように幅
広の層として形成し、この層の中央から切断し、
切断して得られる個々の色分離フイルターの色分
離フイルター層の周囲に遮光層として残してもよ
い。
以上説明したところから明らかなように本発明
によれば、加工歩留りよく、一度に多数個の固体
撮像素子用色分離フイルターを得ることができ
る。
によれば、加工歩留りよく、一度に多数個の固体
撮像素子用色分離フイルターを得ることができ
る。
第１図は従来の固体撮像素子用色分離フイルタ
ーの概略説明図、第２図は一度に多数個の色分離
フイルターを製造する場合の概略説明図、第３図
は本発明による固体撮像素子用色分離フイルター
の製造工程の概略説明図である。 図において、４……色分離フイルター層、８…
…透明支持体、９……切断用マーク、１０……保
護膜、１１……色分離フイルター基板、１２……
上面樹脂フイルム、１３……下面樹脂フイルム、
１４……固定リング、１５……真空チヤツク台、
１６……切溝、１７……金属ロール、１８……ク
ラツク、１９……凹溝、２０……チヤツク台、２
１……固定治具、２２……弾性リング、２３……
色分離フイルター。
ーの概略説明図、第２図は一度に多数個の色分離
フイルターを製造する場合の概略説明図、第３図
は本発明による固体撮像素子用色分離フイルター
の製造工程の概略説明図である。 図において、４……色分離フイルター層、８…
…透明支持体、９……切断用マーク、１０……保
護膜、１１……色分離フイルター基板、１２……
上面樹脂フイルム、１３……下面樹脂フイルム、
１４……固定リング、１５……真空チヤツク台、
１６……切溝、１７……金属ロール、１８……ク
ラツク、１９……凹溝、２０……チヤツク台、２
１……固定治具、２２……弾性リング、２３……
色分離フイルター。
Claims (1)
- １ 所定形状の透明支持体上に所定数、所定形状
の色分離フイルター層部を所定間隔で配列して設
けた色分離フイルター基板の上面及び下面に樹脂
フイルムを貼着する第１工程と、前記色分離フイ
ルター層部間の所定位置に前記上面樹脂フイルム
表面から前記透明支持体に十分に達する切溝を入
れる第２工程と、前記透明支持体を前記切溝に沿
つて破断する第３工程と、前記第３工程の後に前
記下面樹脂フイルムを延伸、拡張する第４工程と
を含むことを特徴とする色分離フイルターの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55142058A JPS5766406A (en) | 1980-10-13 | 1980-10-13 | Manufacture of color separation filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55142058A JPS5766406A (en) | 1980-10-13 | 1980-10-13 | Manufacture of color separation filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5766406A JPS5766406A (en) | 1982-04-22 |
| JPS6223281B2 true JPS6223281B2 (ja) | 1987-05-22 |
Family
ID=15306430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55142058A Granted JPS5766406A (en) | 1980-10-13 | 1980-10-13 | Manufacture of color separation filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5766406A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60175005A (ja) * | 1984-02-21 | 1985-09-09 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
| JPS63106702A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-11 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JP2786865B2 (ja) * | 1988-11-24 | 1998-08-13 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルターの製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5338893B2 (ja) * | 1971-08-10 | 1978-10-18 | ||
| BE788335A (fr) * | 1971-09-13 | 1973-01-02 | Pechiney Ugine Kuhlmann | Nouveaux sels d'ammonium quaternaires polyfluores |
| JPS4919630A (ja) * | 1972-06-13 | 1974-02-21 | ||
| JPS5253439A (en) * | 1975-10-27 | 1977-04-30 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Transmission type polarizing body |
| JPS55117109A (en) * | 1979-03-01 | 1980-09-09 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Tacky polarizing plate |
-
1980
- 1980-10-13 JP JP55142058A patent/JPS5766406A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5766406A (en) | 1982-04-22 |
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